Influence of relative distance between heater and quartz crucible on temperature profile of hot-zone in Czochralski silicon crystal growth (쵸크랄스키법 실리콘 성장로에서 핫존 온도분포 경향에 대한 히터와 석영도가니의 상대적 위치의 영향)
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- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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- v.28 no.5
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- pp.179-184
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- 2018