A Study on the of influence to precision equipment by utility vibration of TFT-LCD fab (TFT-LCD 생산공장의 유틸리티 진동으로 인한 공장 구조물과 정밀장비로의 영향성)
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- Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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- 2006.05a
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- pp.886-892
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- 2006