Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 1990.02a
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- Pages.3-8
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- 1990
Theoretioal analysis of the buffer gas effects in a KrF$^*$ formation
KrF$^*$ 형성의 완충기체 영향에 대한 이론적 해석
Abstract
방전여기 방식의 KrF 엑사이머 레이저의 컴퓨터 시뮬레이션 프로그램을 개발하여 방전중의 KrF 형성, 탈여기 및 흡수채널에서 완충가스의 영향을 이론적으로 해석하였다. 생성효율은 Ne 완충가스에서 He보다 2.2배 정도 높았으며, KrF의 탈여기는 He과 Ne 완충가스에서 각각 50%, 30% 정도의 비율을 차지하였다. 그러나 흡수 과정에서는 완충가스의 영향이 크지 않은 것을 알 수 있었다.
Keywords