$NH_3/N_2/SiH_4$ 유도결합 플라즈마 방전에서 중성종 및 활성종의 플라즈마 변수 의존성 분석
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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- pp.113-113
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- 2010