• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 한국신재생에너지학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.378-381
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• 2008

고효율 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지를 얻기 위해서는 우수한 c-Si wafer 위에 고품질의 비정질 실리콘박막을 통한 heterointerface를 형성하는 것이 매우 중요하다. 이를 달성하기 위해서는 공정중에 오염되기 쉬운 Si wafer 표면 상태를 정확히 검사하고 잘 관리하여야 한다. 본 연구에서는 세정 및 표면산화에 따른 Si wafer 상태를 Spectroscopic Ellipsometry 및 u-PCD를 이용하여 분석하였으며, <$\varepsilon$2> @4.25eV 값이 Si wafer 상태를 잘 나타내고 있음을 확인하였고 세정 최적화 할 경우 그 값이 43.02에 도달하였다. 또한 RF-PECVD로 증착된a-Si:H 박막을 EMA 모델링을 통해 분석한 결과 낮은 결정성과 높은 밀도를 가지는 a-Si:H를 얻을 수 있었으며, 이를 이종접합 태양전지에 적용한 결과 Flat wafer상에서 10.88%, textured wafer 적용하여 13.23%의 변환효율을 얻었다. 결론적으로 Spectroscopic Ellipsometry가 매우 얇고 고품질의 다층 박막이 필요한 이종접합 태양전지 분석에 있어 매우 유용한 방법임이 확인되었다.

• 한국정밀공학회지
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• 제31권12호
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• pp.1107-1113
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• 2014

In this article, the megasonic cleaning system for cleaning micro/nano particles from flat panel display (FPD) surfaces was developed. A piezoelectric actuator and a waveguide were designed by finite element method (FEM) analysis. The calculated peak frequency value of the quartz waveguide was 1002 kHz, which agreed well with the measured value of 1003 kHz. The average acoustic pressure of the megasonic cleaning system was 43.1 kPa, which is three times greater than that of the conventional type of 13.9 kPa. Particle removal efficiency (PRE) tests were performed, and the cleaning efficiency of the developed system was proven to be 99%. The power consumption of the developed system was 64% lower than that of the commercial system. These results show that the developed megasonic cleaning system can be an effective solution in particle removing from FPD substrate with higher energy efficiency and lower chemical and ultra pure water (UPW) consumption.

• 상하수도학회지
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• 제25권6호
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• pp.981-987
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• 2011

Biologically treated water contains a large quantity of organic matters and microorganisms which can cause various problems to membrane. The membrane fouling occurred by these reasons is hard to control by single physical cleaning. This study analyzes the efficiency of aeration with chemical backwashing and foulants removal during chemical backwashing. The cleaning efficiency improves when the chemical concentration is high and the contact time of chemical is long. Chemical backwashing with aeration shows exceptional cleaning efficiency which leads the physical cleaning is required during chemical backwashing since it forms flow inside the membrane submerged tank. From the foulants removal analysis, the particles such as turbidity and TOC removal rate increase when the aeration is applied. Dissolved matter of DOC and UV254 removal is dependent on higher chemical concentration. According to FTIR analysis, one of major foulants, the polysaccharide is controlled by the chemical backwashing with aeration condition.

• 한국정밀공학회지
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• 제28권10호
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• pp.1217-1223
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• 2011

In this paper, the dielectric barrier discharge plasma generator has been studied for producing of the high concentration ozone gas. Proposed plasma generator has the structure of extremely narrow discharge air gap(0.15mm) in order to realize the high electric field discharge. We investigate the performance of the dielectric barrier discharge plasma generator experimentally and the results show that the generator has very high ozone concentration characteristics of 13.7[wt%/$O_2$] at the oxygen flow rate of 1[${\ell}$/min] of each discharge cell. So, we confirmed that the proposed plasma generator is suitable for the high concentration ozone production facility of the eco-friendly ozone functional water cleaning system in the electronic components cleaning process.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.190-190
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• 2011

일반적으로 TiO2와 WO3는 광촉매 작용으로 인하여 살균력을 보이며, 친수성으로 인해 자가 세정 능력을 가져 유리 및 건축자재의 표면처리, 전자제품의 마감처리 용도로 많이 사용하고 있다. 현재 Sol-gel, CVD, Sputter, Spin-coating 방법 등으로 많은 연구가 진행되어 오고 있다. 이에 본 실험에서는 박막의 두께를 균일하게 만들 수 있는 RF-magnetron sputtering 방법을 이용하여 표면 경도와 부착력이 우수한 TiO2에 열적 특성과 화학적 특성이 안정한 WO3를 Double Layer 방식으로 증착하여 박막을 제작하였다. 광학적 특성을 알아 본 결과 가시광 영역에서 TiO2 / WO3 Double Layer 박막이 80% 이상의 높은 투과율을 나타내었으며, 박막의 표면을 확인 한 결과 TiO2 / WO3 Double Layer 박막이 더 조밀한 표면을 보였다. 또한 접촉각을 측정을 통하여 TiO2박막보다 TiO2 / WO3 double layer박막이 낮은 접촉각을 나타내었다. 이는 TiO2 표면은 소수성이나 WO3로 인해 광촉매 기능이 향상되어 공기 중의 물 분자가 해리 흡착되면서 친수성이 향상되는 것으로 사료된다. 이러한 박막은 건물의 외벽이나 자동차의 내 외장재 전자기기용 광학 필름에 자가세정, 내반사 코팅소재로 활용 가치가 높을 것으로 예상된다.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2008년도 추계학술대회B
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• pp.2511-2514
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• 2008

As the minimum feature size decreases, techniques to avoid contamination and processes to maintain clean wafer surfaces have become very important. The deposition and detachment of nanoparticles from surfaces are major problem to integrated circuit fabrication. Therefore, cleaning technology which reduces nanoparticles is essential to increase yield. Previous megasonic cleaning technology has reached the limits to reduce nanoparticles. Megasonic cleaning is one of the efficiency method to reduce contamination nanoparticle. Two major mechanisms are active in a megasonic cleaning, namely, acoustic streaming and cavitation. Acoustic streaming does not lead to sufficiently strong force to cause damage to the substrates or patterns. Sonoluminescence is a phenomenon of light emission associated with the cavitation of a bubble under ultrasound. We studied a correlation between sonoluminescence and sound pressure distribution for the minimum of pattern damage in megasonic cleaning.

• 한국지하수토양환경학회지:지하수토양환경
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• 제6권4호
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• pp.51-59
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• 2001

불균질 매질 내 분포하는 비 수용성 유기오염물(NAPL; non-aqueous phase liquid)을 계면활성제를 이용한 원위치 정화 방법으로 정화하는 칼럼 및 박스실험을 실시하였다. Ottawa 모래를 이용한 균질 칼럼실험을 통하여 NAPL에 대한 계면활성제용액의 정화 효율 증가를 검증하였고, 실제 오염지역의 토양을 이용한 칼럼실험을 통하여 불균질 토양에서의 정화 효율을 측정하였으며, 불균질 층리 구조와 단층구조를 모형화한 2차원 박스를 사용한 NAPL 정화 실험을 통하여 불균질 매질에서의 정화 효율을 규명하였다. LNAPL 오염원으로 o-xylene이, DNAPL 오염원으로 PCE(tetrachloroethylene)가 이용되었고, 계면활성제로는 비이온성 올리에마이드(oleamide)가, 매질로는 유류로 오염된 오염지역으로부터 채취한 실제토양과 Ottawa 모래가 실험에 사용되었다. 1% 계면활성제용액과 증류수를 주입하여 NAPL을 세정하였고 가스크로마토그래피(GC)를 이용하여 NAPL의 농도를 분석하였다. 균질 Ottawa 모래충진 칼럼의 경우 계면활성제를 주입할 경우가 증류수를 주입할 때보다 o-xylene의 최대유출농도가 약 460배, 불균질 토양의 경우 약 250배, 불균질 층상구조에서는 약 150배 증가를 나타내었다. 불균질 매질에서 계면활성제를 이용한 세정법(flushing method)으로 NAPL을 정화시, 균질 매질에서의 정화 효과보다는 정화 효율이 감소하나, 여전히 증류수만을 이용한 세정방법보다 훨씬 높은 정화 효과를 보이며, 빠른 시간 내에 NAPL이 정화되었음을 확인하였다. 본 실험을 통하여, 불균질 매질에서의 계면활성제를 이용한 토양세정방법의 효율성이 정량화 되었으며, 계면활성제를 이용한 채수주입법의 현장 적용가능성을 확인하였다.산이온의 탄소의 $\delta$$^{13}$C(PDB)값은 -6.2~0.0$\textperthousand$범위이며, 그 기원은 대수층인 지층내 탄산염암 또는 탄산염 광물의 용해에서 유래한 무기기원 탄소로 해석된다.다.으로 변화하였으며 치료 전에 반응하지 않던 항원에 새롭게 반응하는 항체가 나타나는 경우는 드물었다.ms of chlorophyll-a concentration estimation, however, the accuracy stays very similar compared to that of the CZCS-type algorithm. This is considered to be due to the nature of in-water algorithm which relies on spectral ratio of water-leaving radiances.ethanol의 혈중농도(血中濃度)가 높을수록 더 심(甚)한 혈압강하작용(血壓降下作用)을 나타내며, ethanol 로 인(因)한 이뇨작용(利尿作用)도 ethanol 량(量)이 증가(增加)함에 따라 뇨량(尿量)도 증가(增加)함을 보여 주었다.ults showed that the overall quality of Sullungtang significantly decreased as the parity increased for Hanwoo cows. The Sullungtang extracted from bones of heifer had the best sensory scores as well as nutritional quality when compared to those extracted from the cows with parity. Therefore,

• 공업화학
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• 제16권5호
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• pp.677-683
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• 2005

AEO계 비이온 계면활성제를 주체로 한 세정제 시스템에서 탄화수소 용제가 단일상의 마이크로에멀젼 형성 및 세정력에 미치는 영향을 살펴보았다. 용제로 사용한 포화탄화수소의 사슬 길이가 길어질수록 마이크로에멀젼을 형성하는 온도 영역이 넓어졌으며, $35{\sim}60^{\circ}C$의 온도 조건에서 첨가한 보조계면활성제 조성에 상관없이 단일상의 ${\mu}E$이 존재하는 것을 확인할 수 있었다. 특히 본 실험에서 사용한 탄화수소 중에서 사슬 길이가 가장 큰 헥사데칸을 용제로 사용할 경우, 보조계면활성제 이소프로판올을 첨가하지 않은 경우에도 단일상의 O/W ${\mu}E$이 넓은 온도 영역에 걸쳐서 존재하였다. 상평형 실험을 통하여 선정한 단일상의 마이크로에멀젼을 주체로 한 후보 세정제 시료들은 $40^{\circ}C$에서 abietic acid에 대한 우수한 세정력을 나타내는 것을 세정 실험을 통하여 확인할 수 있었다.

• Environmental Analysis Health and Toxicology
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• 제15권4호
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• pp.123-130
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• 2000

택트 스위치 제조공정 침지액의 주성분인 2-bromopropane독성에 대한 연구로 최단기의 폭로로 농도를 달리하여 3주간 반복 투여 시험을 시행하여, 흰쥐의 혈액 및 세정관의 변화를 관찰하기 위해 투여기간 동안의 체중의 변화, 고환, 간, 신장 등의 장기무게, 혈액화학과 혈액학적 분석 및 고환의 병리조직의 변화 등을 관찰하여 2-bromopropane의 급성투여 조건에서의 중독현상을 비교.분석하였다. 농도를 달리하여 투여에 따른 체중변동은 통계적으로 유의한(P<0.05)체중의 감소를 나타내었다. 1.000 mg/kg 투여군에서 백혈구수, 적혈구수, 혈구용적과 혈색소 농도에서 유의한 변화(p<0.05)를 보였다. 조직병리학적 소견으로 정 소에서는 세정관의 정조세포와 정모세포의 괴사를 볼 수 있었고, 기저막의 비후, 세정관의 Sertoli세포는 광범위하게 세포질성 공포현상을 보여주고 있다. 또한 간질조직에서는 Leydig 세포의 증식을 볼 수 있었다. 2-bromopropane의 손상부위는 조혈과 생식계가 표적으로 생각되며, 고농도 투여가 저농도 투여에 비해 독성이 심하며 독성물질의 양-반응 관계를 보여주고 있다.

• 한국응용과학기술학회지
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• 제31권4호
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• pp.584-594
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• 2014

고분자 필름의 표면에 친수성의 증가시키는 것은 그 자기 세정 및/또는 방담 특성을 가지게 하는데 중요한 접근 방법이다. 일반적으로 친수성 표면은 비이온 계면활성제를 코팅하거나 표면에너지를 증가시킴으로써 제조할 수 있다. 본 연구에서는 가격이 저렴하고 톨루엔 용제에 잘 용해될 뿐 만아니라 커플링제와 반응할 수 잇는 하이드록시기를 가지고 있는 Tween, Span 및 PEG-PPG 블록공중합체를 선택하여 실험을 수행하였다. 배합 조건에 따라 PET 필름 표면의 친수도에 큰 영향을 미침을 확인하였다. 그러나, PET 필름의 표면상에 단순히 이들 계면활성제의 도입은 수세 후에는 높은 내구성을 보여주지 않았다. 내구성을 높이기 위해 에폭시 및 이소시아네이트와 같은 두 종류의 커플링제를 사용하였다. 코팅액에 6 중량 %isophrone 디이소시아네이트 (IPDI)를 함유한 코팅액으로 코팅된 PET 필름 표면의 물에 대한 접촉각은 $8.7^{\circ}$까지 낮아졌으며, 이는 매우 높은 친수성에 대한 간접적인 증거이다. 또한, 코팅된 PET 필름의 광 (파장 500 nm) 투과율 값은 높은 투명 특성을 유지하면서 87%에서 85%로 약간 감소하였다. 이 PET 필름은 자기 세정 특성이 필요한 필름산업에 적합한 소제로 사용될 수 있다.