Development of highly sensitive polyimide capacitive humidity sensors

고감도 폴리이미드 정전용량형 습도센서의 개발

본 논문에서는 폴리이미드를 감습재로 한 정전용량형 습도 센서의 상용화 연구 결과를 보고한다. 유리 기판상에 제작된 용량형 습도센서는 감도 0.338pF%RH, 히스테리시스 1.7%.인 특성을 나타내었다.