본 고에서는 반도체 생산 장비의 하나인 고속 열처리 공정기를 소개하고, 현재의 기술 동향과 그에 따른 기술발전의 추이를 논의 하였다. 고속 열처리 공정기는 단일 웨이퍼 가공기로서 각각의 웨이퍼가 동일한 환경하에서 가공될 수 있다는 장점 때문에 앞으로 웨이퍼가 대형화되고 다품종 소량생산이 요구되면서 더욱더 주목받게 되고 또한 반도체 생산에 있어서 핵심이 될 장비이다. 따라서 현재 고속 열처리 공정기를 실제 현장에서 널리 사용하지 못하고 있는 큰 이유 중의 하나인 웨이퍼의 온도 균일성 문제를 해결하는 것이 현 시점에서 매우 중요하다. 그리고 여러 챔버를 연결하여 다양한 작업을 일괄적으로 처리할 수 있는 다 챔버 과정으로의 발전도 필요하다고 할 수 있다. 반도체 생산장비의 대다수를 수입에 의존하고 있는 국내 현실을 고려할 때 반도체 생산기술의 국산화는 매우 중요하다. 따라서 차세대 반도체 생산장비로 주목받고 있는 고속 열처리 공정기의 생산기술을 국산화하는 것은 그 의미가 크다고 할 수 있다. 이를 위하여 산업계와 학계의 지속적인 관심과 좋은 연구결과를 기대한다.
Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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2001.04b
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pp.841-844
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2001
원자력 발전소의 에너지를 생성하는 원자로의 동특성(Reactor Dynamic Characteristics)은 반응도(Reactivity) 영향인자가 변하여 원자로에 가해지는 외란(disturbances)에 의한 반응도 궤환(feedback)과 부가적으로 변하는 각종 원자로 계통의 설계변수 들에 대한 복잡한 노물리 현상을 통해 결정되며 이러한 현상을 이해하는 것은 원자력 발전소 종사자에게는 무척이나 중요한 일이다. 본 고에서는 가상현실 등 첨단기법을 이용하여 전력연구원에서 개발한 교육지원시스템(VRCATS)의 일환으로 강의실 이론 교육 시에 원격으로 시뮬레이터에 접속하여 각종 반응도 변화를 통한 원자로 노심상태 즉, 노심 내 전체 중성자속분포, 각종 온도 분포를 실시간으로 3 차원으로 보여주며, 시간에 따른 제논, 보론농도 등 반응도 변화 인자 및 총 반응도 변화추이 등을 감시 할 수 있는 컴퓨터 지원 노심설계 및 훈련 시스템(PREMARK) 개발 내용 및 특징을 기술하였다.
Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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1997.10a
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pp.401-406
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1997
발전소 기동 및 저출력 운전시 원자력발전소(PWR) 터빈운전원(T/O)들은 증기발생기 수위제어를 위해 배전반(MCR)에 증기발생기 수위제어 관련 경험이 있는 운전원 3명 이상이 좁은 보드앞에서 각자 S/G A, B, C의 주요 파라미터들을 감시하며 수동운전하게 된다. 이렇게 운전원들이 많은 위험부담을 안고 수동운전하는 이유는 증기발생기 수위제어는 증기발생기 내부의 광역수위 측정범위가 약 14.2(m)이고, 주요 제어변수를 측정하는 협역수위는 약 3.2(m)로 매우 적어서 물의 Swell, Shrink 현상과 급수온도의 영향으로 제어하기 매우 어렵기 때문이다. 그러나 DCS(Distributed Control System)내의 한 부분인 공정감시제어를 위한 MMI(Man Machine Interface) Software를 사용하면 한사람이 증기발생기 수위제어 전 계통의 감시 및 제어가 가능하게 된다. 또한 과거나 현재의 변화 추이 및 문제점 분석은 물론, 계통의 결함 발생시 경보가 발생하여 경보발생 화면을 선택할 경우 어느 부분에서 결함이 발생했는지를 보여준다. 만약 이 화면을 운전원이 아닌 현장 Engineer가 보았을 경우는 결함부분의 확인 및 결함카드 보수가 가능하여 운전원들의 작업부담 감소와 이로 인한 다른 계통 점검 시간을 충분히 확보할 수 있다.
본 논문은 기설 WSI제 CVT에 대해 전자 과도해석 프로그램((EMTP : Electromagnetic Transient Program)을 통한 모의실험으로 철공진현상 제동저항 크기($0.5{\Omega}$)를 선정하고, 기설 154kV 및 345kV CVT의 철공진방지회로를 제동저항 단독취부 형태에서 과포화리액터와 제동저항을 직렬회로로 구성하여 취부하는 방식으로 개선한 후 실증시험 및 현장적용 시험을 통해 CVT 쳔공진현상 제동여부 확인 및 외함온도 변화추이 비교하여 개선효과를 제시함으로써 WSI제 CVT 고장예방에 기어코자 한다.
돼지의 전염성위축성비염(傳染性萎縮性鼻炎)의 주요한 병원균(病原菌)이라고 생각되는 Bordetella bronchiseptica(이하(以下)B균(菌)) 자연감염돈분리유내균주(自然感染豚分離由來菌株)를 사용하여 mouse 비강내정착성(鼻腔內定着性)에 관(對)한 사균면역(死菌免疫)의 효과(效果)를 검토하고자, 먼저 상변리(相變異)에 따르는 균(菌)의 독역(毒力)과 감염방어성(感染防禦性)을 비교함과 동시에, I 상균불활화예방액(相菌不活化豫防液)의 면역원성(免疫原性)에 관(對)한 기초적인 검토를 실시하였고, 이에 계속하여 생균비강내접종(生菌鼻腔內接種)에 따르는 균(菌)의 정착성(定着性)과 혈중응집(血中凝集) 항체(抗體)의 경시적(經時的)인 추이(推移)를 검토하였다. 얻어진 성적을 요약하면 다음과 같다. 1. B균(菌) I 상균(相菌)(W-1029주(株))의 독역(毒力)은 III 상균(相菌)(H-969주(株))에 비하여 독역(毒力)이 강하였으며, I 상균(相菌)은 감염방어성(感染防禦性)을 보유하고 있었으나 III 상균(相菌)은 감염방어성(感染防禦性)이 전혀 없었다. 2. B균(菌) I 상균사균면역(相菌死菌免疫)에 있어서 formalin과 merthiolate 처리(處理) 및 불활화온도(不活化溫度)($0^{\circ}C$및 $37^{\circ}C$)간(間)에는 현저한 면역원성(免疫原性)의 차이는 인정할 수 없었다. 3. 사균면역(死菌免疫)을 실시한 mouse 군(群)에 생균(生菌)의 경비접종(經鼻接種)에 의하여 경시적(經時的)으로 균(菌)의 호흡기도내(呼吸氣道內)의 정착성(定着性)과 혈중응집항체가(血中凝集抗體價)의 추이(推移)를 보았던 바, 비면역대조군(非免疫對照群)에 비하여 면역군(免疫群)은 현저한 면역효과(免疫效果)를 나타내었으나, 면역군(免疫群)에서 간헐적(間歇的)인 배균(排菌)이 상당기간에 걸쳐 인정되었으며 또한 응집항체가(凝集抗體價)의 상승에 따르는 비강내정착균(鼻腔內定着菌)의 완전소실(完全消失)은 다소 곤난함이 인정되었다. 이상(以上)의 성적(成積)으로 B균사균항원(菌死菌抗原)을 사용하여 고도(高度)의 면역(免疫)을 시킴으로서 비강내(鼻腔內)에 있어서의 B균(菌)의 정착(定着)을 조지(阻止)할 수 있는 가능성(可能性)이 시사(示唆)되나 항체가(抗體價)의 상승(上昇)에 따르는 균(菌)이 비강내(鼻腔內)에서 완전 소실(消失)이 다소 곤난한 점은 본균(本菌)과 호흡기도점막감염(呼吸器道粘膜感染)의 실태(實態)를 시사(示唆)하는 것으로 보아진다.
Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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v.19
no.2
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pp.33-39
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2015
Recently, the event of slope failure has been occurring frequently due to rapid climate changes and broad development of infrastructures, and the research for establishment of monitoring and prevention system has been an attentive issue. The major influence factors of slope failure mechanism can be considered moisture and temperature in soil, and the slope failure can be monitored and predicted through the trend of moisture-temperature change. Therefore, the combined sensing technology for the continuous measurement of moisture-temperature with different soil depths is needed for the slope monitoring system. The various independent sensors for each item (i.e. temperature and moisture respectively) have been developed, however, the research for development of combined sensing system has been hardly carried out. In this study, the high-fidelity sensor combing temperature-moisture measurement by using the minimized current consuming temperature circuit and the microwave emission moisture sensor is developed and applied on the slope failure monitoring system. The feasibility of developed monitoring system is verified by various experimental approaches such as standard performance test, mockup test and long-term field test. As a result, the developed temperature-moisture combined measurement system is verified to be measuring and monitoring the temperature and moisture in soil accurately.
Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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v.18
no.2
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pp.126-133
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2014
The main source of bridge destruction is due to scour. The bridge scour is the result of erosive action of flowing water taking away ground materials from near the abutment or pier. Furthermore, the water level must be also monitored whiling flooding, because it dangers not only the stability of bridge itself, but the safety of bridge users. This study is intended to develop a new measuring system for bridge scour by overcoming the current limitation of scour measurement technique. This measuring system is confirmed its excellence and validity through this study. The newly developed measuring system finds the distance between the water surface and the ground surface by detecting temperature difference along the abutment vertically. The measuring mechanism for monitoring the bridge scour and water level is based on identifying the temperature difference among mediums, including air, water and ground. In order to validate the new measuring system, the lab experiments and the field tests are conducted and compared. It has been confirmed that this system can effectively measure the bridge scour and the water level by analyzing the temperature distribution between mediums and the temperature variation over time.
Kim, Ji Eun;Kim, Jun Young;Ahn, Hong Seok;Kown, Hyuk Woo;Ko, Han Gyu;Kim, Seong Hwan
Journal of Mushroom
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v.16
no.4
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pp.342-346
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2018
The temperature and humidity of 49 greenhouses for oak mushroom cultivation were investigated for 5 years to analyze the trends in the change of these parameters according to the climate change in Korea. The 5-year average temperature and humidity were $24.7^{\circ}C$ and 60.5%, respectively, in sawdust media-based cultivation houses and $24.4^{\circ}C$ and 60.0%, respectively, in log-bed cultivation houses. The average temperature in the summer was $29.8^{\circ}C$ in 2016, $29.1^{\circ}C$ in 2017, and $33.3^{\circ}C$ in 2018 in the log-bed cultivation houses and $26.8^{\circ}C$ in 2016, $20.4^{\circ}C$ in 2017, and $24.2^{\circ}C$ in 2018 in the sawdust media-based cultivation houses. During the investigation, temperatures over $30^{\circ}C$ were detected in one cultivation house in spring and five such houses in summer. When classifying by cultivation type, temperatures over $30^{\circ}C$ were found in five log-bed cultivation houses and temperatures less than $20^{\circ}C$ were found in four log-bed cultivation houses in fall. This study shows that log-bed cultivation houses for oak mushroom need to be modified to cope with the climate change.
Journal of the Korean Data and Information Science Society
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v.25
no.1
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pp.155-167
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2014
This study uses a continuous autoregressive (CAR) model to analyze daily average temperature in six Korean metropolitan cities. Data period is Jan. 1, 1954 to Dec. 31, 2010 covering 57 years. Using a relative long time series reveals that the linear time trend components are all statistically significant in the six cities, which was not shown in previous studies. Particularly the plus sign of its coefficient implies the effect on Korea of the global warming. Unit-root test results are that the temperature time series are stationary without unit-root. It turns out that CAR(3) is suitable for stochastic component of the daily temperature. Since developing suitable continuous stochastic model of the underlying weather related variables is crucial in pricing the weather derivatives, the results in this study will likely prove useful in further future studies on pricing weather derivatives.
This study presents the test results on the compaction characteristics of warm mix asphalt mixtures that include the additive in 3 different mixtures(hot mix asphalt, SBS and SMA). The tests were conducted to find out the compaction characteristics on the compactability with varying compaction time, different amount of the warm mix additive and lowering the compaction temperature. The Superpave gyratory compactor was used to find out the variation of the density when the number of the gyration is varied. A dense mixture and 3 different warm mix additives were employed to find the relationship between compactability and compaction time. The comparison of the compactability with lowering the temperature was conducted using dense mixture, SBS polymer modified mixture and stone matrix asphalt mixture(SMA). The difference of the density of warm mix asphalt mixtures was not found due to the lowering of compaction temperature when it was compared with the standard mixture and the warm mix showed the stable condition in density. In the mean time, depending upon the different warm mix additive and mixture, the difference of density and the variation trend of compaction is found to be existed and shows the relationship between these two variables.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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