• Title/Summary/Keyword: 비윤활

Search Result 168, Processing Time 0.025 seconds

Failure analysis of a turbo molecular pump in semiconductor equipments (반도체 장비에서 터보 분자 펌프의 파손 사례 연구)

  • Jeong, Jin-Yong;Ju, Jeong-Hun;O, Sam-Gyun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
    • /
    • 2018.06a
    • /
    • pp.120-120
    • /
    • 2018
  • 반도체 소자나 디스플레이 패널 제조 공정에 가장 많이 사용되는 진공 펌프인 터보 분자 펌프는 오일을 사용하지 않고, 설치 방향이 자유로우며 넓은 작동 압력 영역을 가지고 있어서 고가임에도 불구하고 점점 더 사용 영역을 넓혀 가고 있다. 상하의 두 곳에 회전축을 지지하는 베어링이 필요한데, 기계식 금속 베어링을 채용하는 경우에는 반드시 윤활유를 공급해 주어야 하고, 고온, 부식성 또는 산화성 가스의 배기 시에는 퍼지 가스로 비활성인 질소나 알곤등을 이용하여 보호를 해주어야 한다. 반면, 자기 베어링을 채택한 모델은 윤활의 걱정에서 자유로울 수 있기 때문에 채용이 늘어나고 있다. 동일극의 반발력이나 반대극의 인상력을 이용한 구조를 갖게 되는데 갑작스러운 입구 쪽 압력의 증가 시에는 자석 끼리 부딪치는 일이 발생하고 이로 인해서 로터 모듈 전체에 큰 손상을 갖게 되므로 한 곳 정도에 비상용 터치 다운 베어링을 기계식으로 윤활제 없이 설치하기도 한다. 기본적으로 자기 베어링 방식은 로터 모듈의 부상과 제어를 위해서 3축 또는 5축 제어를 하게 되는데 여기에는 전자석의 전류를 미세하게 조정하여 피드백 하는 시스템을 활용하기 때문에 외부에서의 자기장이 일정값 이상 침투하게 되면 제어 회로의 기능에 문제를 일으키게 된다. 또한 축 방향에 수직인 자기장의 강도가 높아지면 고속으로 회전하는 금속 블레이드가 자속을 자르게 되므로 표면에 와전류가 발생하여 문제가 된다. 터보 분자 펌프는 회전자와 고정자 간격이 1 mm 이내로 작아서 약간의 진동이라도 발생하면 회전자와 고정자 간에 충돌이 일어나고 이는 곧 파손으로 이어진다. 그림 1에는 파손 원인 분석을 위한 회전자 모듈의 수치 해석용 모델의 일부를 나타내었고, 그림 2에는 실제로 외부 자기장에 의한 파손이 발생한 사례의 자기 베어링 모듈의 사진을 나타내었다. 본 발표에서는 외부 자기장의 형태에 따라 제어 자기장에 미치는 영향을 CFD-ACE+(ESI corp)를 활용하여 해석하였다.

  • PDF

A Study on the Control of Microstructures of Polyalphaolefins via Cationic Polymerization (양이온 중합을 이용한 폴리알파올레핀의 미세구조 조절에 관한 연구)

  • Ko, Young Soo;Kwon, Wan-Seop;No, Myoung-Han;Yim, Jin-Heong
    • Polymer(Korea)
    • /
    • v.39 no.2
    • /
    • pp.346-352
    • /
    • 2015
  • Polyalphaolefin (PAO) is a synthetic lubricant that is superior to mineral-based lubricants in the terms of physical and chemical characteristics such as low pour point, high viscosity index (VI), and thermal and oxidation stability. Several kinds of PAOs have been synthesized by using 1-pentene, 1-hexene, 1-octene, or 1-dodecene as monomer with three kinds of aluminum-based Lewis acid catalysts via cationic polymerization. The control of the catalytic performance and physical properties of PAO such like molecular weight, kinematic viscosity, pour point, and viscosity index was done by changing polymerization parameters. The alkyl aluminum halide-based catalysts show better catalytic activity than that of the conventional $AlCl_3$ catalyst. The microstructure of PAO was investigated by means of TOF-MS (time of flightmass spectroscopy) analysis in order to elucidate the correlation between the performances of the lubricant (VI, pour point) and the molecular structure of PAO. The VI of PAO increases with increases in the carbon number of ${\alpha}$-olefin. In other words, the performances of PAO as a lubricant strongly depended on the branch length of PAO.

Surface damage accumulation in alumina under the repeated Inclined contact forces (수직-수평 반복하중을 받는 알루미나 표면에서의 피로손상 누적)

  • 이권용;최성종
    • Proceedings of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers Conference
    • /
    • 1999.06a
    • /
    • pp.61-66
    • /
    • 1999
  • 반복 응력 상태 아래서 알루미나 세라믹의 피로 표면손상 누적현상이 분석되었다. 연속 미끄럼 접촉 시에 발생하는 응력 상태를 재현하기 위해서 동시에 작용하는 수직-수평 반복 압축하중 기법이 사용되었다. 알루미나 구와 평판의 접촉면에서 알루미나 미세 결정의 피로 파손에 의한 마모 입자 형성 기구가 관찰되었고, 반복하중의 횟수와 수직-수평 하중비가 커질수록 마모량은 증가하였다. 반복 접촉하중에 의한 표면손상 누적이 접촉 수직 변위 측정으로 정량화 되었다. 두 접촉 구조물의 강성 (하중-변위 선도의 기울기) 변화가 두 재질의 탄성계수의 변화로 표현되었다.

  • PDF

A Simplified Estimation of Stress Intensity Factor on the Hertzian Contact (혜르츠접촉하에서 응력확대계수의 간단한 계산법)

  • Jin, Song-Bo;Kim, Seock-Sam
    • Proceedings of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers Conference
    • /
    • 1999.06a
    • /
    • pp.30-37
    • /
    • 1999
  • 헤르츠 접촉하에 있는 반무한체에서의 표면균열을 살펴보았다. 시편의 응력확대계수 K를 구하기 위해 사용되는 간단화된 방법을 이 논문에 쓰여진 모델에 적용시켰다. 기존에 알려진 결과에 비해 상당히 만족스런 결과를 얻었으며 다른 방법보다 이 방법이 훨씬 더 편리함이 입증되었다.

  • PDF

Wear Assessment for Non-asbestos Friction Material against Cast Iron Drum (비석면 마찰재의 주철제 드럼에 대한 마멸 평가)

  • 한성호;이성만;신두식;김석삼
    • Proceedings of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers Conference
    • /
    • 1996.04a
    • /
    • pp.117-121
    • /
    • 1996
  • Friction and wear test for non-asbestos material against cast iron drum were carried out to investigate the friction and wear characteristics of brake system. Its friction coefficient and wear volume were measured and compared with those of asbestos friction material. The experiment. was perforated tinder room temperature and various sliding conditions. After each experiment, the sin-faces of friction materials were observed by SEM.

  • PDF

Noise Estimation of Oil Lubricated Journal Bearings (유체 윤활 저널 베어링의 소음 예측)

  • Rho, Byoung-Hoo;Kim, Kyung-Woong
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
    • /
    • v.27 no.7
    • /
    • pp.1058-1064
    • /
    • 2003
  • Noise estimating procedures of oil lubricated journal bearings are presented. Nonlinear analysis of rotor-bearing system including unbalance mass of the rotor is performed in order to obtain acoustical properties of the bearing. Acoustical properties of the bearing are investigated through frequency analysis of the pressure fluctuation of the fluid film calculated from the nonlinear analysis. Noise estimating procedures presented in this paper could aid in the evaluation and understanding of acoustical properties of oil lubricated journal bearings.

Factors for friction loss in internal combustion engines (내연기관의 마찰손실에 관여하는 제인자)

  • 김광림
    • Journal of the korean Society of Automotive Engineers
    • /
    • v.4 no.3
    • /
    • pp.10-17
    • /
    • 1982
  • 이글에서는 1. 마찰손실의 사고방식 2. 마찰손실의 내역과 제인자의 영향 1) 기계마찰에 대한 기관각부의 비율 2) 실린더 내압, 회전속도, 부하의 영향 3)윤활유점도의 영향 4) 행정/안지름비의 영향 5) 베어링축 및 오일클리어런스의 영향 6) 기관치수의 영향 7) 모우터링시와 발화운전시의 마찰손실의 비교 3. 마찰에 의한 경제적 손실 등에 관하여 알아보았다.

  • PDF

A Study on Contamination Sensitivity and Condition Monitoring for a Pump (펌프의 오염 민감도와 성능 감시에 대한 연구)

  • 이재천
    • Proceedings of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers Conference
    • /
    • 1998.04a
    • /
    • pp.124-130
    • /
    • 1998
  • A mathematical model describing gear pump flow degradation in the presense of abrasive particles is presented. The model considers the operating parameters as Sommerfeld number, so that contamination sensitivity test results could be conversed to field application to predict contamination service life. A method to estimate the volumetric efficiency and the contamination level of a pump is proposed by measuring the temperature differences in the fluid. Test results show the validity of the theoretical establishments.

  • PDF

Nonlinear Frequency Response Analysis of Hydrodynamic Journal Bearing Under External Disturbance (외란을 받는 저널 베어링의 비선형 주파수 응답해석)

  • 노병후;김경웅
    • Proceedings of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers Conference
    • /
    • 1998.04a
    • /
    • pp.241-245
    • /
    • 1998
  • The traditional approach is to characterize the behavior and performance of fluid film hydrodynamic journal bearings by means of linearized bearing analysis. The objective of this paper is to examine the nonlinear characteristics of the journal bearing when an external sinusoidal shock is given to the system. The oil film force is obtained by solving the finite width Reynolds equation at each time step by the solution of the column method. Frequency response functions obtained from both linear and nonlinear bearing simulations are compared with each other.

  • PDF

BTA공구에 의한 드릴가공시 최적절삭조건과 공구수명에 관한 연구

  • 장성규
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
    • /
    • 1996.04a
    • /
    • pp.75-79
    • /
    • 1996
  • 가공품 중에서 구멍가공이 차지하는 비율은 매우 높으며 또한 가공정밀도가 요구되어진다. 그러나구멍의 직경에 비하여 길이가 길어지면 칩의 배출, 절삭날부의 윤활이 어려워지고, 공구의 진동문제가있기 때문에 일반적인 가공으로는 불가능할 경우가 많다. 따라서 이에 적절한 가공방법은 고압력의 절삭유를 공급할 수 있는 공구를 이용하여 가공할 수 있으며, 그 대표적인 방법으로는 Spade Drill, Gun Drill, 및 BTA Dill에 의한 깊은구멍가공봅이다. 본 연구에서는 Single Tube BTA 드릴링 시스템에서 Single Edge BTA Drill을 사용 하여 깊은 구멍을 가공할 때 공작물 SM55C의 최적절삭 조건의 선정과 공구수명에 대하여 실험을 통하여 분석 하고자 하였다.

  • PDF