• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.10a
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• pp.23-23
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• 2011

Chemical-Mechanical Planarization (CMP) 공정이란 화학적 반응 및 기계적인 힘이 복합적으로 작용하여 표면을 평탄화하는 공정이다. 이러한 CMP 공정은 반도체 산업에서 회로의 고집적화와 다층구조를 형성하기 위하여 도입되었으며 반도체 제조를 위한 필수공정으로 그 중요성이 강조되고 있다. 특히 최근에는 Inter-Level Dielectric (ILD)의 형성과 Shallow Trench Isolation (STI) 공정에서실리콘 산화막을 평탄화하기 위한 CMP 공정에 대해 연구가 활발히 이루어지고 있다. 그러나 CMP 공정 후 scratch, pitting corrosion, contamination 등의 Defect가 발생하는 문제점이 존재한다. 이 중에서도 scratch는 기계적, 열적 스트레스에 의해 생성된 패드의 잔해, 슬러리의 잔유물, 응집된 입자 등에 의해 표면에 형성된다. 반도체 공정에서는 다양한 종류의 실리콘 산화막이 사용되고 gks이러한 실리콘 산화막들은 종류에 따라 경도가 다르다. 따라서 실리콘 산화막의 경도에 따른 CMP 공정 및 이로 인한 Scratch 발생에 관한 연구가 필요하다고 할 수 있다. 본 연구에서는 scratch 형성의 거동을 알아보기 위하여 boronphoshposilicate glass (BPSG), plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) tetraethylorthosilicate (TEOS), high density plasma (HDP) oxide의 3가지 실리콘 산화막의 기계적 성질 및 이에 따른 CMP 공정에 대한 평가를 실시하였다. CMP 공정 후 효율적인 scratch 평가를 위해 브러시를 이용하여 1차 세정을 실시하였으며 습식세정방법(SC-1, DHF)으로 마무리 하였다. Scratch 개수는 Particle counter (Surfscan6200, KLA Tencor, USA)로 측정하였고, 광학현미경을 이용하여 형태를 관찰하였다. Scratch 평가를 위한 CMP 공정은 실험에 사용된 3가지 종류의 실리콘 산화막들의 경도가 서로 다르기 때문에 동등한 실험조건 설정을 위해 동일한 연마량이 관찰되는 조건에서 실시하였다. 실험결과 scratch 종류는 그 형태에 따라 chatter/line/rolling type의 3가지로 분류되었다 BPSG가 다른 종류의 실리콘 산화막에 비해 많은 수에 scratch가 관찰되었으며 line type이 많은 비율을 차지한다는 것을 확인하였다. 또한 CMP 공정에서 압력이 증가함에 따라 chatter type scratch의 길이는 짧아지고 폭이 넓어지는 것을 확인하였다. 본 연구를 통해 실리콘 산화막의 경도에 따른 scratch 형성 원리를 파악하였다.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.36 no.4
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• pp.651-657
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• 2016

The purpose of this research was to examine the possibility on the recycling of foodwaste leachate as external carbon sources using microbubble. The following operating conditions were selected: pressurizing tank 3 bar, circulation flow rate 3.65 LPM, and air flow rate 0.3 LPM with batch type. Microbubble contact time of 18 hours is optimal time to satisfy the recycling of foodwaste leachate as external carbon sources with batch type. HRT 18 hours came up to standard for external carbon sources, except for T-P concentration with continuous type. Coagulants need to be used for removal of dissolved phosphorus concentration by more than 88.5% of the total phosphorus concentration. The VFA was influenced by the organic decomposition rate and the concentration in the aerobic condition. It was considered that the VFA was needed for selection the optimal HRT or the addition of acid fermentation process in order to meet recycling standard of foodwaste leachate.

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2009.11a
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• pp.345-345
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• 2009

전기화학적 환원 기술을 이용한 고온 용융염 전해환원의 결과 생산되는 금속전환체는 다공성 특성에 의해 전해환원의 매질인 용융염을 함유하게 된다. 전해환원과 후속 전기화학 공정인 전해정련의 전해질은 각각 LiCl과 LiCl-KCl 공융염으로 상이하기 때문에 이렇게 금속전환체에 포함된 LiCl 염이 동반되어 전해정련 공정에 도입될 경우 전해정련 공정의 공융염 조성을 어긋나게 한다. 이에 따라 금속전환체의 잔류염은 효과적으로 제거되어야 하며 공정으로 감압 증류에 의한 잔류염 제거 공정이 고려되고 있다. LiCl은 증기압이 비교적 낮기 때문에 감압의 고온 조건이 공정에 필요하다. 그러나 상평형도 분석 결과 전해환원 공정에서 산화물을 담아 음극으로 사용되어 환원된 금속전환체와 함께 도입되는 SUS 재질의 바스켓과 사용후핵연료 금속전환체의 주된 원소인 우라늄과는 공융할 수 있기 때문에 LiCl 증발 온도는 $720^{\circ}C$ 이하로 유지되어야 한다. 이와 같은 조건에서 LiCl 증발 속도를 높이기 위해서는 감압 조건이 필수적이다. 본 연구에서는 감압조건에서 LiCl 휘발 실험을 위해 폐쇄형 및 개방형 반응기를 제작하여 압력 조건 및 Ar 유량 등에 따른 LiCl 휘발율을 측정하였다. 증발된 LiCl은 일정 감압 조건에서 분말형으로 냉각부위에 회수 될 수 있었으나 완전 진공 조건에서는 결정형으로 냉각 부위에 응축되는 것으로 확인 되었으며 일정 진공 조건에서는 Ar 유량에 따라 증발량이 의존하지 않는 것으로 나타났다. 연구 결과 증발염의 취급 빛 이송을 위해 분말형 회수를 목표로 설정할 수 있었으며 공정조건으로 일정 수준의 감압 조건을 제시하였다. 이 후 후속 연구로 장치의 대형화 및 증발 속도 향상을 위한 추가적인 연구가 계획되어 있으며 연구 결과에 기초하여 공학규모 파이로 공정 시설인 PRIDE에 도입될 장치의 기초 설계 자료를 생산할 예정이다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.31 no.6
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• pp.110-117
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• 2003

The operational characteristics of the landing gear retraction/extension depend on the complexity of design variables operational/environmental conditions. In order to meet the requirements of minimum stow area and performance, the integration of the landing gear system requires operational kinematic and dynamic analysis considering an effect of its related system. This study investigates operational dynamic behaviors of the T-50 landing gear system using ADAMS. Taking into account for various operational/environmental conditions, an analysis of dynamic behavior on the landing gear operational characteristics is performed with experience derived from a wide range of proprietary designs. Analytical results are presented for discussing the effects of temperature, aerodynamic and maneuver load on normal/emergency operation of the landing gears and doors. This analysis leads us to the conclusion that the proposed program is shown to be a better quantitative one that apply to a new development and troubleshooting of the landing gear system.

• Cartoon and Animation Studies
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• s.23
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• pp.81-94
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• 2011

There is a growing movement of cartoon and animation circles to legislate the cartoon promotion act. It is anticipated that a wind of change will blow through the cartoon circle as private organizations are planned to established and a budget over 20 billion won is allocated. Although it is very encouraging for colleges who perform a substantial role in introducing new authors, a full internal discussion on the cartoon promotion act is still at a fledgling stage. Currently, the college restructuring craze is sweeping the country and cartoon animation education program can not be an exception. Especially, the irony of helping graduates who desire to be authors find jobs and expressing it as a statistical figure is too burdensome and worn out to regard it as an indiscretion of government. This study aims to examine the problems of cartoon animation college programs in South Korea by focusing on graduates' job-finding and career planning and to propose solutions through the legislation of cartoon promotion act.

• Food Science and Preservation
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• v.5 no.3
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• pp.239-246
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• 1998

Polyimide membrane system was designed for manufacturing nitrogen-enriched gas, and basic technical data was suggested for appling this system to controlled atmosphere storage. The permeability characteristics of pure oxygen and nitrogen could be explained by dual-mode sorption model. There was substantial decrease in the permeation rates of oxygen, which is the more permeable gas, through the polyimide membrane due to the presence of nitrogen in comparison with pure oxygen. However, the permeation rates of nitrogen was increased by the presence of oxygen. The ideal separation factor was in the range of 5 to 6 in the range of temperature and pressure difference studied, and the separation factor of air was lower than the ideal separation factor. The increase of ideal separation factor with increasing temperature is due to the fact that the activation energy for oxygen is larger than that for nitrogen. Nitrogen concentration decreased rapidly with increasing product recovery, and it was found that this is a major operating factor to obtain nitrogen concentration required for controlled atmosphere storage. A relation equation, by which nitrogen concentration in storehouse can be predicted, was suggested under the establishment of a hypothetical model for controlled atmosphere storage process using polyimide membrane system.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.36 no.5
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• pp.563-569
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• 2012

An energy balance analysis is conducted for a 30 t thrust level liquid rocket engine. The relations between thrust and combustion pressure, between thrust and propellant flow rate, and between combustion pressure and fuel pump pressure rise are compared against those indicated by a published database of the existing rocket engines. A combustion pressure higher than the old design value is obtained, implying that the present design is high-performance oriented. The thrust to propellant flow rate ratio is the same as that of the existing engines, indicating that the specific impulse performance is at the usual level. The fuel pump pressure rise is found to be slightly high when the combustion pressure is considered, and it is attributed to the pressure budget of the present ground test engine not being optimized.

• Journal of the Korean Association of Geographic Information Studies
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• v.5 no.4
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• pp.24-34
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• 2002

The purpose of this study is to estimate the ecological effect of DMZ for development and conservation of this area. Because of the political reason, field research and estimation of the ecological effect using field data is very difficult. Then we carried out the estimation of the ecological effect using Landsat ETM+ and ancillary data of digital maps. Because of military disturbance and agricultural activity of common people, NDVI of DMZ was very low value except the interior area of DMZ. According to the distance of DMZ, the variance of NDVI didn't show the logistic curve. This result has the reason as follows. The developing force at level plane of west and middle area reached to DMZ and we could concluded in that case of east area had been effect of regular cutting for view.

• Bulletin of Food Technology
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• v.15 no.2
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• pp.93-99
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• 2002

고압처리로 멸균된(high-pressure- sterilized) 저산성 식품은 아직 본격적으로 시장에 나오지는 않고 있다. 그러나 고압처리로 살균시켜(high-pressure-pasteurized) 제품의 부가가치를 높인 상품들은 일부 시판되고 있다. 미국시장에는 구아카몰(guacamole),굴 등이 있고, 일본과 유럽에는 잼, 젤리, 생선제품, 육제품, 슬라이스 햄, 샐러드 드레싱, 쌀떡, 주스, 요구르트 등이 판매되고 있다. 기술이 발전되어 처리비용이 떨어짐에따라 우유나 오렌지 주스 같은 저부가가치의 제품(high-volume commodity products)에도 고압처리 기술이 적용되는 예를 보게 될 것이다.미국 FDA의 "열처리된 저산성식품은 용접밀봉된 용기(캔, hermetically sealed container)에 포장되어야 한다." 는 규정(Title 21, Part 113 of the Code Federal Regulations)은 고압처리 식품을 염두에 두고 만들어진 규정은 아니지만, 저산성식품의 고압처리 공정(high-pressure processing)은 강력한 살균력을 제공하고 있다. 따라서 위의 FDA 규정(21 CFR 113)의 모든 조항은 고압처리 저산성 식품이 상업적인 생산에 들어가기 전에 시행되어야만 하는 것이다. 그 규정의 주요 조항중의 하나는 고압처리 공정에 대한 전문적인 지식을 가진 전문가나 위원회 등에 의하여 세부적인 고압처리공정 절차를 확립하는 것이다. 공정의 전문가들은 안전성을 증명하기 위해서 적합한 과학적인 방법을 사용하여 고압처리 공정을 확립해야만 한다. 저산성 식품에 대한 고압처리 공정은 주의깊게 설정된 공정조건하에서 재현성 있게 안전한 식품을 생산할 수 있어야 한다. 살균에 대한 안전성과 재현성이 입증되면 고압에 의한 살균처리공정 설계는 일반적인 대량생산 공정으로 활용될 수 있게 된다. PP(고압처리공정)의 유효성이 보다 확실하게 입증되고 널리 활용되려면, 공정의 살균력과 일관성(uniformity)을 증명하는 미생물적, 물리적, 화학적, 공학적인 여러 분야가 통합된 검증방법이 필요하다. 전통적인 열처리 공정은 스팀열의 가열시간으로 설명이 충분하다. 물론 HPP살균에서도 시간과 온도는 주요 변수이지만, 압력에 의한 미생물살균도 고려되어야만 한다. 또한 점도, 밀도, 구성성분, pH, 수분활성도 같은 해당제품의 특성도 제품의 고압처리 살균공정, 특히 미생물의 사멸에 영향을 미칠 수도 있다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.38 no.12
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• pp.1359-1365
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• 2014

In this study, 1-way fluid structure interaction analysis(FSI) for the shutter, component of side jet thruster was performed to evaluate the safety. Driving torque to open nozzle, thermal and high pressure load of hot gas was applied to shutter. Thus, the shutter must be designed to endure this load during combustion. We carried out computational fluid dynamics analysis to obtain the pressure, temperature, and heat transfer coefficient of hot gas of side jet thruster. We then used the data as the load condition for a thermal structural analysis using a mapping method. The locations with the maximum stress and temperature distributions were found. We compared the maximum stress with the tensile stress of shutter material according to temperature to evaluate the safety. We also analyzed the radial deformation of the shutter to set the proper interface gap with the side jet thruster parts.