Effect of $SiN_x$ passivation film by PECVD on mono crystalline silicon
(플라즈마 화학 기상 증착법을 이용하여 단결정 실리콘 상에 증착된 실리콘나이트라이드 패시베이션 박막의 효과)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2009.06a
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- pp.446-446
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- 2009