• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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• v.35D no.6
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• pp.54-62
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• 1998

The crosstalks of two-waveguide & three-waveguide directional couplers are analyzed. Advantages and disadvantages for each coupler are compared and discussed. Based on the relationship between the coupled mode and the normal mode, the mathematical expressions are derived in terms of the crosstalks for each directional coupler. Numerical techniques such as the finite-difference method and the beam propagation method are employed to testify the validity of the derived equations. The calculation results show that two-waveguide directional coupler is superior to any types of three-waveguide couplers from the practical viewpoint of the crosstalk and the coupling length.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.202-202
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• 2013

유도결합 플라즈마 방전 시 사용되는 L형 임피던스 정합기(impedance matcher)의 경우 일반적으로 직렬 및 병렬 콘데서가 연결되어있으며, 임피던스 정합조건이 되었을때 전원과 안테나 사이에 있는 임피던스 정합기의 소자값이 특정 값을 가지게 된다. 유도결합 플라즈마를 진단하기 위한 여러 방법들이 연구되어 왔지만, 이러한 임피던스 정합조건과 플라즈마 내부 변수들의 상관 관계에 대한 연구는 보고된 바 없다. 본 연구에서는 유도결합 플라즈마의 임피던스 정합조건과 유도결합 플라즈마의 변압기 회로모델를 이용하여 플라즈마 저항 및 플라즈마 인덕턴스를 구하기 위한 관계식을 도출하고 임피던스 정합기의 직렬 및 병렬 콘덴서 용량값 측정하여 플라즈마 저항 및 플라즈마 인덕턴스값을 계산하였다. 결과 검증을 위해 다양한 압력 및 전력 조건에서 부유랑뮤어 탐침법을 이용하여 플라즈마 밀도를 측정해 비교해 보았으며, 두 결과의 경향성은 잘 일치함을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.411-411
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• 2010

Cavity mode Whistler wave를 사용하는 자화유도결합플라즈마 (Magnetized Inductively Coupled Plasma, MICP)의 제반 특성을 비등방성 수송계수를 가지는 Drift-Diffusion 근사, 에너지 보존 방정식 및 유도전자계를 self-consistent 하게 고려하여 계산하였다. 이러한 접근법은 비충돌성 전자가열현상을 고려하지 못하는 단점에도 불구하고, 반도체 장비설계에 필수적인 전자온도, 밀도, 플라즈마 전위, 시스템의 임피던스 특성에 대한 경향성 파악에 매우 유용하다. 뿐만 아니라 전자밀도분포가 공간내에 형성되는 R-wave mode에 미치는 영향을 분석할 수 있다. 직경 320 mm를 가지는 작은 반응기에서 시뮬레이션과 실험결과를 비교하여 본 모델링 방법의 타당성을 검증한 후, 450 mm wafer가공에 적합한 대면적 플라즈마 반응기에서 플라즈마 특성을 연구하였다. 수 mTorr의 공정압력에서 약 10 Gauss전후의 약한 자장이 인가됨으로서 반경방향의 전자밀도 균일성이 대폭 향상되었다. 플라즈마 및 안테나의 대면적화에 수반되는 높은 Q값이 자장의 인가로 큰 폭으로 감소함으로서 임피던스메칭의 안정성이 비약적으로 개선되었고 전력전달 효율 또한 크게 증가함을 알 수 있었다. 본 연구 결과는 차세대 450 mm 반도체 공정장비의 개발에 있어 자화유도결합플라즈마가 매우 유용하게 사용될 수 있음을 보여준다.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea TC
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• v.37 no.8
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• pp.24-32
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• 2000

In this paper, we have designed and fabricated a new type power divider to be efficient to a size and electrical performance by folding each quarter-wavelength 70.7 Ω section into a tightly-coupled "meander-line" and inserting a slit. In this type, because of coupling, the electrical phase of quarter -wavelength line and the performance change. For this reason, with the inductive slit and the tuning of quarter-wavelength line length, we have compensated for those. The inductance value of the inserted slit is decided by its width and depth, therefore, we could improve the electrical performance through optimization of inductance. Input and output return losses of the designed power divider were -34.2 dB, -34.3 dB respectively, and isolation was -36.7 dB at 1.75 GHz. Besides, a new design approach reduced occupied substrate area by 3:1 approximately.

• Proceedings of the Korea Electromagnetic Engineering Society Conference
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• 2001.11a
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• pp.194-197
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• 2001

본 논문에서는 결합창으로 결합을 구현한 유전체 공진기 필터의 결합창 특성을 해석하였다. 결합창의 특성을 결합계수로 표현하였으며, 간단한 표현식으로 유도하였다. 결합창의 크기를 변화시키면서 해석 방법을 적용하여 결합계수를 계산하였고, 측정결과와 비교하여 해석의 유효성을 증명하였다. 본 논문에서 제안한 방법은 적용이 간단할 뿐 아니라, 결합창의 제작 및 측정오차 범위에서 정확한 결과를 보였다. 본 논문에서 제안한 방법은 유전체 공진기 필터의 설계 및 유전체 공진기와 Varactor diode로 이루어지는 동조필터가 동조주파수 대역에서 일정한 통과대역폭을 가지기 위한 최적화된 결합창의 설계적용이 가능하다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.585-585
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• 2013

유도 결합 플라즈마는 비교적 간단한 방전 구조와 고밀도 플라즈마 생성에 유리하기 때문에 산업 플라즈마 공정 장비로 널리 사용되고 있으며, 안테나에 의한 전력 전달 특성 및 방전 특성이 공정 결과에 큰 영향을 주게 된다. 이러한 유도 결합 플라즈마는 변압기 모델을 통하여 전력 전달 특성을 해석할 수 있으며, 안테나의 감은 수가 증가할수록 플라즈마로의 전력 전달 효율 및 플라즈마 밀도 상승이 기대된다. 반면에, 안테나 양단 또는 챔버 벽면과의 원치 않는 용량성 결합에 의하여, 실제로 안테나 감은 수가 증가함에 따라서 플라즈마로의 전력 전달 효율 및 방전 특성이 향상되지 않을 수도 있다. 본 연구는 이러한 안테나 감은 수 효과에 의한 전력 전달 효율 및 플라즈마 변수 변화에 대한 내용을 다루고 있으며, 플라즈마 변수 진단을 통하여 방전 특성을 연구하였다. 용량성결합을 최소화하기 위하여, 평형 전력 안테나를 사용하여 실험을 진행하였으며, 평형 전력이 인가되지 않은 안테나 구조에서의 안테나 감은 수에 따른 방전 특성과 결과를 비교하였다.

• Journal of the Society of Cosmetic Scientists of Korea
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• v.39 no.4
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• pp.329-335
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• 2013

Three-dimensional quantitative structure-activity relationships (3D-QSARs) models between the substituents with changing groups ($R_1$ & $R_2$) of 4-hydroxybenzyl alcohol (4-HBA) derivatives as substrate molecule and their inhibitory activities against tyrosinase were derived and discussed quantitatively. The optimized CoMSIA FF model showed the best predictability and fitness ($r^2$ = 0.858 & $q^2$ = 0.951). The contour maps of the optimized CoMSIA FF model showed that, the inhibitory activities of the analogues against tyrosinase were expected to increase when hydrophobic (Hy) favor, negative charge (E) favor, steric (S) disfavor and hydrogen bond donor (HD) disfavor groups were substituted at the $R_2$ position. When the hydrogen bond donor (HD) favor groups were substituted at the $R_1$ position, it is predicted that the substituents will be able to increase the inhibitory activity.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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• v.39 no.5
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• pp.31-40
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• 2002

We propose a novel ultra-short asymmetric vertical directional coupler switch (VDCS) with high extinction ratios larger than 30㏈ composed of switching operation induced section (SOIS), extinction ratio adjusted section (ERAS), and extinction ratio enhanced section (ERES). In this VDCSs, switching operation is achieved by changing the refractive index of one core in SOIS. The improvement of extinction ratios larger than 30㏈ for both cross and bar states is achieved by controlling the asymmetry of refractive indices between both cores in ERES. After propagating through ERAS with symmetry in the structure, different extinction ratios between cross and bar states at the end of SOIS are changed to the same value. For this reason, the optimum asymmetry of the refractive indices of cores to have the maximum extinction ratios and the lengths of ERES are the same for cross and bar states. Design guidelines to achieve high extinction ratios with large tolerances are presented.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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• v.36D no.4
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• pp.1-7
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• 1999

The demands for the various type of directional coupler, which is for the sampling of the signal levels in mobile communication baseband or transceiver systems, are growing. The proposed dual directional coupler, which has three parallel coupled transmission lines, can provide the dual coupling and good isolation characteristics between the coupling ports. In this paper, the novel analysis method and the design equation of even and odd mode for the dual directional coupler, which is employing the asymmetrically coupled transmission lines, are proposed. Using the proposed method, the dual directional coupler for PCS system has been designed and fabricated. We obtained the desired coupling value and the high directivity of 40dB. Measured results show the validity of this design method.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.13 no.1
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• pp.101-105
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• 2002

In this paper, the coupling windows of the dielectric resonator filter have been analyzed. The coupling factor which has been used to characterize the coupling window is represented by closed form expressions. The deviation of the coupling factor as the size of coupling window has been compared between calculated by presented method and measured ones. There are very closed agreements. The presented method can be applied not only to design dielectric resonator but also to design varactor tuned dielectric resonator filter so as that the passband bandwidth is constant within tuned ranges.