• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2009.10a
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• pp.373-374
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• 2009

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2007.06a
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• pp.151-152
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• 2007

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.6 no.4
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• pp.11-20
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• 1989

마이크로 일렉트로닉스(Microelectronics)를 중심으로 하는 산업혁명이 진행되고 있는 시점에서 전자, 광학 또는 신소재 부품에 대한 형상과 치수 또는 표면거칠기에 대한 정확도와 정밀도가 엄격하게 요구되고 있다. 예를 들어 경취 재료인 반도체의 웨이화( w-afer), 수정진동자 자기헷트, 비구면렌즈 또는 연질 금속의 레이저빔(Laser Beam) 프린터 용 포리곤 밀러(Polygon Mirror), 자기디스크, 복사기용 드럼(drum), 레저기기용 반사밀러 등 가공정밀도를 향상시키기 위해서는 과거의 가공기술을 대치할 수 있는 새로운 초정밀가공 기술의 도입이 활발하게 진행되고 있다. 경취성 재료의 초정밀가공은 지금까지는 랩핑(lappi- ng), 폴리싱(polishing)의 가공기술이 주체였으나, 최근의 엄격한 부품정밀도에 대응하기 위하여 전가공을 초정밀 연삭가공으로 평면도,표면거칠기, 가공변질층을 향상시키고 다듬질 가공은 폴리싱으로 하여 표면거칠기를 향상시켜야 하는 가공기술이 보급되고 있다. 일반연질 금속의 다듬질가공은 유리지립을 이용하는 랩핑이나 폴리싱으로 다듬질 가공을 진행하고 있었 으나 형상정도와 표면정밀도를 동시에 얻는다는 것이 어렵고 또 가공시간이 너무 길어서 매우 고가인 것이 되고 말았다. 그러나 유리에서 연질금속으로 재료를 전환시키고 저가격화, 양산 화의 요구, 정밀도 향상과 부품의 안정화 등등 여러 이유로서 다아아몬드(Diamond) 공구로 mirror surface 를 만드는 초정밀 경면연삭 가공기술(precision turning with diamond)의 발달 로 이제는 완전히 새로운 가공기술로 대치되고 말았다. 다이아몬드에 의한 초정밀절삭은 공구 끝이 매우 예리하고 마모가 매우 적은 단결정 다이아몬드를 이용하고 절삭가공 기계는 운동정도 를 피가공물에 정확히 전사 시키는 방법이며 따라서 가공기계는 고도의 운동정밀도가 요구되며 그외에 강성, 진동, 열변이, 제어면에서 엄격한 검도가 있어야 한다.

• Bulletin of the Korean Space Science Society
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• 2010.04a
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• pp.29.2-29.2
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• 2010

항법분야에 있어서 위성항법시스템의 다양한 오차를 제거한 정밀한 위치 정보를 이용하여 이동체에 활용하는 연구가 진행되고 있다. 실제 환경에서 이동체를 이용한 항법실험을 수행하기 전 실제 환경과 유사한 가상의 실시간 테스트베드를 구축하여 알고리즘 테스트 및 검증 실험을 수행하려 한다. 이를 위해 이동체의 운동을 시뮬레이션하는 운동궤적제어시스템과 실제의 항법신호를 시뮬레이션하는 GNSS 시뮬레이터 사이의 시각동기화는 실시간 시뮬레이션을 구현하기 위해 필수적으로 요구된다. 동기화 되지 않은 시각정보는 이동체 운동궤적제어시스템에 의해 생성된 실제의 궤적과 GNSS 시물레이터로부터 생성된 궤적사이의 오차를 유발하여 항법수신기의 부정확한 항법신호를 유발한다. 이 연구는 GNSS 시뮬레이터를 이용한 실시간 테스트베드의 구축에 있어 필요한 이동체 운동궤적의 시각동기화 기술 개발을 목표로 한다. GNSS 시뮬레이터는 Spirent 사의 GPS 시뮬레이터가 사용되었다. 이동체의 위치, 속도, 가속도와 같은 움직임을 나타내는 운동에 관한 명령은 적용되어야 하는 정확한 시각이 함께 전송되므로, 이는 그 시각 이전에 GPS 시뮬레이터에 도달해야 한다. 따라서 1초(1 Hz) 또는 0.1초(10 Hz) 사이에 원격제어시스템과 GPS 시뮬레이터사이의 시각 동기화를 구현하였다. 시뮬레이터와의 시각정보 동기화를 위해 Amplicon사의 PCI-215 타이머카드를 이용하였고, 그 결과, 이동체 운동궤적제어시스템과 시뮬레이터의 시각정보를 $10^{-3}$ 내의 위치오차를 가지는 정밀도로 동기화됨을 확인할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.237-237
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• 2004

최근 산업의 급속한 발전과 가공기계의 초정밀화로 인한 초정밀가공품의 수요가 꾸준한 증가를 보이고 있으며, 특히 렌즈 산업에서 초정밀가공기술의 적용이 급속히 증가되고 있는 추세이다. 초정밀가공에서는 공구의 가공물on 대한 상대운동이 그대로 가공물에 전사되므로 생성되는 가공데이터의 정확도가 중요하다. 고정도의 렌즈와 렌즈금형들은 형상정밀도가 수십 나노미터에 이르는 초정밀 제품으로써 가격이 고가이다. 따라서 잘못 생성된 공구 경로는 시간적인 손실뿐만 아니라 고가의 장비를 훼손시킬 수 있으므로 공구경로 보정을 행할 필요가 있다.(중략)

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.19 no.6
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• pp.77-85
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• 2002

An analysis method which calculates corrective machining information for improving the motion accuracy of linear motion guide Is proposed in this paper. The method is composed of two algorithms. One is the algorithm fur prediction of the motion errors from rail form error. The other is the algorithm for prediction of rail form error from the motion errors of table. Transfer function is utilized in each algorithm, which represents the ratio of bearing reaction force variation to unit magnitude of spatial frequencies of raid from error. As the corrective machining information is acquired from the measured motion errors of table, the method has a merit not to measure rail form error directly. Validity of the method is verified both theoretically and experimentally. By applying the method, linear motion error of test equipment is reduced from 5.97$\mu$m to 0.58$\mu$m, and reduced from 32.78arcsec to 6.21 arcsec in case of angular motion error. From the results, it is confirmed that the method is very effective to improve the motion accuracy of linear motion guide.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.17 no.12
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• pp.137-144
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• 2000

In order to achieve systematical method for improving motion accuracy of hydrostatic table, an algorithm using finite element method is proposed in this paper. Quantification of averaging effect of oil film on motion error is performed theoretically by analysis on the relationship between spacial frequency of rail form error and motion error of table. Influences of film stiffness and pocket size on the motion error of table are also analyzed theoretically. Validity of the algorithm is verified experimentally from the test on the motion error of table with three types of rail which have different form profile. Experimental results show that the algorithm is very effective to analyze theoretically the motion error of hydrostatic table.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.19 no.5
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• pp.56-63
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• 2002

A new model utilizing a transfer function is introduced in the present paper for analizing motion errors of hydrostatic tables. Relationship between film reaction force in a single hydrostatic pad and form error of a guide rail is derived at various spacial frequencies by finite element analysis, and it is expressed as a transfer function. This transfer function clarifies so called averaging effect of the oil film quantitively. For example, it is found that the amplitide of the film reaction farce is reduced as the spacial frequency increases or relative width of the pocket is reduced. Motion errors of a multiple pad table is estimated from transfer function, geomatric relationship between each pads and form errors of a guide rail, which is named as Transfer Function Method(TFM). Calculated motion errors by TFM show good agreement with motion errors calculated by Multi Pad Method, which is considered entire table as an analysis object. From the results, it is confirmed that the proposed TFM is very effective to analyze the motion errors of hydrostatic tables.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.32 no.5
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• pp.405-413
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• 2015

This paper presents the motion accuracy simulation considering loads such as workpiece weight, cutting force, cogging force of a linear motor, and force caused by misalignment and runout error of a ballscrew in linear motion units. The transfer function method is basically utilized to estimate 5-DOF motion errors, together with the equilibrium equations of force and moment on the table. The transfer function method is modified in order to consider clearance changed according to the loads in the double sided hydrostatic/aerostatic bearings. Then, the analytic model for predicting the 5-DOF motion errors is proposed with the modified transfer function method. Motion errors were simulated under different loading conditions in the linear motion units using hydrostatic, aerostatic, and linear motion bearings, respectively. And the proposed analytic model was verified by comparing the estimated and measured motion errors.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.28 no.3
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• pp.275-284
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• 2011

The accuracy simulation technology of linear motion system is introduced in this paper. Motion errors and positioning errors are simulated using informations on the design parameters of elements of linear motion system. 5 Degree-of-freedom motion error analysis algorithm utilizing the transfer function method and positioning error analysis algorithm which are main frame of accuracy simulation are introduced. Simulated motion errors are compared with experimental results for verifying the effectiveness. Then, using the proposed algorithms, simulation is performed to investigate the effects of ballscrew and linear motor on the motion errors. Finally, the influence of feedback sensor position on the positioning error is also discussed.