Comparion of models and boundary conditions in fluid simulation of high density Inductively Coupled Plasma Sources included ion temperature equation (이온 온도 방정식이 포함된 고밀도 유도결합 플라즈마원 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 경계 조건 비교)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2004.07c
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- pp.1924-1926
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- 2004