• Title/Summary/Keyword: 순수 신뢰도

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반도체 공정용 소재 및 부품 성능 평가 연구

  • Im, Seong-Gyu;Park, Sang-Hyeon;Im, Jong-Yeon;Gang, Sang-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.72-72
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    • 2015
  • 메모리 반도체 세계 시장 점유율 1위 뿐만 아니라 국내 전체 산업 가운데 가장 중추적인 역할을 하는 반도체 산업의 지속적인 성장과 국가 경제의 발전을 위해서 소자 업체 뿐만 아니라 장비, 소재, 부품 산업의 동반 성장은 반드시 필요하다. 그 중에서 특히 소재, 부품 산업을 발전시키는 것이 국산 반도체 장비의 시장 점유율이 낮은 현 시점에서 가장 필요한 선택이다. 반도체 소재, 부품 산업의 발전을 위해서 제일 먼저 해야할 일은 영세한 국내 반도체 소재, 부품 산업을 활성화 시키는 것이며, 지속 적인 연구 개발, 성능 평가 방안 확보, 수요 업체와의 연계 방안 확보 등이 주요 현안이다. 반도체 소자 업체, 장비 업체에서 원하는 소재 및 부품의 성능을 만족하는 제품을 만들기 위해서는 우선 소재 및 부품의 기본 특성을 만족하는지에 대한 평가가 필요하고, 더 나아가서는 디바이스의 특성을 만족시켜줄 수 있는 한 단계 상향된 수요자의 요구 조건을 만족 시켜줄 수 있어야 한다. 본 연구에서는 그 중 특히 중요한 요소인 성능 평가에 대해서 논하고자 한다. 우선 반도체 공정용 소재에 대해서 살펴 보면 대표적인 반도체 소재로 증착용 Precursor, Photo Resistor, Sputter Target 등이 있다, 평가 방법으로는 ALD용 Precursor의 경우 대기 노출시 폭발, 화염 발생 등의 위험 요소를 안고 있어 특별한 주의가 요구 된다. PR이나 Sputter Target은 상대적으로 위험성은 적으며, 다양한 성능 평가 들이 가능하다. 다음으로 부품 평가에 대해서 살펴 보자. 본 원에서 가장 많이 진행된 부품 평가는 개발된 Pump의 성능 평가이다. 개발된 Pump는 1차적으로 KRISS 진공센터 에서 기본 Pumping 능력 평가를 실시하고, 다음으로 공정 평가를 실시한다. Pump마다 특성이 달라서 각 펌프의 성능 평가에 적합한 공정과 장비를 우선 선정하고 그에 합당한 공정을 진행하여 평가를 실시한다. 고 진공용인 Cryo Pump는 순수한 물질의 증착이 중요한 Metal Sputter 공정 장비에 장착하여 공정용 Gas를 흘리면서 Pump의 구동에 따른 성능 평가를 하고, 다음으로 실제로 Metal Sputter를 실시해서 Wafer에 증착된 물질의 특성을 확인한다. 다음으로 Turbo Pump의 경우 Etch 장비에 장착하여 Etch Uniformity, Etch Rate, By-product 배출 정도에 대해서 평가를 한다. Dry Pump는 비교적 공정 압력이 낮은 PECVD 공정 장비에서 평가를 진행 한다. 마지막으로 공정 진단, 챔버 상태 진단 등을 할 수 있는 별도의 부품 또는 장치로 PBMS, PCDS, OES 등의 평가에 대해서 논한다. 본 장치들은 실제 반도체 공정 장비와 환경에서 평가가 되어야지만 최종 사용자 입장에서 신뢰를 가지고 결과에 대해서 접근할 수 있다. 위에 논의된 장치들은 현재 공정 장비에 부착되어서 판매 되고 있는 것이 아니라 수요가 많지 않으나, 자체 성능 개선과 적합한 평가를 통해서 장치의 성능이 인정되면 300 mm 이상 Wafer 공정에서 반드시 필요한 실시가 공정 진단을 위해서 폭발적인 수요를 창출할 수 있으리라 본다.

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Kinetic Modeling of the Enzymatic Hydrolysis of $\alpha$-Cellulose at High Sugar Concentration (순수 섬유소에 대한 고농도 당화공정의 동력학적 모사)

  • 오경근;정용섭홍석인
    • KSBB Journal
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    • v.11 no.2
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    • pp.151-158
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    • 1996
  • For the effective ethanol fermentation, the high concentration of sugar as the substrate of microbial fermentation is required. The most important reason in the inefficient hydrolysis; the easy deactivation of enzyme by temperature or shear stress and the severe inhibition effects of its products. In our work, we comprehended the kinetic characteristics of cellulose and ${\beta}$-glucosidase in the progress of hydrolysis, and observed the potential inhibitory effects of the hydrolyzed products and the deactivation of enzymes. We also tried to present the kinetic model of enzymatic hydrolysis of cellulose, which is applicable to process at the high concentration of sugar. Cellulase and ,${\beta}$-glucosidase exhibit diverse kinetic behaviors. At a level of only 5g/$\ell$ of glucose, the ${\beta}$-glucosidase activity was reduced by more than 70%. This result means that ${\beta}$-glucosldase was the most severely inhibited by glucose. Also at l0g/$\ell$ of cellobiose, the cellulose lost approximately 70% of its activity. ${\beta}$-glucosldase was more sensitive to deactivation than cellulose by about 1.6 times. The comprehensive kinetic model in the range of confidence was obtained and the agreement between the model prediction and the experimental data was reasonably good, testifying to the validity of the model equations used and the associated parameters.

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Characterization of PAH-Degrading Bacteria from Soils of Reed Rhizosphere in Sunchon Bay Using PAH Consortia (순천만 갈대근권 토양으로부터 얻은 PAH 분해세균의 특성 분석)

  • Kim Sung-Hyun;Kang Sung-Mi;Oh Kye-Heon;Kim Seung-Il;Yoon Byoung-Jun;Kahng Hyung-Yeel
    • Korean Journal of Microbiology
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    • v.41 no.3
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    • pp.208-215
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    • 2005
  • This study was accomplished in order to collect fundamental data on microbial roles in recycling process of reed rhizosphere. Sunchon bay, which is considered as one of the marsh and mud environments severely affected by human activities such agriculture and fisheries, was selected as a model place. In our initial efforts, two bacterial consortia were obtained by enrichment culture using PAH mixtures containing anthracene, naphthalene, phenanthrene and pyrene as the sources of carbon and energy, and four pure bacteria capable of rapid degradation of PAH were isolated from them. Four strains designated as SCB1, SCB2, SCB6, and SCB7 revealed by morphological, physiological and molecular analyses were identified as Burkholderia anthina, Alcaligenes sp., Achromobacter xylosoxidans., and Pseudomonas putida, respectively with over $99{\%}$ confidence. Notably, Burkholderia anthina SCB1 and Alcaligenes sp. SCB2 were found to utilize anthracene and pyrene more quickly than naphthalene and phenanthrene, whereas Achromobacter xylosoxidans SCB6 and Pseudomonas putida SCB7 exhibited similar growth and degradation patterns except for pyrene. These facts suggest that the rhizosphere microorganisms capable of PAH degradation might be used to clean up the contamination sites with polycyclic aromatic hydrocarbons.

Cavitation suppression through the modification of spectral characteristics in the field of high intensity focused ultrasound (주파수 특성 변환을 통한 고강도 집속형 초음파 공동 현상의 억제)

  • 최민주
    • Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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    • 1998.06c
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    • pp.449-454
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    • 1998
  • 전립선 비대증 및 각종 고형암 조직을 제거하기 위해 이용되는 고강도 집속형 초음파 시스템은 초음파의 조직에 대한 열 효과를 이용한다. 이 경우 수MPa의 고 압력 초음파를 사용하기 때문에 수술시 초음파에 의한 조직내의 공동 현상이 수반되고 이로 인해 초음파의 집속 효과가 감소하게 된다. 본 논문에서는 초음파 공동 현상을 억제하기 위하여 초음파의 주파수 특성을 고려하였다. 초음파의 크기는 일정하게 유지하면서 증가하는 주파수로 변조된 초음파와 비선형 고저파 (nonlinear harmonics) 성분을 포함한 왜곡된 초음파에 대한 기포의 반응을 Gilmore 기포 모델을 이용하여 관찰하였다. 초음파의 주파수 변조는 10 $\mu\textrm{s}$ 동안 초기 주파수 1 MHz부터 시작하여 7 MHz까지 선형적으로 증가하도록 하였다. 파형을 왜곡시키는 고저파 성분의 크기는 주파수에 역 비례 하도록 하였다. 초음파의 기본 주파수는 1 MHz로 하였고, 압력은 0.1 MPa과 1 MPa의 두 경우를 고려하였다. 초기 기포의 반경은 1 $\mu\textrm{m}$으로 하였고, 기포 주위의 유체는 물로 가정하였다. 시뮬레이션 결과로부터, 주파수를 변조시키거나 파형을 왜곡시킨 초음파에 대한 기포의 진동은, 동일한 압력의 정현파에 대한 경우 보다 작은 것으로 나타났다. 주파수 변조된 초음파에 반응한 기포의 진동은 압력이 낮을 때 (0.1 MPa), 변조된 주파수가 기포의 공진 주파수인 3 MHz 부근에서 최대치를 보이다가 이후 급격히 감소하는 경향을 보였다. 반면, 압력이 높아지면 (1 MPa) 기포의 진동은 주파수의 증가와 함께 감소하다가 3 MHz 이상으로 변조 될 경우, 유의한 변화를 보이지 않는 것으로 나타났다. 이 결과는 초음파의 적절한 주파수 성분 조절로 초음파 공동 현상을 일정 수준 억제할 수 있음을 시사한다. 고려가 수반되어야 할 것으로 보인다. 다음 내용을 정리해 보고자 한다.리해 보고자 한다.rc$ 구입할 때 중점적으로 살펴보는 사항은 신선도와 순수재래종 여부, 위생상태였다. 한편 소비자가 언제나 구입할 수 없다는 의견이 85.2%나 되어 원활한 공급과 시장조성이 아직 정착되지 않고 있었다. $\bigcirc$ 현재 유통되고 있는 재래종닭은 소비자 대부분이 잡종으로 인식하고 있었으며, 재래종과 일반육계와의 구별은 깃털색, 피부색, 정강이색등 외관상으로 구별하고 있었다. 체중에 대한 반응은 너무 작다는 의견이었고, 식품으로의 인식도는 비교적 고급식품으로 인식하고 있다. $\bigcirc$ 재래종닭고기의 브랜드화에 대한 견해는 젊고 소득이 높은 계층에서 브랜드화의 필요성을 강조하고 있다. $\bigcirc$ 재래종달걀의 소비형태는 대부분의 소비자가 좋아하였으나 아직 먹어보지 못한 응답자가 많았다. 재래종달걀의 맛에 대해서는 고소하고 독특하여 차별성을 느끼고 있었다. $\bigcirc$ 재래종달걀의 구입장소는 계란판매점(축협.농협), 슈퍼, 백화점, 재래닭 사육 농장등 다양하였으며 포장단위는 10개를 가장 선호하였고, 포장재료는 종이, 플라스틱, 짚의 순으로 좋아하였다. $\bigcirc$ 달걀의 가격은 200원정도를 적정하다고 하였으며, 크기는 (평균 52g)는 가장 적당하다고 인식하고 있으며, 난각색은 대부분의 응답자가 갈색을 선호하였다. $\bigcirc$ 재래종달걀의 구입시 애로사항은 믿을수 없고, 구입장소를 몰라서, 값이 싸다 등이었고, 앞으로 신뢰할 수 있고 위생적인 생산 및 유통체계가 확립될 경우 더 많이 소비하겠다는 의견이었다. $\bigcirc$ 재래닭 판매업소(식당)의 판매형태는 66.7%인 대부분

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Correlation between tonal events and their acoustic duration (한국어 성조 이벤트와 음향적 길이)

  • 이숙향
    • Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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    • 1998.06c
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    • pp.383-386
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    • 1998
  • 한국어의 운율구조는 발화문장(utterance), 억양구(intonational phrase), 악센트구(accentual phrase), 음운적 어절(phonological word), 음절(syllable) 순의 계층적 구조를 가지고 있다. 본 연구에서는 운율구조의 각 층에서 성조 이벤트가 얹혀지는 음절이나 또는 각 층의 운율단위말의 음절의 음향적 길이를 측정함으로써 첫째, 운율단위말의 음절의 음향적 길이 또한 계층적 순위를 보이는지 둘째, 성조 이벤트(tonal event)와 음향적 길이 사이에 높은 상관관계를 보이는지 보고자 한다. 즉, 두 가지 측면에서 길이비교가 수행되었는데 하나는 언어 보편적 현상으로 알려진 구말 장음화 현상으로써 각 층 운율적 단위의 마지막 음절의 모음 길이 비교이며 다른 하나는 억양구초 고성조가 실현되는 음절의 모음과 어절 내 모음, 그리고 고성조가 실현되는 억양구말 음절의 모음간의 길이 비교이다. 남녀 각각 200문장의 각 분절음과 운율분석을 한 후 길이에 대한 일원분산분석 실시 결과 억양구말은 악센트구말 보다 길었으나 악센트구말은 어절말과 차이를 보이지 않거나 남자 화자의 경우 오히려 짧게 나타났다. 그리고 남자화자의 경우 악센트구초 고성자가 얹혀지는 음절의 길이는 어절 내 어절말 음절을 제외한 그 외 음절과 화자에 따라 큰 차이를 보이지 않거나 그보다 조금 짧게 실현되는 것으로 나타났다. 위의 결과는 첫째, 단위말 음절 모음의 장음화는 운율적 구조의 층위에 일대일 대응을 보이지 않는 것으로 해석되며 둘째, 성조 이벤트와 그것이 실현되는 분절음의 음향적 길이와는 큰 상관관계를 보이지 않는 것으로 해석될 수 있겠다. 그러나 이러한 일반화에 대한 충분한 근거 제공을 위해서는 해당음절의 모음 길이 뿐만 아니라 초성자음의 길이간의 비교와 음절자체의 길이 비교 또한 필요한 것이며 모음길이에 대한 선행자음의 분절음적 영향 고려가 수반되어야 할 것으로 보인다. 다음 내용을 정리해 보고자 한다.리해 보고자 한다.rc$ 구입할 때 중점적으로 살펴보는 사항은 신선도와 순수재래종 여부, 위생상태였다. 한편 소비자가 언제나 구입할 수 없다는 의견이 85.2%나 되어 원활한 공급과 시장조성이 아직 정착되지 않고 있었다. $\bigcirc$ 현재 유통되고 있는 재래종닭은 소비자 대부분이 잡종으로 인식하고 있었으며, 재래종과 일반육계와의 구별은 깃털색, 피부색, 정강이색등 외관상으로 구별하고 있었다. 체중에 대한 반응은 너무 작다는 의견이었고, 식품으로의 인식도는 비교적 고급식품으로 인식하고 있다. $\bigcirc$ 재래종닭고기의 브랜드화에 대한 견해는 젊고 소득이 높은 계층에서 브랜드화의 필요성을 강조하고 있다. $\bigcirc$ 재래종달걀의 소비형태는 대부분의 소비자가 좋아하였으나 아직 먹어보지 못한 응답자가 많았다. 재래종달걀의 맛에 대해서는 고소하고 독특하여 차별성을 느끼고 있었다. $\bigcirc$ 재래종달걀의 구입장소는 계란판매점(축협.농협), 슈퍼, 백화점, 재래닭 사육 농장등 다양하였으며 포장단위는 10개를 가장 선호하였고, 포장재료는 종이, 플라스틱, 짚의 순으로 좋아하였다. $\bigcirc$ 달걀의 가격은 200원정도를 적정하다고 하였으며, 크기는 (평균 52g)는 가장 적당하다고 인식하고 있으며, 난각색은 대부분의 응답자가 갈색을 선호하였다. $\bigcirc$ 재래종달걀의 구입시 애로사항은 믿을수 없고, 구입장소를 몰라서, 값이 싸다 등이었고, 앞으로 신뢰할 수 있고 위생적인 생산 및 유통체계가 확립될 경우 더 많이 소비하겠다는 의견이었다. $\bigcirc$ 재래닭 판매업소(식당)의 판매형태는 66.7%인 대부분의 업소가 잡종과 개량종 유색닭을 판매하고 있었으며, 1개 업소에서 1일 판

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Secondary Beginning Teachers' Views of Scientific Inquiry: With the View of Hands-on, Minds-on, and Hearts-on (과학탐구에 대한 중등 초임교사의 인식: Hands-on, Minds-on, Hearts-on의 관점으로)

  • Park, Young-Shin
    • Journal of the Korean earth science society
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    • v.31 no.7
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    • pp.798-812
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    • 2010
  • The purpose of this study was to investigate beginning teachers' views of scientific inquiry envisioned in science education reform, which is the main goal of science education at schools. Teachers' views about scientific inquiry influence their students' learning in the classroom, so it is significant to investigate teachers' views about the scientific inquiry. 126 beginning science teachers participated in this study. The survey asking teachers' view of general scientific inquiry, nature of science (NOS) and the relationship of science, technology, and society (STS), was developed and implemented for 30 minutes. Alternative views of scientific inquiry including NOS and STS were emerged through data analysis with open coding system. The reliability and validity of data collection and data analysis were constructed through the discussion with experts in science education. The results of this study were as follows. Participants defined scientific inquiry as opportunities of 'Hands-On' and 'Minds-On' or its combination rather than 'Hearts-On'. However, teachers demonstrated the view of 'Hands-On' for the purpose of scientific inquiry and for teachers' roles in its implementation. The view of 'Hearts-On' about scientific inquiry was not identified. The naive view of NOS were identified more than informative one. More positive attitude about the relationship of STS was released. The implication was made in teacher education, especially structured induction program for beginning teachers.

Estimation of Displacement Responses Using the Wavelet Decomposition Signal (웨이블릿 분해신호를 이용한 변위응답의 추정)

  • Jung, Beom-Seok;Kim, Nam-Sik;Kook, Seung-Kyu
    • Journal of the Korea Concrete Institute
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    • v.18 no.3 s.93
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    • pp.347-354
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    • 2006
  • In this paper we have attempted to bring the wavelet transform theory to the dynamic response conversion algorithm. This algorithm is proposed for the problem of estimating the displacement data by defining the transformed responses. In this algerian, the displacement response can be obtained from the measured acceleration records by integration without requiring the knowledge of the initial velocity and displacement information. The advantage of the wavelet transform over either a pure spectral or temporal decomposition of the signal is that the pertinent signals features can be characterized in the time-frequency plane. In the response conversion procedure using the wavelet decomposition signals, not only the static component can be extracted, but also the dynamic displacement component can be separated by the structural mode from the identified displacement response. The applicability of the technique is tested by an example problem using the real bridge's superstructure under several cases of moving load. If the reliability of the identified responses is ensured, it is expected that the proposed method for estimating the impact factor can be useful in the bridge's dynamic test. This method can be useful in those practical cases when the direct measurement of the displacement is difficult as in the dynamic studies of huge structure.

Determination of Bond Strength and Fracture Energy of a Bi-material Cylinder with Peny-shaped Interface Crack by Pull-off Test (직접인장시험에 의한 원형 비부착면이 삽입된 신.구 콘크리트의 부착강도 및 파괴에너지 산정)

  • Yang, Sung-Chul;Kim, Jin-Chul;Park, Jong-Won
    • International Journal of Highway Engineering
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    • v.6 no.1 s.19
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    • pp.47-56
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    • 2004
  • To determine the pure bond strength between substrate and its overlayed concrete material, a direct pull-off test method was introduced by using a bi-material cylinder with which a penny-shaped crack was mountained at its interface. First, to evaluate the stress magnification or concentration at the interface, the energy release rates of a penny-shaped interface crack in remote tension loading on a bi-material cylinder were determined in terms of different modulus ratios and undonded area ratios(crack ratios) using a commercial finite element program. Then the energy release rates were calibrated as non-dimensional values in consideration of structural dimensions and applied forces. And to evaluate whether this new pull-off test method gives sound test results, three different sizes of unbended area ratios were incorporated along their interface in bi-material cylinders(sulphur polymer concrete + old concrete). Test results showed that all specimens were broken off at their interfaces as intended. Also the FEM analyses and test results indicated that a bi-material specimen with unbended area ratio of 0.4$\sim$0.6 is suitable for best accurate testing.

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Comparison of Observed Wave Height and Wave Image of Sok-cho Site (속초연안지점의 관측파고와 파영상자료의 비교)

  • Jang, Bok-Jin;Yeo, Woon-Kwang;Lee, Jong-Kook;Park, Kwang-Soon
    • Journal of Korean Society of Coastal and Ocean Engineers
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    • v.19 no.4
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    • pp.329-335
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    • 2007
  • The eye measurement to observe the sea surface condition and estimate the wave height has been used in the open sea or the ship. The experts in the eye estimation can measure the wave height very accurately. The Beaufort wind scale is most widely used as a standard index of the eye measurement. However, more definite reference data such as the representative images by each wave heights must be necessary because the appearances and explanations in the Beaufort wind scale are not enough to understand the sea surface condition far the researcher and the public. The modern field data acquisition technique has been developed to measure wave heights, ocean weather data and even images of the sea surface in real-time. In this study, the wireless field image transmitting system for wave heights and images is installed in the real-time ocean measurement system of Chodo light tower near Sokcho city in South Korea. The wave heights and surface images acquired from the real time system in the field are compared with explanations of the Beaufort wind scale. The wave heights and images measured with the precision ultrasonic wave sensor and the scientific sea surface image transmitting system should be helpful to obtain more precise and definite information than the data from the Beaufort wind scale.

Effect of women consumers purchase by an attribute of cosmetic Advertising Model (화장품 광고 모델의 속성이 여성 소비자의 구매욕구에 미치는 영향)

  • 강인숙
    • Archives of design research
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    • v.14 no.3
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    • pp.37-48
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    • 2001
  • This paper is a study on how women consumers purchase are affected by models who appear in advertisements for cosmetics, focusing especially on studies concerning the impact that models have on advertisement strategies of the cosmetic industry in korea. In surveys conducted, consumers responded that cosmetic advertisement models should examplify a expertness and trustworthiness attitude more than just display their own physical attractiveness. The consumers who bought cosmetic products based on its endorsement from particular models responded that they had a positive reaction to the models physical attractiveness and likability while experiencing a negative reaction to the model's expertness and trustworthiness attitude. Women consumers are interested in cosmetic advertisement models, but do not necessarily trust them. Hence, the use of a Particular model does not directly affect the consumers Purchasing decision. Famous stars often appear in cosmetic advertisements in korea, and targeted consumers have a very positive response to their physical attractiveness, familiarity and perceived likability. However, the consumers have a completely negative response to the models in regards to their expertness, trustworthiness, and their sense of similarity with the model. The models, then, should be used in these advertisements to try and uphold the fellowing qualities. expertness in regards to having some knowledge of, experience with, and expertness in using the cosmetic produces, trustworthiness when expressing their own opinion of the product, matching image of products and targeted consumers.

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