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하이브리드 SEM 시스템

  • Kim, Yong-Ju
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.109-110
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    • 2014
  • 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy: SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 수 나노미터의 분해능을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료 nnnnnnnnn와 유가공 제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다(Fig. 1). 입사된 전자빔이 시료의 원자와 탄성, 비탄성 충돌을 할 때 2차 전자(secondary electron)외에 후방산란전자(back scattered electron), X선, 음극형광 등이 발생하게 되는 이것을 통하여 topography (시료의 표면 형상), morphology(시료의 구성입자의 형상), composition(시료의 구성원소), crystallography (시료의 원자배열상태)등의 정보를 얻을 수 있다. SEM은 2차 전자를 이용하여 시료의 표면형상을 측정하고 그 외에는 SEM을 플랫폼으로 하여 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy), WDS (Wave Dispersive X-ray Spectroscope), EPMA (Electron Probe X-ray Micro Analyzer), FIB (Focus Ion Beam), EBIC (Electron Beam Induced Current), EBSD (Electron Backscatter Diffraction), PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer) 등의 많은 분석장치들이 SEM에 부가적으로 장착되어 다양한 시료의 측정이 이루어진다. 이 중 결정구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 하는 X선 분석장치인 EDS를 SEM에 일체화시킨 장비와 EDS 및 PBMS를 SEM에 장착하여 반도체 공정 중 발생하는 나노입자의 형상, 성분, 크기분포를 측정하는 PCDS(Particle Characteristic Diagnosis System)에 대해 소개하고자 한다. - EDS와 통합된 SEM 시스템 기본적으로 SEM과 EDS는 상호보완적인 기능을 통하여 매우 밀접하게 사용되고 있으나 제조사와 기술적 근간의 차이로 인해 전혀 다른 방식으로 운영되고 있다. 일반적으로 SEM과 EDS는 별개의 시스템으로 스캔회로와 이미지 프로세싱 회로가 개별적으로 구현되어 있지만 로렌츠힘에 의해 발생하는 전자빔의 왜곡을 보정을 위해 EDS 시스템은 SEM 시스템과 연동되어 운영될 수 밖에 없다. 따라서, 각각의 시스템에서는 필요하지만 전체 시스템에서 보면 중복된 기능을 가지는 전자회로들이 존재하게 되고 이로 인해 SEM과 EDS에서 보는 시료의 이미지의 차이로 인한 측정오차가 발생한다(Fig. 2). EDS와 통합된 SEM 시스템은 중복된 기능인 스캔을 담당하는 scanning generation circuit과 이미지 프로세싱을 담당하는 FPGA circuit 및 응용프로그램을 SEM의 회로와 프로그램을 사용하게 함으로 SEM과 EDS가 보는 시료의 이미지가 정확히 일치함으로 이미지 캘리브레이션이 필요없고 측정오차가 제거된 EDS 측정이 가능하다. - PCDS 공정 중 발생하는 입자는 반도체 생산 수율에 가장 큰 영향을 끼치는 원인으로 파악되고 있으며, 생산수율을 저하시키는 원인 중 70% 가량이 이와 관련된 것으로 알려져 있다. 현재 반도체 공정 중이나 반도체 공정 장비에서 발생하는 입자는 제어가 되고 있지 않은 실정이며 대부분의 반도체 공정은 저압환경에서 이루어지기에 이 때 발생하는 입자를 제어하기 위해서는 저압환경에서 측정할 수 있는 측정시스템이 필요하다. 최근 국내에서는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 시스템 내 파이프내벽에서의 오염입자 침착은 심각한 문제점으로 인식되고 있다(Fig. 3). PCDS (Particle Characteristic Diagnosis System)는 오염입자의 형상을 측정할 수 있는 SEM, 오염입자의 성분을 측정할 수 있는 EDS, 저압환경에서 기체에 포함된 입자를 빔 형태로 집속, 가속, 포화상태에 이르게 대전시켜 오염입자의 크기분포를 측정할 수 있는 PBMS가 일체화 되어 반도체 공정 중 발생하는 나노입자 대해 실시간으로 대처와 조치가 가능하게 한다.

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수처리 목적의 대기압플라즈마를 이용한 유사 폴리도파민 필름 증착

  • Mun, Mu-Gyeom;Yeom, Geun-Yeong
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.124-124
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    • 2018
  • Polydopamine은 수중 접착력, 친환경 접착제, nanoparticle absorption 등 다양한 특성으로 많이 연구되고 있는 소재이다. 본 연구에서는 dopamine을 이용하여 수중 금속을 흡착시키는 thin film을 제작하였다. 종래의 Polydopamine coating 방법으로 wet coating 이 사용되고 있다. 하지만 wet 방식의 경우 시간이 오래 걸릴 뿐만 아니라 in-line, roll to roll 방식을 적용하는 것이 어렵기 때문에 생산적이지 않다. 이에 본 연구에서는 Atmospheric Pressure Plasma(APP)를 이용 하여 Polydopamine-like film을 coating 하였다. APP의 경우 vacuum system, solution tank가 필요 없고 in-line, roll to roll 방식을 적용 할 수 있기 때문에 더 경제적이고 생산적인 공정이다. 또한 기존의 Plasma polymerization 방법은 Plasma energy가 높기 때문에 source의 분자구조가 바뀌거나 atom 단위로 분해된다. source의 분자구조가 바뀌는 "Atomic polymerization", Neiswender-Rosskamp Mechanism이 적용되면 wet 방식 coating한 film과는 다른 특성을 갖게 된다. 하지만 APP polymerization은 Plasma energy가 vacuum plasma 보다 매우 낮기 때문에 stile polymerization mechanism을 구현 하는데 적합 하다. stile polymerization mechanism은 Plasma 내부에서 polymer source를 분해 성장 시켜서 Polymer film 얻는 것이 아닌 source의 분자구조가 깨지지 않으면서 polymer growing 시키는 방법이다. dopamine source의 분자구조를 최대한 유지하려고 하는 이유는 metal absorption과 같은 특성이 dopamine chemical structure에 영향을 받기 때문이다. 많은 논문들에서 dopamine의 catechol group이 metal absorption, adhesion force에 영향을 주는 주요 인자라고 주장하고 있기 때문이다. 그래서 본 논문에서는 Dopamine source의 형태를 보존하면서 Polymerization 하는 방법으로 APP process를 사용 하여 낮은 전압에서 Polydopamine-like film을 제작 하였다. APP system 의 Plasma 방전부 에 Dopamine source를 유입하기 위하여 본 논문에서는 Piezo Spray 방식을 사용 하였다. Dopamine을 evaporator 하는 것이 어렵고 chemical composition이 유사한 monomer를 사용해서 Plasma Polymerization으로 Dopamine 분자 구조를 재현하는 것도 어렵다. 그래서 본 연구에서는 Dopamine을 water에 immerse 하고 Dopamine solution을 mist 상태로 만들어서 Plasma discharge area에 유입하였다. 이러한 방법으로 만들어진 film은 Polydopamine film은 아니지만 Polydopamine film과 유사한 Chemical composition, chemical structure, metal absorption을 갖는 것을 FT-IR, SEM, XPS을 이용 하여 확인 하였다. Dopamine source의 보존에 대하여 명확하게 확인하기 위하여 FT-IR을 측정 하였다. 전압에 따른 Benzene ring, hydroxyl group의 비율을 확인 하였다. 낮은 전압으로 coating 된 Polydopamine-like film 일수록 hydroxyl group peak($3400{\sim}3000cm^{-1}$)과 비교하여 Benzene ring peak($1600{\sim}1580cm^{-1}$ and $1510{\sim}500cm^{-1}$)이 흡수를 더 많이 하는 것을 확인 할 수 있다. 이것은 Benzene ring이 파괴되지 않고 보존되는 것을 보여준다. Dopamine에서 Benzene ring은 absorption main factor인 catechol에 있는 chemical structure이다. 즉 Benzene ring peak이 높을수록 Catechol이 잘 보존 되었다는 의미 이다. Catechol의 보존은 absorption main factor가 보존 된다는 의미 이다. 이러한 Polydopamine-like film으로 As, Cr, Mg, Cu 200ppm solution에 대한 filtration 능력을 확인 하였다. As, Cr, Cu, Mg 의 제거율이 각각 약25%, 35%, 45%, 65%인 것을 확인 하였다. 이 수치는 시중에 판매되는 제품들과 비교했을 때 300%~500% 향상된 수치 이다.

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A Study on Plant Certification Program for Precast Concrete Products (프리캐스트 콘크리트 제품의 공장 인증 제도에 관한 연구)

  • Kim, Hyoung-Do;Lee, Sang-Sup;Park, Keum-Sung;Bae, Kyu-Woong
    • Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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    • v.18 no.6
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    • pp.131-138
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    • 2014
  • The steel structure fabrication plant certification program was enacted as a part of the construction technology management act, article 24-3, to improve the quality of steel construction after the decay falling accident of Seongsu Bridge in 1994. However, the national certification program for structural precast concrete that is a prefabricated construction products produced by casting concrete in plant is not implemented yet. So, to introduce the proper certification system for precast concrete, the quality certification programs of North America, Europe and Japan are surveyed. In North America, the organizations that manage the plant certification programs are PCI, NPCA, CPCI and so on. Sales of precast concrete elements in Europe are governed by the construction products regulation 305/2011. Therefore, CE marking is mandatory from July 2013 for all construction products including precast concrete. In Japan, precast concrete products used in civil engineering are certificated by JIS mark, product certification system and plants for manufacturing precast concrete building elements are audited by Japan Prefabricated Construction Suppliers and Manufacturers Association. Based on these survey studies, in this paper is described an adaptation of precast concrete plant certification to comport with the certification system in Korea.

A Paired Samples Test on EU Product Price lever of Korean Consumer for Before and After Korea-EU FTA Effectuation (한.EU FTA 발효 전후에 따른 한국소비자 EU제품 가격수준 차이분석)

  • Lee, Je-Hong
    • International Commerce and Information Review
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    • v.15 no.4
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    • pp.125-145
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    • 2013
  • The Korea-EU FTA will provide korea with a significant advantage in the region both international trade and consumer welfare. Under the Korea-EU FTA, increasing of bilateral trade in consumer and industrial products would become duty and most remaining tariffs would be eliminated. This article studies on EU product price level of Korean consumer for before and after Korea-EU FTA effectuation. The questionnaires are sended 1,000 samples and 780 returns, 283 of them are analyzed for a this study. This paper has there main a parts, A Paired Samples Test result shows that the EU goods price level are positively affected by Flesh-meat, Electronic device & Electric home appliances, Kitchen utensils, Fruit juice(beverage), alcoholic liquors(wine, whisky), Clothes & Fashion. However, The Clothes & Fashion does not affect in EU goods price level, the Clothes & Fashion positively affected price differential more FTA effectuation before than FTA effectuation after.

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Investigation of the Level of Microbial Contamination in the Environment for Juice Production (생딸기 주스 제조 환경에서의 미생물학적 오염도 조사)

  • Kim, Se-Ri;Shim, Won-Bo;Park, Seon-Ja;Ha, Kwang-Soo;Yoon, Hae-Suk;Ha, Sang-Do;Kim, Keun-Sung;Lee, Kyu-Ho;Kim, Min-Gon;Kim, Kwang-Yup;Kim, Cheol-Ho;Chung, Duck-Hwa
    • Korean Journal of Food Science and Technology
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    • v.37 no.2
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    • pp.287-293
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    • 2005
  • Microbial contamination levels in commercial strawberry juices were examined for sanitary indication bacteria, such as aerobic plate count (APC), coliforms, and Escherchia coli, and pathogenic bacteria such as E. coli O157:H7, Salmonella spp., Staphylococcus aureus, and Listeria monocytogenes. APC and coliform count ranged 0-5.2 and $0-2.8\;log_{10}\;CFU/(mL,\;g,\;100cm^{2},\;hand)$, respectively, and 80% strawberry juices were contaminated with E. coli and S. aureus, detected at 19%, was found in employee's hands, strawberries, and strawberry juices, whereas E. coli O157:H7, Salmonella spp, and L. monocytogenes were not detected. These results will provide microbiological information for introduction of Hazard Analysis Critical Control Point (HACCP) system in juice shops.

Revitalization Case Study Of Bamboo Industry of Damyang Province through Design Business Approach (디자인비즈니스개념적 접근을 통한 담양군 죽세산업의 재활성화방안 사례연구)

  • Kim, Myoung-Joo;Kim, Jung-Pil;Lee, Jin-Ryeol
    • Archives of design research
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    • v.18 no.3 s.61
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    • pp.75-84
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    • 2005
  • This study suggests the way of revitalization of strategic specialized industry from the perspective of design business model. In order to revitalize the regional strategic specialized industry, it is necessary to overcome traditional production-based industry structure. For the industry's side, companies should convert their traditional production-based business perspective into market-oriented or design-oriented one. For the designer's side, they need to lead the design-centered industry structure by suggesting active design sources to industries escaping from passive design development perspective. Namely, the revitalization of strategic specialized industry can be peformed by design-based and market-oriented business execution. The formation of market-oriented industry can be accomplished by designers who do their design development works with design-business perspective and play an active role in the industry system. For the suggestion of concept mentioned above, this study conceptualized the meaning of design business, and applied the concept of it to the case study for bamboo industry of Damyang province. The case study suggests the possibility that designers are able to create higher profit through various sources such as sales royalty, production royalty etc by playing an active role for design development, industry selection, business system establishment and so on. In addition, the study implies that industries can increase the possibility of business success through design-based business execution mentioned above.

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Differenciation Test on Food Safety Factor′s for Purchasing Rice (식품의 안전성요인이 쌀 구매에 미치는 차별성 검정)

  • 이순석;오상헌;이상용;박주섭;김용희
    • Food Science and Preservation
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    • v.11 no.1
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    • pp.122-125
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    • 2004
  • Factor analysis is estimated using housewives's intention data in Seoul province. Rice consumers considered safety, high nutritive value, shape and cultivation region as important factors in buying rice. The factors of food safety are brand and quality certification mark. The differences of two housewife groups on safety factor are caused by residence type, employment existence and residence region. The marketing strategies for rice containing food safety target housewives living in apartment, Gang Nam region. Also selling extension for target consumers housewives should be employed.

The Development of XML Message for Status Tracking the Importing Agrifoods During Transport by UBL (UBL 기반 수입농수산물 운송 중 상태 모니터링을 위한 XML 메시지 개발)

  • Ahn, Kyeong Rim;Ryu, Heeyoung;Lee, Hochoon;Park, Chankwon
    • The Journal of Society for e-Business Studies
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    • v.23 no.3
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    • pp.159-171
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    • 2018
  • The imported foods, which are imported and sold domestically, are on the rise every year, and the scale is expected to be larger, including processing the imported raw materials. However, the origin of raw materials is indicated when declaring cargo for finished products of agricultural products, but the standardization of inspection information management system for raw materials is insufficient. In addition, there is a growing concern about the presence of residual pesticides or radioactivity in raw materials or products, and customer want to know production history information when purchasing agrifoods. It manages the hazard analysis of imported agricultural products, but most of them are global issues such as microorganisms, residual pesticides, food additives, and allergy components, etc. Therefore, it is necessary to share among the logistics entities in the entire transportation process the related data. Additionally, to do this, it needs to design an architecture and standardize business model. In this paper, it defines the architecture and the work-flow that occurs between the business process for collecting, processing, and processing information for tracking the status of imported agricultural products by steps, and develops XML message with UBL and the extracted conceptual information model. It will be easy to exchange and share information among the logistics entities through the defined standard model and it will be possible to establish visibility, reliability, safety, and freshness system for transportation of agricultural products requiring real-time management.

Estimation Study of Incremental Profit of the Imported Buff-tailed Bumblebee, Bombus terrestris, and Pollination Alternatives (서양뒤영벌 수입과 화분매개 대체안의 증분이익 추정 연구)

  • Yang, Dongjae;Kim, Sohee;Ji, Jeong-Yeon;Lee, Heungsik;Kim, Hyojoong
    • Korean Journal of Environment and Ecology
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    • v.33 no.4
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    • pp.408-421
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    • 2019
  • This study estimated and analyzed the incremental profits to compare the imported buff-tailed bumblebees, Bombus terrestris, and their pollination alternatives. A result of the analysis showed that the incremental profit, which is defined as the sales revenue minus the common production cost, was higher when using pollinator insects than when using the artificial pollination and that the incremental costs were lower when using domestic bumblebees or artificial pollination than when using imported bumblebees or honeybees. The incremental profits of each alternative were 46,801 million won for imported bumblebees, 47,170 million won for domestic bumblebees, 46,975 million won for honeybees, and 29,839 million won for artificial pollination. The incremental profit means the accounting profit that can be realized from each alternative. However, not all of the accounting profits can be attributed to pollen-mediated alternatives since they include potential costs such as imputed rent or normal profits. Considering the opportunity costs, which are the potential costs, it appears that the alternative of using imported bumblebees can lead to an economic loss. It means that fruit and vegetable farmers can expect additional economic profits if they choose other alternatives instead of using imported bumblebees.

Transition from Linear Economy to Circular Economy (선형경제에서 순환경제로의 전환)

  • Kim, Joon Soo;Jun, Yun-Su;Jun, Jung Hyuk;Cho, Jai Young
    • Resources Recycling
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    • v.30 no.3
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    • pp.3-17
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    • 2021
  • Currently, there is a drain of natural resources, environmental contamination, generation of waste, and problems of the earth's climate by CO2 emissions according to mass production and overconsumption of mankind. It is effectuated by a linear economy that involves manufacturing products, use, and waste repeatedly; there is no guarantee in the lives of humans and the future of the globe if we do not find alternative proposals. For a sustainable developing society and to overcome the present global problems, we must successively change to a circular economy from a linear economy. The circular economy has the concept of an extended value chain in recovery, reuse, remanufacturing, and recycling, instead of discarding after the use of manufactured goods. New business models of circular economy have been realized to save the earth ecology and sustainable developing society in serious recognition of the linear economy system. New business models are established by creating a vision and developing a program, and by renovating technology, law, and financial support through a worldwide government policy.