• 센서학회지
• /
• 제10권3호
• /
• pp.148-155
• /
• 2001

생체 내 압력을 in-situ로 측정하기 위해 삽입하는 카테터의 내부에 탑재될 압력센서를 설계, 제조하여 그 특성을 측정하였다. 카테터의 내경 1mm에 맞도록 $150\;{\mu}m$(두께) ${\times}$ (600, 700, 800, 900, 1000) ${\mu}m$(폭) ${\times}2\;mm$(길이)로 제조하였고, SDB 웨이퍼의 두꺼운 쪽을 KOH수용액을 이용하여 $134\;{\mu}m$로 식각하여 폭이 1 mm이하인 소자의 제조가 가능하도록 하였다. 기존의 휘트스톤 브리지와는 다르게 단일 압저항과 기준 저항을 형성시켜 보다 소형으로 제조하였다. 단일 압저항을 사용하기 때문에 감도가 휘트스톤 브리지형 센서 보다 감소하므로 ANSYS 55.1로 시뮬레이션하여 압력 센서의 감도가 최대가 되도록 압저항체의 형태와 위치를 최적화 시켰다. 또한 다이아프램 변에 수직인 저항과 수평인 저항을 넣은 쌍 압저항 센서도 동시에 제조하여 특성을 비교한 결과 다이아프램이 소형일수록 단일 압저항 센서의 감도가 우수함을 알 수 있었다. 센서의 압력에 대한 변화를 측정하기 위해 압저항에 정전류원을 인가하여 증폭회로로 측정한 단일 압저항 센서의 최대 감도는 $1.6\;{\mu}V/V/mmHg$였다.

• 대한의용생체공학회:학술대회논문집
• /
• 대한의용생체공학회 1990년도 추계학술대회
• /
• pp.75-79
• /
• 1990

반도체 및 전자공업의 급속한 발달에 힘입어 압력센서가 소형, 경량, 대량 생산화됨으로써 의료용으로의 사용이 최근 급속히 늘고 있다. 따라서 본 논문은 현재 가장 활발히 개발되고 있는 압저항형 압력 센서의 원리인 압저항 효과에 대해 이론적인 분석을 상세히 소개하였다. 그리고 기존에 많이 소개된 바 있는 정사각형 모양의 박막모서리 중앙 부분에 위치한 압저항체의 설계 보다 직사각형 박막 중심에 위치한 압저항체의 설계가 우수한 특성을 보일 수 있는 이론적 근거를 설명한다.

• Elastomers and Composites
• /
• 제48권1호
• /
• pp.76-84
• /
• 2013

압저항 효과(piezoresistive effect)는 가해진 외부 압력이나 힘에 의해 전기적 저항이 변하는 것을 말한다. 이러한 압저항 효과는 압력, 진동, 가속 등을 탐지하는 센서에 많이 이용되고 있다. 압저항 효과를 갖는 재료가 많지만 그 중에서도 특히, 전도성 충전제를 첨가한 고무 복합체는 충전제의 종류, 입자 크기, 입자 모양, 입자 종횡비(aspect ratio), 그리고 입자의 양 등을 조절하여 다양한 압력 범위에서의 압저항 효과를 발현할 수 있고, 고무를 기질로 사용함으로써 복합체에 탄성과 유연성을 줄 수 있기 때문에 많은 관심을 받고 있다. 본 논문에서는 압저항 효과의 기본원리 및 다양한 고무 복합체의 압저항 효과에 대해 알아본다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
• /
• pp.203-203
• /
• 2010

본 연구에서는 RF magnetron sputtering을 이용하여 공정압력에 따라 증착된 ITO 박막의 투명 전극 특성을 연구하였다. ITO 박막은 $In_2O_3$ : $SnO_2$ 비율이 9:1로 소결된 3in 직경의 타겟을 사용하여 corning 1737을 유리기판 위에 증착하였다. 증착조건으로 초기압력은 $1.7{\times}10^{-6}torr$로, 가스 유량은 Ar 50 sccm으로, RF power는 25W로 각각 고정하였으며, 증착 공정압력을 $2.0{\times}10^{-2}$, $7.0{\times}10^{-3}$, $2.0{\times}10^{-3}torr$로 변화하면서 200nm 두께의 ITO 박막시편을 제작하였다. 제작된 시편의 AFM 분석결과 박막의 거칠기는 0.33nm 이었으며, 광투과도 및 비저항은 공정압력이 낮은 경우 상대적으로 양호한 결과를 보였다. 높은 공정압력에서 광투과도는 60% 정도로 나타났으나, 낮은 공정압력에서 RF power를 증가시킴에 따라 가시광선의 광투과도는 85% 이상으로, Hall측정을 통한 Mobility는 $37.6\;cm^2V^{-1}s^{-1}$로 각각 증가하였으며, 비저항은 $0.346{\times}10^{-3}{\Omega}cm$이었으며, 이동도는 $4.788{\times}10^{20}cm^{-3}$로써 양호한 투명전극 특성을 보였다.

• 수면정신생리
• /
• 제7권1호
• /
• pp.27-33
• /
• 2000

수면 중 나타나는 호흡장애를 좀 더 정확하게 측정하기 위해 고안된 비강 공기압 측정기의 민감도를 온도감지 센서와 비교하기 위해 30명의 수면무호흡 증후군 환자와 6명의 상기도 저항증후군 환자에서 저호흡-무호흡 지수와 각성지수를 비교하였다. 그리고 상기도 저항 증후군에서 각성을 일으키는 상기도 압력변화에 대해 알아보기 위하여 온도감지 센서에서 발견되지 않은 저호흡-무호흡과 관련된 각성에서 상기도의 압력을 측정하였다. 비강 공기압 측정기가 기존의 온도감지 센서보다 훨씬 더 민감한 방법임을 알 수 있었다(p<0.05). 비강 공기압 측정기로 검사하여 저호흡-무호흡지수가 평균 41%가 증가되었고 호흡장애가 심하지 않은 경증의 수면무호흡 증후군이나 상기도 저항 증후군에서 더 많이 증가하였다. 비강 공기압 측정기로 검사한 저호흡-무호흡지수를 비교하면 상기도 저항 증후군이 수면무호흡 증후군의 가장 경미한 형태라는 것을 알 수 있었다. 상기도 저항 증후군에서 나타나는 각성에서 상기도의 압력 변화는 일정한 범위에서 나타나지 않았고 다양한 압력 분포를 보였으며 수면 중 호흡장애의 정도가 심해질수록 압력변화의 폭이 더 커지는 양상을 보였다. 비강 공기압 측정기가 기존의 온도감지 센서보다 더 민감하지만 아직까지 해결해야 할 문제가 일부 남아 있어서 온도 감지 센서를 완전히 대체하기는 어려울 것으로 보인다. 그러나 경증의 수면무호흡 증후군이나 상기도 저항 증후군을 진단하는 데에는 많은 도움이 될 것이다. 특히 상기도 저항 증후군의 진단에 기존에는 상기도 압력 측정이 필요하다고 하였으나 비강 공기압 측정기를 이용하면 불편한 상기도 압력 측정은 필요 없을 것으로 생각된다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
• /
• 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 B
• /
• pp.789-791
• /
• 2001

이전에 개발된 Magnetic Fluid Linear Pump는 자기 회로가 솔레노이드 형식으로 자기회로의 대부분이 공극이기 때문에 자기저항이 크다. 이런 문제로 인해서 Linear Pump의 자성유체에 영향을 주는 자기장이 크지 않고 펌핑 압력은 높지 않다. 따라서 본 논문에서는 Permalloy Yoke를 이용하여 Linear Pump를 소형화하고 자기 저항을 최소화함으로써 펌핑 압력을 향상시켰다. 또한 Linear Pump의 3D해석을 통하여 Yoke의 폭, 두께, 간격에 대한 최적 크기를 계산하였다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2002년도 춘계합동학술대회 논문집
• /
• pp.81-86
• /
• 2002

이전에 Magnetic Fluid를 이용하여 의료기기 등에 사용할 목적으로 Linear Actuator를 설계, 제작하였다. 그러나 이 모델은 공극의 높은 자기저항으로 인해 펌핑 압력이 낮고, 그 부피 또한 크다. 따라서 본 논문에서는 Yoke를 이용하여 Linear Actuator를 소형화하고 자기저항을 최소화함으로써 펌핑 압력을 향상시켰다. 또한 Linear Actuator의 3D해석을 통하여 Yoke의 폭, 두께, 간격에 대한 최적 크기를 계산하고 설계하였으며, 실제 제작 및 실험을 하였다.

• 한국진공학회지
• /
• 제20권2호
• /
• pp.141-145
• /
• 2011

ZnO:Al 박막을 RF magnetron sputtering 법을 이용하여 초기 압력에 따라 증착하고 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성을 연구하였다. 초기 압력 변화에 의해 ZnO:Al 박막의 특성의 변화를 확인하였고 고품질의 박막을 얻을 수 있었다. 모든 ZnO:Al 박막에서 (002)면의 우선 배향성을 보였으며 가시광선 영역(400~800 nm)에서 85% 이상의 좋은 투과도를 보였다. 초기 압력이 낮아질수록 결정성, 비저항 그리고 성능지수 특성이 향상됨을 확인하였다. 초기 압력에 따른 비저항의 향상은 결정립 크기 변화에 의한 것으로 판단된다.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국추진공학회 2007년도 제28회 춘계학술대회논문집
• /
• pp.121-127
• /
• 2007

본 연구에서는 발사체 추진제 탱크에 적용되는 압력 릴리프 밸브에 대한 모델링 방법을 제시하였다. 압력 릴리프 밸브의 유동저항은 밸브 스탬의 정지 위치에 대한 이동거리에 의해서 결정된다. 밸브 스탬의 위치는 스탬의 질량, 스프링의 탄성계수, 마찰저항, 차압 등에 의존하며 일반적으로 시스탬 운용 시간에 걸쳐 변하게 된다. 본 연구에서는 이러한 밸브 스템부 운동 및 그에 따른 유동저항의 천이를 제시하였다. 다른 종류의 밸브와는 달리 압력 릴리프 밸브는 일반적으로 밸브 전 후단의 차압이 크기 때문에 밸브목 근처에서 유량이 음속에 의해 제한되는 쵸킹 현상이 발생한다. 따라서 압력릴리프 밸브 설계 시에는 이러한 쵸킹 현상을 고려해야 하며 본 논문에서는 쵸킹을 고려한 경우와 고려하지 않은 경우에 대한 결과를 비교하여 제시하였다. 또한 스탬부 직경 및 스프링 탄성계수에 의한 밸브의 벤트 성능을 제시하였다.

• 한국재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국재료학회 2011년도 추계학술발표대회
• /
• pp.44-44
• /
• 2011

Unipolar 구조의 양자점 발광소자는 소자에 주입되는 전자로 구동 가능하게 설계되어 bipolar 구조와 달리 직류뿐만 아니라 교류로도 구동이 가능하다. 소자의 구조는 패턴된 ITO 유리기판 위에 Radio frequency magnetron sputter로 성장시킨 투명한 금속산화층 사이에 콜로이드로 분산된 양자점이 포함되어 있다. 본 연구에서는, 전하 수송층으로 사용되는 Zinc Tin Oxide (ZTO)가 전압 인가 시 발생하는 과부하로 인해 낮은 전계발광(electroluminescence, EL)특성이 나타나는 문제점이 있다. 이를 해결하고자 ZTO층의 비저항과 EL특성 사이의 관계를 알아보고, ZTO의 비저항 값을 변화시키기 위해 sputter 공정 중 인가 전력과 작업압력, 산소 분압 등의 성장 조건을 변화시켰다. ZTO의 조성비에 따른 비저항 및 전기적 특성을 홀 측정 장비로 측정하였다. 인가전력이 낮고 작업압력이 낮을수록 비저항 값이 낮았으며, 그에 따라 소자의 동작전압이 낮아지고 EL특성 또한 우수하게 나타났다.