CMP 공정후 세정공정 여부에 따른 $Pb(Zr,Ti)O_3$ 박막 캐패시터의 피로 특성
(Fatigue Properties of $Pb(Zr,Ti)O_3$ Thin Film Capacitor by Cleaning Process in Post-CMP)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 Vol.19
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- pp.139-140
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- 2006