• Journal of Korean Society of Water and Wastewater
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• v.19 no.2
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• pp.125-134
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• 2005

Waste concrete powder was used to remove fluoride ions in highly concentrated fluoride wastewater. 92.6% of fluoride in 100 mg F/L wastewater was removed by 1% dose of the cement paste powder that represents characteristics of waste concrete powder, whereas the removal efficiencies of raw cement and lime were 47.3% and 96.4%, respectively. The cement paste powder was competitive to lime, common fluoride removal agent. Various Ca-bearing hydrates such as portlandite, calcium silicate hydrate, and ettringite in cement paste slurry can remove fluoride by precipitating $CaF_2$ and absorbing $F^-$ ions. In the experiments using both cement paste and lime, 50~67% of lime can be substituted by cement paste to satisfy fluoride effluent limitation of 15 mg/L. Since cement paste has higher acid neutralization capacity than lime, it can be recycled to neutralize more acid and to remove more fluoride. Therefore waste concrete powder can be more economical and viable alternative for lime in fluoride wastewater treatment.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.3 no.1
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• pp.50-54
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• 1992

Maskless depositon of copper onto n-doped and p-doped Si in an aqueous copper sulfate solution is investigated. On p-doped Si substrates, microscopic $(~10\mu\textrm{m}$) copper spots are deposited by illuminating continuous wave $Ar^+$ laser beam of wavelength 514.5 nm. Copper deposition on n-doped Si substrates is also achieved by shinning second harmonic pulses $(pulse width~25 nsec, \lambda=530 nm)$ of a passively Q-switched Nd:YAG laser. The observed deposition is attributed to the electric field resulting from the Galvanic potential of a semiconductor-electrolyte junction.

• Clean Technology
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• v.10 no.1
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• pp.47-51
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• 2004

현재 반도체 공정에서 사용되는 세정기술은 대부분이 1970년대 개발된 RCA 세정법인 과산화수소를 근간으로 하는 습식 세정으로, 표면의 입자를 제거하기 위한 SC-1 세정액은 강력한 산화제인 과산화수소에 의한 표면과 입자의 산화와 암모니아에 의한 표면의 에칭이 동시에 일어나 입자를 표면으로부터 분리시킨다. 금속 불순물을 제거하기 위한 SC-2 세정액은 염산과 과산화수소 혼합액을 사용하며 금속 불순물을 용해시켜 알칼리나 금속 이온을 형성하거나 용해 가능한 화합물을 형성시켜 제거한다. 또한 황산과 과산화수소를 혼합한 Piranha 세정액은 효과적인 유기물 제거제로서 웨이퍼에 오염된 유기물을 용해 가능한 화합물로 만들거나 과산화수소에 의해 형성되는 산화막내에 오염물을 포함시켜 불산 용액으로 산화막을 제거할 때 함께 제거된다. 최근 금속과 산화막을 동시에 제거하기 위해 희석시킨 불산에 과산화수소를 첨가한 세정공정이 사용되고 있으며 불산에 의해 표면의 산화막이 제거될 때 산화막내에 포함된 금속 불순물을 동시에 제거시킬 수 있다. 그러나 이와 같이 습식세정액 내에 공통적으로 포함되어 있는 과산화수소의 분해는 그만큼 가속화되어 사용되는 화학 약품의 양이 그만큼 증가하게 되고 조작하기 어려운 단점도 있다. 이를 해결하기 위해 환경친화적인 관점으로 화학약품의 사용을 최소화하는 등 RCA세정을 보완하는 연구가 계속 진행되고 있다. 본 연구에서는 RCA세정법을 환경적으로 대체할 수 있는 세정에 사용되는 전리수의 pH변화에 따른 전리수 분석을 하였다. 전리수의 제조를 위하여 전해질로는 NH4CI (HCI:H2O:NH4OH=1:1:1)를 사용하였다. pH 11 이상, ORP -700mV~-850mV인 환원수와 pH 3 이하, ORP 1000mV~1200mV인 산화수를 제조하였으며, 초순수를 첨가하여 pH 7.2와 ORP 351.1mV상태까지 조절하였다. 이렇게 만들어진 산화수와 환원수를 시간 변화와 pH 변화에 따라 Clean Room 안에서 FT-IR과 접촉각 측정기로 실험하였다. FT-IR분석에서 산화수는 pH가 높아질수록, 환원수는 낮아질수록 흡수율이 낮아졌다. 접촉각 실험에서는 산화수의 pH가 높아질수록 환원수의 pH가 낮아질수록 접촉각이 커짐을 확인하였다. 결론적으로 전리수를 이용하여 세정을 하면, 접촉성을 조절할 수 있어 반도체 세정을 가능하게 할 수 있으며, 환경친화적인 결과를 도출할 것으로 전망된다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.55 no.1
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• pp.48-53
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• 2017

Since the number and the amount of toxic substances handled by domestic companies have been increased, the possibility of serious chemical accidents has become severe. According to Chemistry Safety Clearing-house (CSC), the number of chemical accidents for the last five years has been rapidly raised. A representative example which shows the serious impact of a chemical accident is HF (Hydrogen Fluoride) accident generated in Gumi in 2012. In order to make effective responses for mitigating losses of accidents, the most suitable consequence model has to be selected and implemented throughout the considerations of chemical properties and environments. Even if each consequence model has been verified by the results of experiments, it is necessary to analyze and compare the usability of them according to various scenarios. In this study, the Gumi HF accident is simulated by HGSYSTEM, which is the most specialized model for the release and dispersion of HF. It is found that the ending point of ERPG-2 is about 1 km from the accident point. In order to investigate the usability of the most representative consequence models (ALOHA and CARIS), the results of them are compared with one of HGSYSTEM.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.5 no.3
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• pp.284-290
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• 1995

다공성 실리콘의 기공은 n형 실리콘의 경우 기판에 수직으로 성장하여 이는 큰 곡률을 가지는 기공 끝 부분에서의높은 전기장에 의한 tunneling 기구로 설명된다. 본연구에서는 불산 수용액에서 전기화학적인 방법으로 다공성 실리콘을 제조할 때 n형 단결정 실리콘 기판과 전해질 용액의 계면에서의 전압 분포를 Poisson식에 의하여 수치적으로 계산하였다. 이 전압 분포로 기공 벽에서의 전기장 세기 및 전류 세기를 구하여 기공이 기판에 수직으로 성장하는 것을 설명하였다. 기공 사이의 거리는 고갈층의 두께에 의하여 결정되며, 고갈층의 두깨를 계산하여 그 원인에 대해서도 고찰하였다.

• Proceedings of KOSOMES biannual meeting
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• 2003.11a
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• pp.203-212
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• 2003

천혜의 자연조건을 갖춘 목포항을 세계적 미항으로 가꾸기 위한 운동과 과업이 전개되고 있다. 이미 목포항 주변에 대불산업단지가 위치하고 있으며 영산강 하구둑이 건설되어 있다. 최근에는 남악신도시가 건설 중이고, 목포-고하도 연육교 건설이 계획되고 있어서 목포항 미관 조성에 시민의 참여와 관심이 요구되고 있다. 그래서 천혜의 목포항을 세계적 수준의 아름다운 항구로 가꾸기 위한 목포시민의 실천방안을 제시하고자 한다. 이를 위하여 먼저 목포시의 $\ulcorner$미항 목포 개발 마스터플랜$\lrcorner$ 계획을 검토하고 시민을 대상으로 설문조사를 통하여 시민의 참여 의식 수준을 확인한 후, 이를 바탕으로 시민실천방안을 도출하였다.

• Proceedings of KOSOMES biannual meeting
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• 2003.11a
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• pp.213-217
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• 2003

천혜의 자연조건을 갖출 목포항을 세계적 미항으로 가꾸기 위한 운동이 전개되고 있다. 이미 대불산업단지가 목포항 주변에 위치하고 있으며 영산강 하구둑이 건설되어 있다. 최근에는 남악신도시가 건설 중이고, 목포-고하도 연육교 건설이 계획되고 있어서 목포항 미관 조성과 환경보전에 시민의 참여와 관심이 모아지고 있다. 그래서 천혜의 목포항을 세계적 수준의 아름다운 항구로 가꾸기 위한 목포시민의 환경보전 실천방안을 제시하고자 한다. 이를 위하여 먼저 $\ulcorner$희망찬 미항 목포 가꾸기 운동$\\lrcorner$ 을 검토하고 시민을 대상으로 환경설문조사를 통하여 시민의 환경의식 수준을 확인한 후, 이를 바탕으로 환경보전 시민실천방안을 도출하였다.

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2001.11a
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• pp.149-150
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• 2001

질산, 인산, 불산을 페수처리한 슬러지를 가열함에 따라서 아파타이트 결정으로 발달하는 과정을 살펴보면 질산칼슘의 분해에 따라서 아파타이트가 생성되지만 HF는 분해되지 않고, 결정내에 잔류하고 있다는 것을 알 수가 있다. 따라서 $900^{\circ}C$에서 2시간 소성한 아파타이트를 물에 용출시킬 대 HF가 용출되어 나오므로 그 사용에 제한이 되고 있다. 이러한 현상을 방지하고, 양론적인 아파타이트를 제조하기 위하여 인산 이온을 흡착 시키고 $900^{\circ}C$에서 2시간 소성한 결과 불소이온은 대폭적으로 감소되었고, Ca/P의 몰비는 양론적인 1.67에 근접하였고, 이 조건에서 합성한 아파타이트는 중금속의 흡착, 인 및 COD의 흡착, 제거율이 우수하였다.

• Proceedings of the KGS Conference
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• 2004.05a
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• pp.42-42
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• 2004

습지는 각종 영양물질의 원천지(source), 저장지(sink), 혹은 변환지(transformer)의 역할을 한다. 습지 역할의 차이는 습지의 유형이나 수문조건, 그리고 습지에 특정 물질이 영향을 주는 시간에 의하여 다르게 나타날 수 있고, 습지에 인접한 주변 환경과의 관계에 의하여 다르게 나타날 수 있다. 현재 국내에 보고된 산지습지 대해서는 이러한 역할에 대한 논의가 부족하고, 타 습지에 비해 산지습지의 지화학적인 특성에 대한 연구가 부족하다. (중략)

• The Safety technology
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• no.200
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• pp.16-17
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• 2014

구미 불산누출 사고 이후로 화학물질로 인한 누출, 폭발 화재사고 등 중대산업사고가 빈발하면서 화학사고가 안전보건계의 주요 이슈로 급부상했다. 단 한 번의 사고로도 엄청난 인명과 재산 피해가 발생한다는 것을 국민 모두가 체감했기 때문이다. 그만큼 중대산업사고 예방업무를 진두지휘하고 있는 '중대산업사고예방센터(이하 중방센터)'에 대한 관심은 그 어느 때보다 높을 수밖에 없는 것이다. 이에 박형수 수도권 중대산업사고예방센터 센터장을 만나 그동안의 활동성과와 앞으로의 계획에 대한 이야기를 나눠 봤다.