A Study on the Approximation analytical Model of PECVD Topography simulator considering the effect of the presheath (플라즈마 증착 형상 모의 실험기의 앞덮개 효과를 고려한 근사 해석적 모델에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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- v.36D no.1
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- pp.90-99
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- 1999