• Title/Summary/Keyword: 완화 장치

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Role of an edge ring in plasma processing systems for semiconductor wafers (반도체용 플라즈마 장치에서 edge ring의 역할)

  • Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.71-71
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    • 2017
  • 플라즈마를 이용하는 건식 식각 또는 박막 증착 장비(PECVD)의 경우 웨이퍼에 rf bias를 인가하여 이온의 에너지와 입사각을 조절한다. 종래에는 웨이퍼의 가장 자리 3 mm영역을 공정 대상에서 제외하는 exclusion area로 지정하였으나 점차 공정 기술의 발달로 2 mm 이내로 감소하고 있다. 따라서 웨이퍼의 가장 자리에서 발생하는 전기장의 방향 및 크기 변화를 조절할 수 있는 기술의 개발이 필요하게 되었으며 그중 핵심적인 부품이 Si 또는 SiC로 제작되는 edge ring이다. Focus ring이라고도 불리는 이 부품은 웨이퍼 상에서 반경 방향으로 흐르는 가스의 유속이 가장 자리에 근접하면 빨라지는 현상과 이에 의해 식각/증착 화학 반응 속도가 증가하는 문제를 완화하기 위한 것과 적절한 전기 전도도를 부여함으로써 가장 자리의 전기장 분포를 최적화 할 수 있는 새로운 설계 변수로 활용할 수 있다. 스퍼터링의 경우에도 웨이퍼 중앙과 주변 부는 마그네트론 음극의 회전 링과의 입체각이 차이가 나므로 가장 자리의 경우 트렌치나 홀의 내측이 외측에 비해서 증착막의 두께가 얇아지는 문제가 있으며 건식 식각의 경우 홀의 형상이 수직에서 벗어나는 경향이 발생할 수 있다. 또한 사용 시간에 비례해서 edge ring의 형상이 변화하는데 상대적으로 고가품이어서 교체 주기를 설정하는 보다 합리적 기준이 필요하다. 본 연구에서는 전산 유체 역학 모델을 사용하는 ESI사의 CFD-ACE+를 활용하여 edge ring의 형상과 재질이 갖는 영향을 전산 모사하기 위한 기초 작업을 그림 1과 같이 진행하였다. 2D-CCP model에 Ar 가스를 가정하고 비유 전율 10내외 전도도 $0.1/Ohm{\cdot}m$정도의 재질에 대한 용량성 결합 플라즈마에 대해서 계산을 하고 이 때 기판에 인가되는 고주파 전력에 의한 이온의 입사 에너지 분포 및 각도 분포를 Monte Carlo 방법으로 처리하여 계산하였다.

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Time Synchronization using the Accumulative Time Information in Wireless Sensor Networks (센서 네트워크에서의 누적 시간 정보를 이용한 시간 동기화)

  • No, Jin-Hong;Hong, Young-Sik
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 2006.10d
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    • pp.44-49
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    • 2006
  • 최근 무선 통신의 발달과 임베디드 시스템의 확산으로 주변 상황을 감지하고 통신할 수 있는 저전력 장치인 무선 센서 네트워크에 대한 연구가 많이 진행되고 있다. 무선 센서 네트워크를 구성하는 노드들 간의 동기화, 순서화, 그리고 일관성 유지를 위하여 시간 동기화는 반드시 필요하다. 하지만 지난 20여 년간 연구되어진 분산 시스템에서의 시간 동기화 방법들은 풍부하지 않은 자원과 에너지 소모 등을 고려해야 하는 무선 센서 네트워크의 특성상 그대로 적용하기에는 어려운 점이 많다. 이에 본 논문에서는 무선 센서 네트워크에서의 누적 시간 정보를 이용한 시간 동기화 방법을 제안한다. 무선 브로드캐스트의 특성을 활용하여 시간 동기화의 제약 조건을 완화하여 높은 정확성을 제공하면서 한 번의 브로드캐스트 메시지만으로 시간을 동기화함으로써 에너지 손실을 최소화하였다. 이를 위해 송신자-수신자 방식의 구조에서 송신자는 시간 동기화를 위한 시간 정보를 브로드캐스트하고, 수신자는 누적된 시간 정보를 통해 편차와 편차율을 계산하여 송신자의 시간을 추정하고 동기화된 시간인 가상 시간을 계산하였다. 전체 센서노드들의 시간이 동기화할 수 있음을 분석하고 실험을 통해 효율성을 확인하였다.

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A Multi-band Wearable Device System supporting Low-Energy Protocol (CoAP 프로토콜을 이용한 다중대역 웨어러블 디바이스 제어 시스템)

  • Kang, Jeong-Yun;Jung, Chang-Su;Seo, Ji-Hun;Yoon, Yong-Tak;Han, Ki-Jun
    • Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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    • 2017.07a
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    • pp.109-112
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    • 2017
  • WBAN (Wearable Body Area Network)는 옷이나 몸에 이식된 디바이스들이 몸을 중심으로 결합이나 통신하는 네트워크를 뜻한다. 여기서 사람이 몸에 착용하는 장치인 웨어러블 디바이스는 가벼운 형태의 배터리를 요구한다. 그로 인해, 다른 기기들과는 달리 짧은 배터리 수명을 가질 뿐만 아니라 통신에 관한 제약을 발생시킨다. 따라서 본 논문에서는 저전력 프로토콜을 지원하는 다중대역 웨어러블 디바이스 제어 시스템을 제안한다. 이를 위해 BLE (Bluetooth Low Energy) 기반의 프로토콜 스택으로 BLE, 6LoWPAN (IPv6 over Low power WPAN), CoAP (Constrained Application Protocol)을 적용해 데이터 패킷 크기를 감소 시키고 BLE/Wi-Fi 선택 기능을 통해 통신 제약을 완화하고 전체적인 WBAN 에서의 소비 전력을 감소하고자한다.

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A Study on Dynamic Trigger Threshold in Indoor Positioning System (실내 위치 추정 시스템에서의 동적 트리거 임계값에 관한 연구)

  • Oh, Jongtaek
    • The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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    • v.15 no.6
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    • pp.155-161
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    • 2015
  • As the popularity of the smartphone becomes increase, indoor smartphone positioning technology has been actively studied. The acoustic signal generated from the smartphone is received from the several microphones at the relative positioning system, and the trigger signal is proposed to mitigate the multipath effect and the effect is verified. But for the simple trigger method, there would be error occurred according to the variation of the distance or surrounding noise. In this paper, in order to resolve the problems, the dynamic trigger threshold technology is proposed and its effect is verified by the experiment.

The Plan for an Improvement and New Policy in The Rationalization of Electric Rates System (전기요금제도 합리화를 위한 개선방안과 새로운 정책방향)

  • 신정식
    • JOURNAL OF ELECTRICAL WORLD
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    • no.1 s.145
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    • pp.22-28
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    • 1989
  • 우리나라의 전기요금제도는 각종 정책적 요인을 반영하면서 형성되어 왔으므로 근본적인 가격결정원칙이 결여되고 있으며 가격결정의 일반원칙에 비추어 볼때 여러 문제점들이 노출되고 있다. 본호에서는 현행 전기요금구조의 개선방안으로서 주택용 전기요금의 누진구조 완화, 업무용 전기요금의 1, 2종 구분폐지, 산업용 최대부하요금의 시간대 구분변경 및 요금차등률의 적정화, 그리고 기본요금 비중의 조정을 제안하고 있다. 또한, 전기사업의 새로운 여건변화에 부합하는 장기적인 전기요금 정책방향을 다음과 같이 제시하고 있다. 첫째, 에너지 경합시대에 대응하는 시장경쟁형 전기가격 결정원칙으로서 한계비용 가격원칙의 채택이 필요하다. 둘째, 수요관리형 전기가격 정책방안으로서 최대부하 요금제도의 확대적용, 소비자 선택형 요금제도의 실시, 그리고 전전화 수요가요금제도의 도입에 과한 정책검토가 요망된다. 셋째, 전기요금수준적정화를 위해서는 정책적요인에 의한 전기가격 왜곡요인 배제, 독점기업으로서의 전기사업자의 비효율성 해소, 투자정보율 규제에 대신하는 전기사업자의 합리화 인센티브 규제, 경영부실에 기인하는 비용증대 부분의 불인정, 이시점간설비투자비의 적정배분등을 통하여 전기요금수준인하를 모색하여야겠다. 끝으로 전기요금 개정시 이해당사자들의 견해를 공개적으로 반영시킬 수 있도록 전기가격 조정심의기구와 같은 제도적 장치이 설치가 요망된다.

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Vehicle Booking System for Container Terminal Operation Efficiency (반출입 예약을 통한 컨테이너 터미널의 서비스 수준 향상)

  • Shin, Jae-Young;Park, Jong-Won
    • Proceedings of the Korean Institute of Navigation and Port Research Conference
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    • 2015.10a
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    • pp.165-166
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    • 2015
  • Due to the international economic downturn and the increasing competition, container terminals have been trying to achieve cost effectiveness and high service levels. Shipping companies want to get better services from container terminals but container terminals only have limited space and equipment. Frequently, too many external trucks come to the terminal at the same time, and create bottle necks at the terminals. Ouside the container terminals traffic jams occur as well. As a result, stakeholders need a vehicle booking system. By VBS, container terminals can plan efficiently in advance to avoid work delay and the truck drivers can finish their jobs quickly. This paper aims to search efficient models for the container terminals by using VBS.

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Swine Wastewater Treatment by using Steel-making Slag (제강슬래그 특성을 이용한 축산폐수 처리효과)

  • Kim, Tae Heui;Park, Kyung Bong
    • Clean Technology
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    • v.6 no.2
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    • pp.85-92
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    • 2000
  • For increase of recycling rate of steel-making slag, the swine wastewater treatment using steel-making slag as filter media were investigated. As the discharged wastewater from the existing facilities retreated through the laboratory wastewater treatment equipment filled with steel-making slag as filter, pH of retreated wastewater was increased, and the concentration of N, P, COD and BOD were decreased. For the pilot experiment, steel-making slag eliminated suspended substances and absorbed a shock of sudden change of their concentration in influent. COD and BOD were decreased under the influence of them in influent. As calcination increased the amount of free-CaO in steel-making slag, the calcined eliminated phosphorus more effectively and increase pH than the uncalcined.

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ORTHODONTIC TREATMENT OF ECTOPIC MAXILLARY CENTRAL INCISOR IN A CEREBRAL PALSY PATIENT (뇌병변 장애 환자에서 상악 중절치 이소맹출의 교정적 치험례)

  • Jang, Seok Hun;Nam, Ok Hyung;Lee, Hyo-Seol;Kim, Kwang Chul;Choi, Sung Chul
    • The Journal of Korea Assosiation for Disability and Oral Health
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    • v.11 no.2
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    • pp.72-75
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    • 2015
  • Cerebral palsy is one of the most common disabilities of childhood, which affects movement and co-ordination. Individuals with cerebral palsy are susceptible to traumatic dental injuries. High occurrence of Class II malocclusion with prominent maxillary incisors appears to increase risk of trauma. However, due to fear of behavior management and lack of cooperation, clinicians have avoided orthodontic treatment in cerebral palsy patients. This case report demonstrates that modified rapid maxillary expansion can be used as a simple and effective method to correct ectopic eruption of maxillary incisor in cerebral palsy patient.

De-noising Method using Nonlinear Filter Algorithm in Mixed Noise Environments (복합잡음 환경에서 비선형 필터 알고리즘을 이용한 잡음제거 방법)

  • Long, Xu;Kim, Nam-Ho
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.18 no.9
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    • pp.2265-2271
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    • 2014
  • In modern society digital equipments that are related with various hardware and software are popularized, and digital images are widely applied in the field of production and scientific research. In general, however, images are degraded by the noise in the process of transmission and storage. In this paper, to reduce the influence of mixed noises, the algorithm in which noises in the space area are classified into impulse noise and Gaussian noise and this is processed by applying weighted value, while that is processed by modified nonlinear filter is proposed. And the excellence of the proposed algorithm is judged by PSNR(peak signal to noise ratio).

Analysis of Vehicle Limit Considering the Dynamic Behavior for an Urban Train (도시철도 차량의 동적거동을 고려한 차량한계 해석)

  • 박찬경;김영국;배대성
    • Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering
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    • v.12 no.7
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    • pp.527-533
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    • 2002
  • A railway vehicle should be satisfied with the safety criteria and ride comfort of passengers. A bogie of railway vehicle Is composed of many suspension components, such as springs, dampers and etc.. that have an influence on the dynamic behavior of the train wish the wheel/rail profiles and track geometries. Therefore, it Is necessary for engineers to check the Interference between vehicle limit and construction limit with considering the vehicle's behavior, because when the vehicle is running on curved track, it should be have enough clearance from infrastructure for safely, spacially In a subway system. This paper explains the effective method of analysis for vehicle limit considering the vehicle dynamic behavior and reviews the problem of vehicle limit for the Korean Standard Urban Train. The results show that the vehicle limit is over the construction limit when the Korean Standard Urban Train runs on the curved track with 180 m radius of curve.