• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2011.07a
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• pp.1662-1663
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• 2011

본 논문에서 하지 정맥 지료를 위한 마이크로파 시스템에서 사용될 가열 안테나의 전계 분포를 균일하게 형성시키기 위해 철사 도파관 안테나를 설계 및 제작하였다. 일반적인 도파관 안테나에 경우 안테나 중심 부분에 전계가 가장 세게 분포되어 온도가 다른 곳에 비해 차이가 많이 나므로 인체 피부가 회상을 입힐 위험이 있다. 제안된 철사 도파관 안테나는 끝단에 가느다란 철을 이용하여 전기장을 철사 부분에 집중시켜 안테나 중앙 부분에 집중된 전기장을 분산되도록 설계하였다. 따라서 전기장을 소스로 하는 온도도 균일하게 분포하게 된다. 제안된 철사 도파관 안테나 내부의 전계 분포는 Ansoft 사의 HFSS, 온도 분포는 CST 사의 MWS(Microwave Studio)를 이용하여 시뮬레이션을 하였고, 일반적인 안테나 경우보다 더 균일한 전계와 온도 분포 특성을 보임을 확인하였다. 제작된 철사 안테나는 사용주파수 15GHz에서 -10dB 이하의 반사 손실을 보였다. 또한 안테나 타당성을 검증하기 위해 개구면 앞에 돼지 껍데기를 두고 일정시간 가열하여 일반 안테나와 제안된 철사 도파관 안테나 온도 분포를 비교하였다. 열화상 카메라를 이용한 실험결과 일반 안테나에 경우 중앙과 가장 자리부분 사이에 약 $29^{\circ}C$, 제안된 철사 도파관 안테나에 경우에는 약 $12.5^{\circ}C$의 차이를 보였다. 이를 통해 제안된 철사 도파관 안테나가 전계 분포 균일성 향상에 기여함을 확인하였다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.41 no.10
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• pp.667-673
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• 2017

We investigated the temperature uniformity in an anode-supported solid oxide fuel cell, using the open source computational fluid dynamics (CFD) toolbox, OpenFOAM. Numerical simulation was performed in three different flow paths, i.e., co-flow, counter-flow, and cross-flow paths. Gas flow in a porous electrode was calculated using effective diffusivity while considering the effect of interconnect rib. A lumped internal resistance model derived from a semi-empirical correlation was implemented for the calculation of electrochemical reaction. The result showed that the counter-flow path displayed the most uniform temperature distribution.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.463-463
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• 2010

고휘도 고효율 백색 LED (lighting emitting diode)가 차세대 조명광원으로 급부상하고 있다. 백색 LED를 생산하기 위한 공정에서 MOCVD (유기금속화학증착)장비를 이용한 Epi wafer공정은 에피층과 기판의 격자상수 차이와 열팽창계수차이로 인하여 생성되는 에피결함의 제거를 위하여 기판과 GaN 박막층 사이에 완충작용을 해줄 수 있는 버퍼층 (Buffer layer)을 만들고 그 위에 InGaN/GaN MQW (Multi Quantum Well)공정을 하여 고휘도 고효율 백색 LED를 구현할 수 있다. 이 공정에서 기판의 온도가 불균일해지면 wafer 파장 균일도가 나빠지므로 백색 LED의 yield가 떨어진다. 균일한 기판 온도를 갖기 위한 조건으로 기판과 induction heater의 간격, 가스의 흐름, 기판의 회전, 유도가열코일의 디자인 등이 장비의 설계 요소이다. 코일에 교류전류를 흘려주면 이 코일 안 또는 근처에 있는 도전체에 와전류가 유도되어 가열되는 유도가열 방식은 가열 효율이 높아 경제적이고, 온도에 대한 신속한 응답성으로 인하여 열 손실을 줄일 수 있으며, 출력 온도 제어의 용이성 및 배출 가스 등의 오염 없다는 장점이 있다. 본 연구에서는 유도가열방식의 induction heater를 이용하여 회전에 의한 기판의 온도 균일도 측정을 하였다. 기초 실험으로 저항 가열 히터를 통하여 대류에 의한 온도 균일도를 평가하였다. 그 결과 gap이 3 mm일 때, 평균 온도 $166.5^{\circ}C$ 에서 불균일도 6.5 %를 얻었으며 이를 바탕으로 induction heater와 graphite susceptor의 간격이 3 mm일 때, 회전에 의한 온도 균일도를 측정을 하였다. 가열원은 induction heater (viewtong, VT-180C2)를 사용하였고, 가열된 graphite 표면의 온도를 2차원적으로 평가하기 위하여 적외선 열화상 카메라(Fluke, Ti-10)을 이용하여 온도를 측정하였다. 기판을 회전하면서 표면 온도의 평균과 표준 편차를 측정한 결과 2.5 RPM일 때 평균온도 $163^{\circ}C$ 에서 가장 좋은 5.5 %의 불균일도를 확인할 수 있었고, 이를 상용화 전산 유체 역학 코드인 CFD-ACE+의 모델링 결과와 비교 분석 하였다.

• KOREAN JOURNAL OF PACKAGING SCIENCE & TECHNOLOGY
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• v.29 no.1
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• pp.27-33
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• 2023

An optimized design of the transportation insulated box must be considered to control the thermal damage in order to maintain the fresh condition for temperature-sensitive medicine and frozen food safety. The inside temperature of the insulated box is a natural convection enclosure state, thermal stratification naturally occurs as time passes in case of with outside heat load. The latent heat material (LHM) placement inside the box maintains the target temperature of the product for temperature fluctuations during transport, and LHM application is a common and efficient method. In this work, inside temperature stratification in an insulated box depending on the LHM pack position is numerically simulated and experimented. The insulated box is made up of vacuum insulation panel (VIP), and LHM modules are placed over six faces inside the box, with the same weight. The temperature curves for 72 hrs as experiment results clearly show the temperature stratification in the upper, middle, and lower at the LHM melting time region. However, the temperature stratification state is uniformly changed in accordance with the condition of the upper and lower placement weight of the LHM pack. And also, the temperature uniformity by changed placement weight of LHM has an effect on maintaining time for target air temperature inside the box. These results provide information on the optimized design of the insulated box with LHM.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.16 no.6
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• pp.3714-3721
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• 2015

Although sheath-type heating line is generally used for susceptor heater, performance deterioration problems in temperature uniformity occurs in the case of large scale and high temperature condition. We developed new design and prototype of the susceptor using sheet metal to provide performance improvement in temperature uniformity. Temperature uniformity below 1.4% in the surface temperature condition of $450^{\circ}C$ was verified in the susceptor prototype. Also we developed Kernel regression algorithm to estimate measured temperature using temperature learning data. The reliability of the measured temperature uniformity was confirmed by comparative analysis between predicted data and measured data.

• Monthly Korean Chicken
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• v.18 no.10
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• pp.114-119
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• 2012

양호한 육추 관리는 언제나 좋은 계군(鷄群) 체중의 균일도(均一度)를 가져올 것이다. 균일도는 양호한 일관성(一貫性)있는 성적을 얻는 열쇠이다. 그리고 처음 14일간 불량한 육추 관리를 한 뒤에는 양호한 균일도에 도달될 수 없다. 결정적으로 중요한 인자들은 온도, 공기 품질, 물과 사료이다. 이들 관리가 정확하게 실시되면 당신의 성공은 80%가 달성될 것이다. 언제나 환기(換氣)를 위해서 온도(溫度)를 결코 희생(犧牲)하지 말아야 하고, 그리고 온도를 위하여 결코 환기를 버리면 안된다는 것을 잊지 말라.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2000.07d
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• pp.2548-2550
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• 2000

RTP(Rapid Thermal Processing)은 IC제조 공정과 관련된 열처리 과정에 사용되는 단일 웨이퍼프로세스 기술이다. 반도체 웨이퍼를 고속 열처리할 때 웨이퍼별로 작은 반응실에서 가열, 가공, 냉각된다. 현재 사용되는 반도체 열처리장비는 고온로(furnace)에의해 대부분 이루어지지만, 시간이 많이 걸려서 주문형반도체 생산과 같은 다양한 종류의 웨이퍼를 소량 생산하는데는 부적절하다. 이에 매우 적은 시간이 소요되는 RTP장비가 많이 연구되고 있다. 그러나 RTP는 예기치 못한 몇 가지의 문제점을 일으킨다. 그중 하나는 웨이퍼 표면에 분포된 온도의 불 균일성이다. 이러한 불 균일성은 웨이퍼의 표면에 심각한 왜곡(distortion)을 일으켜 좋지 못한 결과를 가져오게 한다. 이번 논문의 목적은 RTP시스템을 수학적으로 모델링하고, 이를 이용하여 멀티 램프 시스템의 입력값을 조절하여 이미 배치된 램프에 대한 최적의 온도 균일도에 알맞은 각 램프입력을 구하여 램프 입력 프로파일을 만들고 또한 이를 이용하여 외란에 대한 PID 제어기 설계를 목표로 한다.

• Journal of the KSME
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• v.56 no.7
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• pp.51-54
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• 2016

이 글에서는 티타늄 합금의 절삭가공 시 공구수명을 향상시키기 위해 적용하는 액체질소를 사용한 극저온가공에서, 공구의 냉각 균일성을 향상시키기 위한 방법으로 극저온간접냉각(Indirect cryogenic cooling) 방식을 소개한다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.24 no.1
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• pp.18-21
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• 2014

The microwave absorption ($P_{tot}$), which is the double integration value of ferromagnetic resonance signal, propositional to the saturation magnetization, and the increase of the $P_{tot}$ measured during the thermal reaction time expect the growth process of the nanoparticles. Therefore, in this work, we measured the $P_{tot}$ in order to obtain the growth time of iron oxide nanoparticles after thermal decomposition of $Fe(acac)_3$ precursor at aging temperature $T_a=273$, 300 and $324^{\circ}C$, respectively. The best condition for monodisperse nanoparticles was obtained at $T_a=300^{\circ}C$, which condition showed the most rapid increase of $P_{tot}$ with thermal reaction time. Finally, the rapid growth rate was necessary condition for the synthesis of iron-oxide monodisperse nanoparticles.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.11 no.10
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• pp.3626-3632
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• 2010

Some design changes were made to enhance the uniformity of temperature distribution inside the chamber of semiconductor test equipment. The design changes include the installation of adjustable airflow controller inside the chamber, the alignment of the centers of heater and match plate, the change in the size and the shape of holes in match plate base, and the addition of new holes of 2 mm diameter in order to allow airflow directly to the temperature sensors. In order to verify their effects, the temperature distributions inside the chambers were measured using 32 RTD sensors before and after the design changes. The temperature distributions were in the ranges of 87.1 to $91.5^{\circ}C$ ($90{\pm}2.9^{\circ}C$) and 89.5 to $90.8^{\circ}C$ ($90{\pm}0.8^{\circ}C$) before and after the design changes, respectively. The above temperature distribution after design changes was maintained for longer than 15 minutes, which satisfied the target temperature range of $90{\pm}1^{\circ}C$ for longer than 10 minutes.