미소탐침을 STM과 같이 PZT등의 압전액튜에이터로 대상물을 2차원 또는 2.5차원 주사해서 그 정전량을 화상화하는 주사형 정전용량 현미경(SCaM)의 개발에 대해서 기술했다. 광학현미경과 레이저현미경은 빛을 이용하기 때문에 파장의 제약을 받아 그 분해능의 한계는 0.3[.nu.m]정도이다. 이것에 대해 SCaM은 광학방식가 같은 분해능의 원리적 한계가 없고, 또한 광학상과는 다른 유전율상의 특성화상이 얻어진다. 이와같은 특징에 의해, 최종적으로 0.01[.mu.m]레벨의 분해능을 얻을 수 있는 실용레벨의 현미경을 시험제작함을 목적으로 하고 있다. 본 연구에서는 탐침과 시료표면간의 거리를 진동에 의해 미소로 변화시켰을 때의 정전용량의 변화를 포착하는 미분용량법을 이용했으며, 탐침높이 및 주사시에 있어서의 검출기 출력의 재현성, 즉 신호 검출방식으로서의 S/N이 양호한 동기검파를 이용했을 대해서 실험적 검토를 하였다. 이와같은 검파방식에 의해 잡음, 히스테리시스 등의 영향에 대해 개선이 되고, 분해능도 향상되었다. 더욱이 2.5차원 탐침 주사방식 미분용량형 정전용량 현미경에 의해 칼날 부분 선단부의 확대화상이 명료하게 얻어졌다. 그러나 실용적으로는 아직 불충분하다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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1996.06a
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pp.164-165
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1996
임피던스 pprobe와 고전압 pprobe를 이용하여 평판형 유도결합 플라즈마에서의 용 량 결합 성분을 구하였으며, 용량 결합 성분에 의해서 생기는 석영창의 손상을 4극 질량 분 석기(quadruppole mass sppectrometer)를 이용하여 확인하였다. 또한 축방향 외부 자장을 가 하였을 경우 용량 결합 성분이 상당량 감소하여 석영창의 손상이 거의 없음을 확인하였다.
본 논문은 독립형 마이크로그리드 환경에서의 신재생에너지원의 출력 안정화 및 디젤발전기의 최소 사용을 통한 경제적인 운영을 위해 필요한 ESS(Energy Storage System)의 도입을 위한 용량 산정 및 SOC에 따른 충/방전 알고리즘을 제안한다. 제안한 산정 알고리즘을 통해 도서지역의 독립형 마이크로그리드의 데이터를 활용하여 ESS 용량을 산정하고, 이에 대한 효과를 검증한다.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.10
no.4
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pp.21-27
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2003
The copolymers with various composition of methyl methacrylate (MMA), ethyl methacrylate (EMA), methacrylic acid (MA) and hydroxyethyl methacrylate (HEMA) were synthesized for capacitive humidity sensitive materials. The capacitive humidity sensor consisted of a polymethacrylate film coated on both sides with gold electrode. Capacitance versus relative humidity increased with HEMA content in the copolymer. In the case of self-crosslinkable MMA/MA/HEHA= 40/10/10, the average capacitance at 30%RH, 60%RH and 90%RH are 102, 134 and 166 pF, respectively. And also, the hysteresis, temperature cycle and long-term stability were evaluated as a capacitance humidity sensor.
고온 초전도체를 이용한 자속구속형 사고전류제한기는 1차권선과 2차권선을 감는 방향이나 감은 횟수의 비율에 따라서 부하전류용량과 전류제한용량이 다르다. 부하전류용량은 사고 발생 시 최초의 전류 제한 레벨과 밀접하게 관련이 되는데 자속구속형 사고전류제한기에서 최초의 전류 제한 레벨은 인덕턴스에 의해서 결정되기 때문이다. 전류제한용량은 사고전류제한기의 임피던스와 관계된다. 이 논문에서 자속구속형 사고전류제한기의 변압기 특성을 변화시키면서 부하전류용량과 전류제한용량의 변화를 살펴보았다.
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.10
no.10
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pp.1835-1841
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2006
Demand of enhanced bilge separation sensor system has been recently increased due to the severe regulation reinforcement of MEPC(Marine Environment Production Committee). Up to date bilge separation sensor has to be extremely accurate and highly reliable. To design and build such a bilge separator. a precise oily water separation level sensor that distinguishes oil from water is critical. Three dimensional simulations have been carried out to figure out the characteristics of capacitive level sensors, which grounds the finding of the parameters required to design the sensors. The parasitic capacitance problem which is inherent to capacitive level sensors has been taken care of. This paper concludes with the future research direction that can be pursued with the newly defined parameters of the capacitive level sensors.
Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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v.41
no.3
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pp.109-114
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2004
This paper proposes an advanced circuit for the fingerprint sensor signal processing. We increased the voltage between ridge and valley by modifying the parasitic capacitance eliminating circuit of sensor plate. The analog comparator was designed for comparing the sensor signal voltage with the reference signal voltage. We also propose an effective isolation strategy for removing noise and signal coupling of each sensor pixel. The fingerprint sensor circuit was designed and simulated, and the layout was performed.
Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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2006.05a
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pp.1042-1047
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2006
본 논문에서는 대화형 GEO 위성 네트워크의 데이터 손실량과 데이터 지연량을 최소화하기 위한 리턴 링크 용량 할당 체계를 제시한다. 데이터의 지연 특성에 따라 구분되는 각 데이터 유형별로 데이터 손실량 기대값과 데이터 지연량 기대값을 분석하고, 데이터 손실량 기대값과 데이터 지연량 기대값의 가중합을 최소화하는 리턴 링크 용량 할당 모형을 제시한다. 또한, 제시한 모형을 빠른 시간 내에 해결할 수 있는 라그랑지안 이완 기법을 이용한 동적 용량 할당 체계를 제시한다.
본 논문에서는 MEMS 용량형 변위 센서의 제작과 함께, 미세 변위 측정을 위한 테스트 샘플을 제작하였다. 아래의 그림 1, 2는 각각 스테이지에 장착할 MEMS 용량형 변위 센서 및 미세 변위 측정을 위한 테스트 샘플의 개념도를 보여주고 있다. 테스트 샘플의 감지 부분은 스테이지에 장착할 센서와 정확히 일치를 시켰으며, 미세 변위를 주기 위해서 comb-drive actuator 형태의 운동부를 두었다. 운동부에서는 DC 및 AC 전압을 인가함으로써 미세 변위를 얻을 수 있었으며, 사용된 DC 전압은 20V였으며, 1.4kHz의 AC 전압을 크기를 변화시키며 인가하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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