• Title/Summary/Keyword: 엑사이머 레이저

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Laser application in 3-D micromachining (레이져를 이용한 3차원 형상가공에 관한 연구)

  • 윤경구;이성국;황경현
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1995.10a
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    • pp.75-78
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    • 1995
  • This paper presents the feasibility of laser ablation process in 3-D micro machining of MEMS (micro Electro Mechanical System)parts. The micro machining characteristics of polymer(Energy fluence, pulse repetition rate, number of pulse, ablation rate)are investigated and 3-D micro machined samples are demonstrated.

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Laser beam application technology (레이저빔 응용 가공기술)

  • 윤경구;김재구;황경현
    • Journal of the KSME
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    • v.37 no.12
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    • pp.47-52
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    • 1997
  • 엑사이머 레이저는 Ar, Kr, Xe등의 희귀가스와 F, Cl과 같은 할로겐족 가스를 혼합하여 방전여기에 의해 발진되는 157-350mm 파장대에 자외선 레이저이다. UV레이저를 이용하면 종래의 기계 가공 공정으로 실현할 수 없는 극소형 및 초정밀의 기계구조, 센서 또는 액츄에이터를 비접촉식으로 할 수 있고 가공시 열손상이 거의 없다. 최근 제품의 소형화 및 박막화 추세에 따른 미세가공 기술의 급속한 발전을 살펴보면, Uv레이저를 이용한 실리콘 표면의 도핑(dopping)에 관한 연구, 미소전자 패키징에 레이저를 이용하는 방법뿐만 아니라, 레이저 유도에 의한 금속과 혼합물의 물질전달 현상을 활용한 마이크로 패터닝에 관한 연구도 진행되고 있다. 본 글에서는 여러가지 응용분야 중 레이저 어블레이션, 레이저유도화학에칭, 레이저 PVD등에 대하여 기술한다.

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A Development of 2.56 MeV e-Beam Accelerator for Excitation of XeF(C\rightarrow$A) Laser (XeF(C\rightarrow$A) 레이저 여기용 2.5MeV e-Beam 가속기 개발)

  • 류한용
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 1991.06a
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    • pp.18-21
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    • 1991
  • 청록색 영역에서 발진하는 XeF(C$\longrightarrow$A)엑사이머 레이저 여기용 2.56MeV 전자빔 가속기를 개발하였다. 대출력 전자빔 가속기는 $\pm$80kV로 충전하는 Marx Generator를 동축구조로 꾸밈으로서 낮은 임퍼던스와 인덕턴스를 유지할 수 있었고, 빠른 전압상승과 유사구형파 출력을 얻을 수 있었다. 본 연구에서는 대출력 전자빔가속기 (2.56 MeV, 2.2KJ)의 파라메터와 동작특성, 전압측정 등을 기술한다.

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Development of a Simulation Program for Virtual Laser Machining (가상 레이저가공 시뮬레이션 프로그램 구축)

  • Lee Ho Yong;Lim Joong Yeon;Shin Kui Sung;Yoon Kyung Koo;Whang Kyung Hyun;Bang Se Yoon
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.22 no.7 s.172
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    • pp.54-61
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    • 2005
  • A simulator for virtual laser machining is developed to help understanding and predicting the effects of machining parameters on the final machined results. Main program is based on the model for polymer ablation with short pulse excimer lasers. Version f of the simulator is built using Visual Fortran to make the user work under visual environment such as Windows on PC, where the important machining parameters can be input via dialog box and the calculated results for machined shape, beam fluence, and temperature distribution can be plotted through the 2-D graphics windows. Version II of the simulator is built using HTML, CGI and JAVA languages, allowing the user to control the input parameters and to see the results plot through the internet.

Modeling of Laser Micromachining of Quasi-three-dimensional Shapes (레이저를 이용한 준삼차원 미소형상 가공 모델링)

  • Shin Kui Sung;Yoon Kyung Koo;Whang Kyung Hyun;Bang Se Yoon
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.22 no.7 s.172
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    • pp.79-87
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    • 2005
  • This paper summarizes the work on the development of a simulation program for modelling the process of machining quasi-three dimensional shape with the excimer laser beam on a constantly moving polymers. Relatively simple masks of rectangle, triangle and half circle shape are considered. The etching depth is calculated by considering the number of laser pulses irradiated on the specimen surface. It was found that similar shapes as experimental results can be obtained by choosing suitable parameters of moving velocity, moving distance and mask sizes.

Theoretioal analysis of the buffer gas effects in a KrF$^*$ formation (KrF$^*$형성의 완충기체 영향에 대한 이론적 해석)

  • 최부연
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 1990.02a
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    • pp.3-8
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    • 1990
  • 방전여기 방식의 KrF 엑사이머 레이저의 컴퓨터 시뮬레이션 프로그램을 개발하여 방전중의 KrF 형성, 탈여기 및 흡수채널에서 완충가스의 영향을 이론적으로 해석하였다. 생성효율은 Ne 완충가스에서 He보다 2.2배 정도 높았으며, KrF의 탈여기는 He과 Ne 완충가스에서 각각 50%, 30% 정도의 비율을 차지하였다. 그러나 흡수 과정에서는 완충가스의 영향이 크지 않은 것을 알 수 있었다.

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Study on the Application of Exicimer Laser(1) (엑사이머 레이저 응용 기술에 관한 연구(I))

  • Hwang, Gyeong-Hyeon;Yun, Gyeong-Gu;Lee, Seong-Guk;Kuzmichov, A.V.
    • 연구논문집
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    • s.25
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    • pp.115-120
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    • 1995
  • The aim of this project is the development of technology of production of micro mechanical parts. Materials are Cr, pt or film (thickness $1000-3000\AA$) on glass substrate. Method of manufacturing is resistless direct laser ablation based on the projection technology. A source of radiation is KrF excimer laser(248nm), Experiments of threshold energy are carried out and the results are analyzed by SEM.

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A Study on preionization effect of discharge excited KrF excimer laser (방전여기 KrF 엑사이머 레이저의 에비전리 영향에 관한연구)

  • Kim, Sang-Ook;Choi, Boo-Yeon;Lee, Choo-Hie
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 1990.07a
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    • pp.459-461
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    • 1990
  • Me performed an experiment about preionization electron number density of charge transfer type KrF excimer laser. At the total pressure of 1.8 and 2.2 atm with helium (He) buffer gas, the experimental range of the electron number density is 8-9 ${\times}$ 10 cm The distance between electrode and preionization pin is 15 mJ at charging voltage of 27kV,gas pressure of 2.2 atm,gas mixture of F /Kr/He = 0.3/396.7(%).

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Development of KrF Excimer Laser with surface discharge preionization (표면예비전리 방식을 사용한 KrF 엑사이머 레이저의 개발)

  • Park, Hong-Jin;Lee, Choo-Hie
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 1990.07a
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    • pp.462-464
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    • 1990
  • We report the development of a surface discharge preionized KrF discharge Laser with a new type of high-brightness Corona preionizer using a segmented columnar $BaTiO_3$ dielectric. This Laser characteristic was higher value than that obtained with the conventional corona preionizer using a glass, $Al_2O_3ceramic$, Kapton film, or a Teflon insulator.

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The Characteristic of voltage and Current in Discharge-pumped Excimer Laser with Charge Transfer Type (용량이행형 방전여기 엑사이머 레이저의 전압 전류 특성)

  • Jung, Jae-Keun;Choi, Boo-Yeon;Lee, Choo-Hie
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 1987.11a
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    • pp.405-407
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    • 1987
  • We calculated the discharge resistance, which is determined by plasma dynamics, of the discharge pumped excimer lasers with charge-transfer type. And investigated the characteristic of discharge voltage and current using EMIP.

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