• 제목/요약/키워드: 수율

검색결과 4,125건 처리시간 0.032초

시뮬레이티드 어닐링과 경험적 베이지안을 이용한 수율 향상 레이 아웃 배치 모형

  • 손소영;이승환
    • 한국신뢰성학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국신뢰성학회 2001년도 정기학술대회
    • /
    • pp.291-299
    • /
    • 2001
  • 반도체 산업 수익성에 가장 밀접하게 관련되어 있는 수율을 증가시키고자 하는 노력이 지속되고 있다. 수율을 향상시킬 수 있는 방법 중 하나인 레이 아웃 기법은 wire 의 배선에 따른 결함 민감 지역(critical area)을 최소화하는 기법으로 모든 디자인에 적용하기 쉬우며 새로 추가되는 면적이 없다는 장점을 가지고 있다. 본 논문에서는 시뮬레이티드 어닐링을 이용, via를 이동 시켜 레이 아웃의 결함 민감 지역을 감소 시켜 수율을 향상하였다. 또한 최소화된 결함 민감 지역에 대한 수율을 경험적 베이지안 방법을 이용하여 모형화 하였다 본 논문에서 제안된 기법은 결함 민감 지역을 줄여 수율을 향상시킬 수 있으며, 제시한 수율 모형으로 보다 정확한 수율을 예측하여 수익성을 극대화하는데 일조 할 것으로 예상한다.

  • PDF

초고집적 환경에서의 반도체 수율 분석에 관한 연구 (Yield Analysis System in the Very Deep Submicron Design)

  • 이윤식
    • 한국정보과학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국정보과학회 2002년도 봄 학술발표논문집 Vol.29 No.1 (A)
    • /
    • pp.733-735
    • /
    • 2002
  • 반도체 CAD기술과 제조기술의 발전으로 인하여 반도체 집적도가 2001년 2002년 각각 0.35, 0.25마이크론 등으로 급속도로 증가하게 되었으며 이러한 집적토의 향상은 기대치 이상의 시스템 성능 향상을 이룩할 수가 있었다. 그러나 피할 수 없는 제조 공정의 변화와 불완전성으로 인하여 칩 크기에 제한이 따르게 되며 그 이상의 크기에서는 상용화가 불가능할 정도로 수율(Yield)이 현저하게 감소하게 된다. 기존의 대부분 연구가 반도체의 생산 공정의 관점에서 준비되어 활용되는 통계 자료에 근거한 경험의 축적이었다. 그런 연유로, 단지 반도체 생산 부분의 자료에만 치중하다보니 실지 반도체 수율에 가장 큰 영향의 요소인 랜덤 디펙트(random defect) 수율을 고려하지 못하는 치명적인 결점이 있다. 본 연구는 반도체 수율 분석과 수율을 증진시키기 위하여 설계된 도면 중 레이아웃에 해당하는 도면을 입력으로 하여, 반도체 생산 설비 즉 공정의 상태나 변수를 모델링하여 이를 수율 예측을 위한 기분 자료로 사용한다. 즉, 설계 단계에서 수율을 예측함으로써 과거 64M DRAM의 초기 단계에서의 수율과 같은 문제점을 해결할 수 있는 방안을 제시할 뿐 아니라, 비 메모리 칩의 수율을 설계단계에서 제공하는 역할을 한다.

  • PDF

GIS기반의 투수/불투수도를 이용한 용도지역별 불투수율 현황분석 - 인천시 부평구를 대상으로 - (Analysis on the Current Status of Impervious Ratio in Land-use Zone Using Pervious/Impervious Map based on GIS - Focused on Bupyeong-gu Incheon -)

  • 오성광;김계현;이철용
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국수자원학회 2015년도 학술발표회
    • /
    • pp.191-191
    • /
    • 2015
  • 무분별한 도시화 및 산업화로 인해 불투수면이 증가하고 있다. 불투수면은 빗물이 투과하지 못하는 지면을 의미한다. 이러한 불투수면은 강우 시 지면에 있는 유해물질이 그대로 인근 수계로 유입되게 함으로써 심각한 수질 오염을 야기한다. 이와 관련하여 환경부에서는 불투수율 관리를 위하여 2013년에 전국토를 대상으로 불투수율을 산정한바 있으나, 소축척 수준의 시 또는 유역 단위 통계만을 산출하였고 대축척 수준의 소규모 개인 필지 내 조경지역 등을 반영한 불투수율 통계는 현재까지 부재하다. 따라서 본 연구에서는 인천시 부평구를 대상으로 소규모 필지까지 적용 가능한 고해상도 투수/불투수도를 제작 및 활용하여 용도지역별 불투수율 현황을 분석하였다. 불투수면의 공간적 분포 확인을 위해 토지피복지도, 수치지형도, 항공사진(25cm급) 등을 활용하여 고해상도 투수/불투수도를 제작하였다. 투수/불투수도는 세분류 토지피복지도 제작 지침인 선형 요소의 경우 폭 3m, 면형 요소의 경우 면적 $10m{\times}10m(100m^2)$를 참조하여 제작되어 개별 필지단위의 불투수면까지 확인 가능하다. 이후 용도지역도를 수집하여 GIS 환경에서 투수/불투수도와 중첩하여 용도지역별 불투수율을 산출하였다. 불투수율을 산정한 결과 부평구 전체 불투수율은 64%로 확인되었다. 또한 용도지역도 중분류상 주거지역의 경우 불투수율이 82.1%, 상업지역의 경우 91.7%, 공업지역의 경우 94.1%, 녹지지역의 경우 30%로 확인되었다. 상업지역 및 공업지역의 경우 불투수율이 90%이상으로 불투수면 관리가 시급하다고 판단되었다. 본 연구 결과는 기존 환경부에서 제작한 투수/불투수도 보다 정확한 불투수면의 공간적 분포 확인 및 불투수 면적 산출이 가능하여 불투수면 우선관리지역 선정을 위한 기초자료로 활용 가능할 것으로 판단된다. 향후 연구에서는 본 연구 결과를 바탕으로 불투수율이 높은 지역을 우선 선별하여 저영향개발(LID, Low Impact Development) 및 그린빗물인프라(GSI, Green Stormwater Infrastructure)의 활용 방안에 관한 연구가 이루어져야한다. 특히, 불투수율이 높은 상업지역 및 공업지역에 대해서는 연구 결과의 적극적인 활용을 통한 개선이 요구된다.

  • PDF

특성 기반 수율관련 다변량 관리 방안 (Yield-related Multi-variate Control Method based on Feature)

  • 이장희
    • 한국품질경영학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국품질경영학회 2006년도 추계 학술대회
    • /
    • pp.217-220
    • /
    • 2006
  • 본 연구는 수율에 영향을 주는 변수들이 많이 존재하고 그들 간의 복잡한 상호 작용에 의한 수율변동이 예상되는 환경에서 기존의 관리도를 개별 공정에서 별도로 운영하여 관리하는 것이 아니라 모든 변수 중에서 상호 작용을 가지는 변수들의 조합을 특성으로 정의하고 이들의 변동을 관리함으로써 수율변동을 효과적이고 쉽게 관리할 수 있는 방안을 제시하였다. 즉, 과거에 생산된 제품 중에서 수율이 좋은 것과 나쁜 것을 구분하고 좋은 것과 나쁜 것에 대해 각각 특성을 정의하고 특성 변화의 패턴을 추출하여 향후 새로 만들어지는 제품의 패턴이 어느것과 더욱 유사한지를 규명하여 수율 이상을 사전 예방할 수 방법이다.

  • PDF

반도체 수율과 신뢰성의 관계에 대한 이론적 고찰 (Theoretical Results on the Relationship between Semiconductor Yield and Reliability)

  • 김경미
    • 한국경영과학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한산업공학회/한국경영과학회 2006년도 춘계공동학술대회 논문집
    • /
    • pp.128-132
    • /
    • 2006
  • 전통적으로 반도체의 신뢰성을 추정하는 방법은 생산 완료 후 수명검사 자료나 고객 양도 후 제품고장 자료로부터 얻어지는 후인형이다. 90년대에 들면서 제품의 수율과 신뢰성이 상호관련이 있다는 실험자료가 얻어짐에 따라 수율로부터 신뢰성을 예측할 수 있다는 연구결과가 발표되었다. 그 이후 제품 설계시에 수율에 기초하여 신뢰성을 고려할 수 있도록 하는 전도형 연구가 활발히 이루어지고 있다. 본 논문에서는 반도체 수율과 신뢰성을 통합할 수 있는 모형에 기초하여 수율과 신뢰성 사이의 관련성을 이론적으로 유도하고 증명하고자 한다.

  • PDF

반도체 제조업에서 사용되는 수율 모델의 비교 및 이용 (The Comparison and Use of Yield Models in Semiconductor Manufacturing)

  • 박광수;전치혁;김수영
    • 산업공학
    • /
    • 제10권1호
    • /
    • pp.79-93
    • /
    • 1997
  • 지난 30여 년간 반도체 제조 공정 중 FAB공정에서 칩 수율 모델의 개발과 적용은 반도체생산 계획 및 조업 관리를 위해 반도체 제조사들에게는 중요한 관리 대상이 되어 왔으며 제조업체들은 다양한 수율 모델들을 각 업체의 조건에 맞게 채택, 적용하여 왔다. 집적 기술의 발전은 반도체 칩의 크기에도 변화를 가져와 웨이퍼상의 결점들이 형성하는 클러스터를 설명할 수 있어야 했으며 칩 면적의 증가는 새로운 수율 모델을 개발케 하였다. 본 논문은 반도체 제조 공정에 대한 고찰과 수율 계산에 영향을 미치는 결점의 클러스터 효과 및 결점 크기를 중심으로 하는 치명 확률에 대하여 살펴보고, 포아송 모델에서 파생된 대표적인 칩 수율 모델들에 대한 설명과 칩 면적의 변화에 따른 각 모델별 수율 계산 비교 및 반도체 수율의 이용에 대하여 기술한다.

  • PDF

데이터마이닝을 활용한 반도체 수율개선시스템

  • 백동현;남정곤
    • 한국경영과학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한산업공학회/한국경영과학회 2002년도 춘계공동학술대회
    • /
    • pp.293-300
    • /
    • 2002
  • 반도체 공정은 웨이퍼가 투입되어 완제품이 생산되기까지 수백개의 제고공정을 수개월에 걸쳐 진행해야 하는 매우 복잡하고 긴 공정으로 구성되어 있다. 대부분의 공정들은 먼저가 철저히 통제되는 클린 룸에서 진행되지만 아주 미세한 먼지 하나도 반도체 칩의 성능과 수율 을 저하시키는 요인이 된다. 반도체 칩의 불량은 특정 생산장비에서의 이물질 발생, 생산장비의 잘 못된 파라미터 값 설정 등 다양한 요인에 의해 발생될 수 있으며 불량의 원인을 요인별로 파악하여 신속하게 대처하는 것이 수율 개선의 핵심이 된다. 이를 위해 SPC 시스템, MES 그리고 6-시그마 등의 활용을 통한 다양한 수율개선 노력이 있었으나 공정의 복잡성과 대용량의 수집 데이터로 인해 기존의 통계적 방법이나 엔지니어의 경험적 분석방법으로는 미처 파악하지 못 하는 수율 저하 요인이 상당 수 존재한다. 본 논문은 군집화/분류, 순차패턴 등의 데이터마이닝 기법과 다차원분석(OLAP)도구를 활용하여 수율저하의 원인이 되는 문제공정, 문제장비, 그리고 잘못된 파리미터 값 설정 등을 신속하고 정화하게 파악하여 수율 개선을 지원하는 방법을 소개하며, 반도체Fabrication공정을 대상으로 실제 구현된 수율개선 시스템(Y-PLUS)을 설명한다.

  • PDF

신문지 탈묵공정의 pH에 따른 수율 변화 및 그 최적화 방안

  • 류정용;조병욱;송봉근
    • 한국펄프종이공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국펄프종이공학회 2008년도 춘계학술대회
    • /
    • pp.106-123
    • /
    • 2008
  • 재생 신문지 생산공정의 탈묵처리는 공정의 pH에 따라 그 수율이 달라진다. 기존의 알칼리 탈묵처리 조건으로부터 의사 중성 혹은 중성으로 pH가 중화됨에 따라 과도한 탈묵 리젝트가 발생하고 수율이 저하되는 문제점이 있다. 본 연구에서는 탈묵 pH에 따른 수율 변화를 실험실 평가를 바탕으로 분석하고 리젝트를 절감하는 방안을 탐색하여 수율을 최적화하고자 하였다.

  • PDF

볏짚으로부터 바이오에탄올 생산을 위한 전처리 및 당화 연구 (Study on Pre-treatment & Saccharification of Rice straw for Bioethanol Production)

  • 이준표;박지연;김덕근;이진석;박순철
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국신재생에너지학회 2010년도 추계학술대회 초록집
    • /
    • pp.104.2-104.2
    • /
    • 2010
  • 농산 부산물인 볏짚을 이용하여 수송연료인 휘발유를 대체할 수 있는 바이오에탄올을 생산하기 위한 전단계인 전처리와 당화에 대한 연구를 수행하였다. 볏짚은 농산 부산물 중에서 비교적 발생량이 많으며, 목질계 바이오매스에 비해 소프트하기 때문에 전처리가 용이하다는 장점이 있다. 전처리 방법으로는 여러 가지가 있으나, 본 연구에서는 증기폭쇄에 의한 전처리 방법을 채택하였다. 당화실험은 생물학적 방법인 효소당화를 하였다. 전처리 실험결과 온도가 낮고 처리 시간이 짧을수록 고형물 및 삼성분에 대한 수율이 높은 것으로 나타났다. 삼성분 중의 Glucan 수율은 $180^{\circ}C$ 실험에서 68-71%를 보였으며, $200^{\circ}C$ 실험에서는 59-64%를 보였다. Xylan은 거의 대부분이 소실되어 Xylan을 회수하는 전처리로써는 적합하지 않은 방법으로 나타났다. 반면 Lignin은 거의 제거가 되지 않았다. 당화 실험결과 $180^{\circ}C$에서 전처리한 폭쇄재는 당화 수율이 50%에도 미치지 못하였으나, $200^{\circ}C$에서 전처리한 폭쇄재는 70% 내외를 보여 주었다. 특히 분쇄 세척 멸균한 효소당화 수율은 90%가 넘는 높은 수율을 보였다. 전처리 수율과 당화수율을 종합하여 수율을 분석한 결과 $200^{\circ}C$ 전처리 실험조건에서 효소당화시 미처리 시료와 분쇄 세척 시료보다 멸균까지 실시한 조건에서 Glucan의 종합수율이 55% 내외로 월등히 높은 것으로 나타났다. 증기폭쇄에 의한 볏짚의 전처리는 Glucan의 수율이 낮아 손실이 많은 것으로 나타났으며, 이를 보완할 수 있는 전처리 조건 혹은 다른 전처리 방안이 요구된다.

  • PDF

생약재 추출물의 수율 및 항고혈압 활성

  • 도정룡;김기주
    • 한국식품저장유통학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국식품저장유통학회 2003년도 제23차 추계총회 및 국제학술심포지움
    • /
    • pp.137.2-138
    • /
    • 2003
  • 본 실험에 사용한 생약재는 금산 약초시장에서 2003년 6월에 구입하여 추출수율을 조사하였다. 그 결과, 생약재의 물 추출물의 동결건조 중량(%)이 30~40%에 달하는 생약재는 가자, 갈근, 맥문동, 산수유가 있고, 20~30%에 달하는 생약재는 감초, 구기자, 당귀, 오미자, 천궁, 황기가 이에 속했으며, 중량(%)이 10~20%에 달하는 생약재는 복분자, 오수유, 애엽, 작약, 진피, 지유, 파고지, 황련이 이에 속했다. 마지막으로 10%이하의 추출 수율을 나타낸 생약재들은 가시오가피, 강황, 계피, 석곡, 소목, 영지, 오약, 육두구, 정향, 죽엽, 필발, 초두구, 호장근이 이에 속했다. 생약재의 70% Ethanol 추출물의 동결건조중량을 살펴본 결과, 동결건조 중량(%)이 30~40%에 달하는 생약재는 가자, 당귀, 산수유가 이에 속하였고, 20~30%에 달하는 생약재는 감초, 맥문동, 구기자, 오미자, 오수유, 천궁, 황기가 속하였으며, 동결건조 중량(%)이 10~20%에 달하는 생약재는 복분자, 육두구, 애엽, 작약, 정향, 지유, 파고지, 호장근, 황련이 이에 속했다. 또한 10% 이하의 수율을 나타내는 생약재는 가시오가피, 강황, 갈근, 계피, 석곡, 소목, 영지, 오약, 익지인, 죽엽, 필발, 초두구가 이에 속하였다. 생약재의 추출 시간 및 온도에 따른 수율을 조사한 결과, 추출 시간이 경과함에 따라서 수율이 점차 증가하는 경향을 보였으며, 가자, 갈근, 황련, 복분자, 지유, 정향, 계피, 소목 순으로 높은 수율을 얻을 수 있었다. 생약재에 여러가지 효소를 이용한 가수분해 결과, 대부분의 생약재에 대해 95$^{\circ}C$에서 2시간동안 추출한 수율과 그다지 큰 차이는 보이지 않았지만 대부분의 생약재가 Termamyl 효소를 사용하여 가수분해하였을 때 가장 높은 수율을 나타내었다. 또한 지유의 경우는 Viscozyme 효소를 처리하였을 경우 가장 좋은 수율을 나타내었다. 또한, 효소의 최적 온도로 조정한 Water bath에서 0, 30, 60, 120, 210분간 효소 반응 시켜, 420nm에서 갈변도를 시간별로 측정해본 결과, Viscozyme 효소를 처리한 생약재에서 시간이 흐름에 따라 흡광도 수치의 변화가 크게 나타났다. 32종의 생약재 물 추출물의 항고혈압 활성을 측정한 결과, 파고지, 소목, 죽엽의 항고혈압 활성이 높은 것으로 나타났으며, 파고지의 효과가 가장 우수한 것으로 나타났다. 10%에탄을 추출물의 경우에는 오미자, 오수유, 소목에서 항고혈압 활성이 높은 것으로 나타났으며, 오미자의 효과가 가장 우수한 것으로 나타났다. 파고지 물 추출물을 칼럼(Sephacryl S-300, High Resolution)으로 분획하여 3개의 Peak를 얻었으며, 2번째 Peak의 항고혈압 활성이 매우 높은 것으로 나타났다.

  • PDF