• 제목/요약/키워드: 오존발생장치

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평판형 오존발생기의 전극 형태에 따른 방전 및 오존 생성 특성 (The Characteristics of Discharge and Ozone Concentration for Plate Type Ozonizer According to Electrode Form)

  • 이창호;방아위;이상근;송현직;김종현;윤병한;이광식
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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    • pp.1426-1427
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    • 2007
  • 오존발생기에 따른 특성의 다양함과 전원장치와 같은 주변기기의 최적화에 많은 시간과 노력이 투입되는 등 제품의 상용화에 많은 어려움이 있는 실정이다. 본 논문에서는 제작비가 저렴하고 제작이 쉬운 평판 전극을 적층시킨 평판형 오존발생기를 제작하여 여러 가지 전극 형태(길이)에 원료가스의 유량, 인가전압의 변화에 따른 방전 특성 및 오존생성농도, 오존 발생량 및 오존생성수율을 연구 검토하였다.

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오존 발생용 평판형 유전장벽방전 시스템의 회로 모델링 (Circuit modeling of Planer type Ozone Reactor Using Dielectric Barrier Discharging)

  • 김봉석;고광철
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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    • pp.1463_1464
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    • 2009
  • 상압에서의 유전장벽방전(DBD: Dielectric Barrier Discharing) 방법은 현재 높은 효율성과 공정의 편이성으로 인하여 높은 진공도를 요구하는 반도체 공정 단계 및 광원 또는 오존 발생 장치로 각광받고 있다. 하지만, 기존의 플라즈마 진단 방법 및 분석 방법을 통하여 특성 부하 목적으로 사용되는 유전장벽 방전의 특성을 파악하는 것은 한계가 있다. 본 논문은 오존 발생용 평판형 DBD 반응기 및 전원장치를 전기 모델링하여 평판형 DBD 반응기의 변화 및 전원 장치의 최적 조건을 판별하는 것을 목적으로 하고 있다.

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오존의 살균 및 탈취와 오존발생기의 발생농도 변화

  • 윤영미;고명석;김현종;이은미;정봉우;이현철
    • 한국생물공학회:학술대회논문집
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    • 한국생물공학회 2000년도 추계학술발표대회 및 bio-venture fair
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    • pp.473-474
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    • 2000
  • 오존의 강력한 산화력은 돈사 내 공기중에 부유하는 세균에 대하여 큰 살균효과를 나타냈는데, 이는 $0.05{\sim}0.07ppm$의 작업자와 돼지에게 피해를 최소화 할 수 있는 오존 농도 범위여서 그 효과가 크다 하겠다. 본 실험에서 오존은 발생장치 내에서의 원료공기(산소)의 체류시간에 따라 각기 다른 발생농도를 나타냈으며, 풍량이 14.7m^3/min$ 일 때 가장 높은 오존 농도를 보임을 알 수 있었다. 또한 오존 발생기를 개방형에서 폐쇄형으로 변형함으로써 같은 조건에서 더 높은 오존발생농도(폐쇄형: 0.13ppm, 개방형: 0.08ppm)를 얻을 수 있었다.

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오존발생 시스템의 전원장치 개발 (Development or Power Supply for Ozone Generating System)

  • 지준근;윤기현
    • 한국산학기술학회:학술대회논문집
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    • 한국산학기술학회 2005년도 춘계학술발표논문집
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    • pp.194-197
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    • 2005
  • 본 논문에서는 오존발생 시스템의 전원으로 사용하는 단상 풀브리지 인버터를 ATmega128을 이용하여 출력 주파수와 전압을 제어하였고, 제어 방식으로는 준구형파 방식이 사용되었다. 또한, 사용자가 오존발생 시스템에서 키패드를 사용하여 출력 주파수와 전압값을 설정할수 있게 하였고, 사용자가 설정한 값을 LCD를 이용하여 디스플레이하였다.

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Lissjous법을 이용한 고주파 오존발생기의 특성 (A Characteristics of High Frequency Ozonizer by Lissajous Method)

  • 이창호;전병준;박용권;송현직;이광식
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2003년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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    • pp.223-225
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    • 2003
  • 이 논문은 무성방전을 이용하여 환경개선 분야로의 적용이 가능한 무성방전형 오존발생기를 설계, 제작후 고주파 전원장치의 전원주파수와 인가전압에 따른 방전특성 및 오존생성특성을 연구 검토하였으며, 오존발생기 내부에서 소비되는 방전전력을, 정확히 측정하고자 Lissajous 도형을 이용해 오존발생기의 방전부에서 소비전력을 계산하였다.

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지속가능한 에너지를 이용한 오존 발생시스템 개발 (Development of Ozone Generation System by using Sustainable Energy)

  • 김기동;김민영;이승윤;지홍기
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2008년도 학술발표회 논문집
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    • pp.1452-1456
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    • 2008
  • 우리나라 주요 상수원인 낙동강, 금강 등의 수질이 급격히 악화됨에 따라, 기존의 정수방법에 어려움이 발생되고 있다. 과거 염소에 의존한 수처리방법이 많이 사용되어 왔으나, 1989년 이후 중금속, THM(Trihalomethane), 페놀사건, 벤젠 등 각종 수돗물 유기물질 오염사고가 다발하면서, 활성탄 및 오존$(O_3)$ 등을 이용한 다양한 처리 시설들이 도입되기 시작했다. 이중 강력한 산화력을 지니고 있는 오존의 경우, 상수처리, 폐 배수처리, 식품의 살균 및 보관, 나아가 반도체 제조공정중의 포토레지스터의 제거에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다. 그러나 오존이 가지는 뛰어난 정화능력에도 불구하고, 막대한 설치비용 및 운전비용의 문제로 하수처리장과 같은 대규모 시설에서는 도입되지 못하고 있었다. 이러한 문제점을 극복하고자 본 연구에서는 재생 가능한 에너지를 오존시스템의 전력원으로 대용시킴으로써, 그 효과를 극대화시키고자 하는데 목적이 있다. 에너지 밀도가 낮지만, 지역 의존성이 적고, 청정한 무한 에너지인 수력, 풍력 및 태양에너지를 혼용한 오존 발생시스템은 소규모의 연못이나 농촌의 저수지 같은 유역뿐만 아니라, 농촌폐수로 인해 오염된 지하수의 국소지역에 대한 수처리에 사용될 수 있다.

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생체 적합성이 확보를 위한 오존화 올리브오일 제조 장치 구현 (Implementing of Ozonated Olive Oil Manufacturing Device to Ensure Biocompatibility)

  • 김덕술
    • 융합신호처리학회논문지
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    • 제24권3호
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    • pp.153-159
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    • 2023
  • 오존화 올리브 오일은 피부 질환에 우수한 치료 효과가 있어, 오존을 활용한 화장품 제조 기술의 개발이 시도되고 있다. 오존은 인체에 유해한 요소가 있어 오존화 올리브 오일을 화장품 원료용으로 제조하기 위해서는 별도의 시설이 준비되어야 한다. 본 연구에서 개발된 제조 장치는 생산에 투입된 작업자의 안전이 확보된 상태에서 화장품 제조에 최적화된 공정으로 설계 되었다. 구현된 장치로부터 제조된 오존화 올리브유의 검증을 위해 동물실험을 대상을 한 독성시험을 진행하였고 Rabbit에 대한 오존화 오일(고농도)을 Rabbit의 등 부위에 24시간 동안 도포한 후 사망률, 일반증상 및 피부 자극평가를 수행하였다. 실험 결과 일정 시간 후 시험 물질 처치부위를 평가한 결과, 모든 동물에서 피부자극이 관찰되지 않음이 확인되어 오존화 오일의 생산공정의 안전성과 생성물의 안전성을 확인 할 수 있었다.

반도체 웨이퍼의 오존 수(水) 세정을 위한 고농도 오존발생장치 특성 연구 (A Study on the Characteristics of the High Concentration Ozone Generator for the Semiconductor Wafer Cleaning with the Ozone Dissolved De-ionized Water)

  • 손영수;함상용;문세호
    • 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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    • 제52권12호
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    • pp.579-585
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    • 2003
  • Recently the utilization of the ozone dissolved de-ionized water(DI-O3 water) in semiconductor wet cleaning process to replace the conventional RCA methods has been studied. In this paper, we propose the water-electrode type ozone generator which has the ozone gas characteristics of the high concentration and high purity to produce the high concentration DI-O3 water for the silicon wafer surface cleaning process. The ozone generator has the dual dielectric tube structure of silent discharge type and the water is both used to electrode and cooling water. We investigate the performance of the proposed ozone generator which has the design goal of the concentration of 7[wt%] and ozone generation quantity of 6[g/hr] at flow rate of 1[$\ell$/min). The experiment results show that the water electrode type ozone generator has the characteristics of 8.48[wt%] of concentration, 8.08[g/hr] of generation quantity and 76.2[g/kWh] of yield and it's possible to use the proposed ozone generator for the DI-O3 water cleaning process of silicon wafer surface.

대기압 유전체장벽방전을 적용한 플라즈마오존 공간살균장치에 관한 연구 (A study of the space sterilization device using atmospheric-pressure DBDs plasma)

  • 오희수;이강연;박주훈;정병호
    • 한국융합학회논문지
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    • 제13권3호
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    • pp.281-289
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    • 2022
  • 플라즈마오존은 높은 살균성능으로 인해 다양한 살균분야에서 활용되고 있다. DBD(유전체 장벽방전)에 사용되는 유전체는 주로 석영, 세라믹, 폴리머 등이 주로 사용된다. 유전체로 이루어진 레이어는 공급되는 전하의 양을 제한시키고 플라즈마가 유전체 면 위에서 고르게 발생할 수 있도록 하는 역할을 한다. 이러한 DBD를 이용한 플라즈마, 오존살균은 살균대상이나 주변 환경이 복잡한 구조로 된 경우가 많아 공간살균에 대한 개념을 수립하고 이에 대한 연구와 학문적 체계가 필요하다. 본 연구에서는 플라즈마라디칼과 오존 생성을 위해 대기압에서 DBD방식을 이용한다. 플라즈마오존의 발생을 위한 반응기의 구조는 세라믹 튜브 유전체와 스테인리스 도체를 일정한 간격으로 배치하여 유전체 장벽방전을 발생시키는 형태이다. 공간살균장치로서의 플라즈마오존 발생은 성능 면에서 우수한 살균장치로 인식되고 있으므로 장치의 설계와 검증을 통해 공간살균장치의 최적설계를 확립하고자 하며 제안된 방법을 기반으로 다양한 살균 어플리케이션을 개발하는데 기초를 제공한다.