• Korean Journal of Materials Research
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• v.2 no.2
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• pp.119-125
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• 1992

Oxygen segregation in horizontal-magnetic-field-applied Czochralski (HMCZ) silicon crystals has been studied as a function of magnetic field strength (B) and crucible rotation rate (C). Along the axis of 57mm din. <100> crystals grown under B=2, 3, 4 kG and C=4-15rpm, the oxygen distribution was usually saw-tooth shaped and fluctuated unevenly. Compared to the conventional CZ method, this result seems to indicate that the horizontal magnetic field, at levels used in the present experiment, had a destabilizing influence on oxygen transport to the growth interface. On the other hand, as C increased, the oxygen fluctuation lessened, and [0] increased overall. At B=2 kG, an oxygen profile in a level of 27-36 ppma was achieved by a programmed ramp of C. Oxygen precipitation behavior of the HMCZ silicon during a simulated device manufacturing process was compared and found to be inferior to that of typical CZ silicon. The uneven oxygen profile in the as-grown state was identified as the major source of poor precipitation uniformity in the HMCZ silicon.

• Journal of Yeungnam Medical Science
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• v.21 no.2
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• pp.215-223
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• 2004

Silicone is widely used for medical purposes in breast augmentation and other cosmetic procedures. Illegal injections of silicone in human beings might have adverse effects and one of the serious problems is a silicone embolism. We experienced five cases of unusual respiratory difficulties after an injection of liquid silicone in the breast, vagina, uterus, and hip. They were all young adult females, who were previously healthy. One of them died after the injection. The three remaining patients were admitted because of dyspnea, coughing, chest discomfort and bilateral pulmonary infiltration after the silicone injection. A transbronchial lung biopsy and autopsy disclosed many oil like materials filling the alveolar septal capillaries. Three patients underwent a computed tomogram (CT), which revealed multifocal airspace consolidations at the peripheral and nondependent portions of both lungs, which is a different finding from other thromboembolisms. Lung scans of the disclosed abnormalities were compatible with silicone induced pulmonary embolism.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.10 no.2
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• pp.91-95
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• 2000

The effects of argon gas flow on the axial temperature gradient near the interface, the oxygen concentration, and the radial oxygen uniformity was investigated for 8-inch CZ silicon growth. As argon flow rate was increased, the temperature gradient was increased in the crystal near the crystavmelt interface and the oxygen content in the crystal was decreased. But the radial oxygen uniformity was deteriorated. It was found that argon flow is one of the important growing parameters to affect the quality of crystals such as oxygen content and uniformity.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.15 no.7
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• pp.4380-4386
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• 2014

This study was conducted to minimize the imaging distortion by reducing the differences in susceptibility between the tissue and air surrounding it while performing a thyroid diffusion imaging procedure. The study group was composed of 23 healthy adults. Thyroids with many distortions near the air, larynx, and trachea were chosen to test and evaluate the diffusion imaging difference between before and after an application of silicon. As a result, there was reduced distortion with silicon application, and the differences decreased from 30% to 10%. According to One-way ANOVA and Duncan's post-hoc test, there were no significant differences between imaging with a silicon application and T2 imaging of the surface area, which was the standard image. In conclusion, this study presented a radical improvement in reducing the distortions in imaging by compensating for an uneven tissue surface near air without affecting the magnetic resonance contrast and complicating the imaging processes.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.395-396
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• 2011

본 논문에서는 30% 내외의 평균반사율을 가지는 다결정 실리콘 태양전지의 입사광 손실을 최소화하여 광전변환효율 극대화를 구현하기 위해서 SF6/O2 혼합가스를 이용한 RIE 표면 texturing 공정을 수행하였다. 현재 다결정 실리콘 태양전지는 다양한 방향의 grain을 가지기 때문에 단결정 실리콘에 적용되는 습식 식각 방식이 다결정 실리콘 표면 texturing에 적절하지 않은 것으로 알려져 있다. 이를 개선하기 위해서 이방성 식각 특성을 가지는 다양한 texturing 방법이 시도되고 있다. 대표적으로 기계적인 방식의 V-grooving, 레이저 grooving, 플라즈마 건식식각을 이용한 texturing 및 산 용액을 이용한 texturing 등의 연구가 보고되고 있다. 그 중에서 플라즈마 건식식각 방식의 하나인 RIE를 이용한 표면 texturing 공정이 간단한 공정과 산업계 응용의 용이성 때문에 활발히 연구되어 왔다. 특히 Sandia group과 일본 Kyocera사의 연구 결과에서는 그 가능성을 입증하고 있다. 본 연구에서는 공정의 단순화와 안전한 공정을 위해서 SF6/O2 혼합 가스를 이용하여 마스크 패턴 공정없이 RIE texturing 공정을 수행하였으며, RIE-textured 다결정 실리콘에 대해서 태양전지를 제작하여 표면 texturing이 광전변환효율에 미치는 영향에 대해서 분석하였다. 그 결과 SF6/O2 혼합 가스를 이용한 RIE texturing은 다결정 실리콘 표면에 주로 needle 구조를 형성하는 것을 확인하였다. 각 texturing 조건별 반사율의 차이는 needle 구조의 조밀도와 관련되는 것을 알 수 있었으며, 동일 공정 parameter 상에서 식각 시간 1, 2, 3, 4, 5분 기준 시간에 따른 표면 구조 분석 결과 seed 가 형성되고 그에 따라서 needle 형태로 식각되는 과정을 관찰하였다. 반사율은 분당 약 4%씩 낮아져 5분 식각 후 14.45% 까지 낮아졌으며, 표면 구조에서 폭은 약 30 nm로 모두 일정하며, 길이가 약 20, 30, 50, 80, 100 nm으로 증가되었다. 이 결과로 보아 seed로부터 needle 구조가 심화되어가는 것을 알 수 있었다. 시간에 따른 RIE texturing 후 제작된 태양전지는 효율이 1분 식각 기준 15.92%에서 약 0.35% 씩 낮아져 5분 식각 후 14.4%로 낮아졌다. Voc 는 texturing 시간에 관계없이 일정하며 Isc가 점점 감소되는 것으로 확인되었다. EQE 결과도 이와 동일하게 RIE texturing 시간이 길어질수록 전체 파장 범위에서 일정하게 낮아지는 것이 관찰되었다. Electroluminescence(EL) 이미지 결과 texturing 시간이 길어진 태양전지일수록 점점 어두운 이미지가 나타나 5분 식각의 경우 가장 어두운 결과를 나타내었다. 이런 결과는 한 가지 이유보다는 복합적인 문제로 예상되는데 궁극적으로는 RIE 공정 후 표면에 쌓인 charged particle들이 trap 준위를 형성하여 효율 및 공정상에 영향을 미친 것으로 보이며, 특히 잔류 O기가 불균일한 산화막을 형성하는 것으로 예상된다. 또한 EL 분석 결과를 볼 때 RIE texturing 공정이 길어질수록 불안정한 pn-junction을 형성하는 것을 확인하였으며, emitter 층 형성 후 PSG (phosphorous silica glass) 공정에서 needle의 상부 구조가 무너지면서 면저항이 증가된 결과로 분석된다. PSG 제거 후 측정된 면저항의 경우 3분 texturing 샘플부터 면저항이 약 4${\Omega}/sq$ 정도 증가됨을 확인하였다.

• The Science & Technology
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• v.29 no.8 s.327
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• pp.20-23
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• 1996

일본은 80년대 초부터 범국가적으로 자역기술 진흥에 힘을 기울려 전 국토가 첨단기술화하는 고도의 정보사회로 치닫고 있다. 세계적으로 어떤 지역이 기술로 개발되고 그 기술을 중심으로 한 산업지역으로 발전한 사례를 많이 볼 수 있다. 미국의 경우 반도체 공업이 일어난 실리콘밸리를 비롯해 일본의 쓰구바연구학원도시 등을 들 수 있다. 최근 우리나라도 과기처에서 '과학기술특별법'제정을 추진하고 있으며 과총에서도 과학기술봉사단을 발족시켜 앞으로의 활약이 기대된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1993.02a
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• pp.11-12
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• 1993

센서를 인간의 오감에 비유한다면 가속도센서는 시각, 청각, 촉각, 미각, 후각 중에서 어떤 감각기관인가\ulcorner 먼저 시각을 쉽게 생각할 수 있다. 시각기능은 거리, 위치, 형상에 민감하다. 그러나 이들의 시간에 다른 변화 즉 1차 미분량인 속도에는 어느정도 정성적으로 감응하나 2차 미분량인 가속도는 시각으로 판단하기 어렵다. 활강하는 스키선수나 써커스의 공중곡예가 시각에만 의존한다고 볼 수 없으며 이러한 로봇(robot)을 만든다고 할 때 가속도 센서의 중요성은 상상 할 수 있을 것이다. 움직이는 모든 시스템의 동적특성을 제어하기 위해 정교한 가속도센서는 필수적이다.

• The Optical Journal
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• s.117
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• pp.61-65
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• 2008

초정밀 CMP가 없었다면 오늘날의 컴퓨터는 있을 수 없다. 초정밀 CMP 기술은 현재 옵토메카트로닉스 분야의 핵심 기술이고, 정보화 사회에서는 없어서는 안 될 IT 산업의 견인차가 되고 있다. 초정밀 가공 기술 중 CMP는 기능성 재료가 갖는 특이한 특성을 끌어낼 수 있는 무변형 평활 표면 가공법으로 3차원 초미세 가공을 하는 데 있어 기본이 될 것으로 기대되는 기술이다. 본 고에서는 현재 기술적으로 다른 예를 볼 수 없는 양산 베이스로 초정밀 가공이 실행되고 있는 초 LSI용 베어 실리콘 웨이퍼의 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 기술에 대해 해설하고, 디바이스화 웨이퍼의 Planarization(평탄화) CMP로의 응용에 대해 설명한다.

• 전기의세계
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• v.27 no.6
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• pp.30-32
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• 1978

1947년 트랜지스터의 발명과 더불어 시작된 반도체산업은 과거 어느 산업분야에서도 볼 수 없었던 초스피드로 발전하여 겨우 30년이 지난 오늘날에는 콩알만한 실리콘 조각위에 전자 계산기를 올려 놓을 수 있을 만큼 발달 되었다. 우리나라에서도 급속히 발전하는 전자산업과 더불어 반도체 부품 생산이 개시되어 본격적인 기반을 구축하고 있다. 현재 국내 유일의 반도체 부품 제조회사이며 바이폴라 트랜지스터를 순국내 기술만으로 개발 1년만에 국내 수요의 20%를 공급하기에 이른 삼성 반도체(주)의 바이폴라 트랜지스터 기술을 살펴본다.

• Journal of Biomedical Engineering Research
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• v.20 no.5
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• pp.567-572
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• 1999

혈관내 맥검출 센서인 MPX2300DT1을 요골동맥상에서 무침습적으로 맥파를 검출할 수 있도록 실리콘 고무를 부착하여 맥진 센서로 활용하였다. 또한 추의 무게에 의해 압력을 조절하여 그것에 따른 맥파의 변화를 볼 수 있는 맥진 시스템을 제작하였다. 맥진 센서의 압력에 따른 출력전압의 선형성을 확인하였으며 추의 무게에 따른 맥파의 진폭과 주기 변화를 조사하였다.