• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.46-46
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• 2010

고진공펌프 중의 하나인 터보분자펌프(turbo-molecular pump: TMP)는 반도체/디스플레이 등 첨단 공정에서 진공 환경을 조성하는 핵심장비로서 현재 한국표준과학연구원 진공기술센터에서 개발 중인 고진공펌프 종합특성평가시스템을 구축 중이며, 1000 L/s 및 2500L/s 배기속도 용량을 가지는 터보분자펌프(TMP)의 database를 구축하고 있다. 이에 터보분자펌프(TMP)의 배기속도 측정 시 사용되는 가스의 분자류 영역에 따른 배기속도의 변화를 연구하고자 한다. 터보분자펌프(TMP)의 배기속도는 분자류 영역에 따라 상이한 배기속도를 가진다. 특히 가벼운 분자들은 터보분자펌프(TMP)로 배기시키기 어려우며, 분자량이 작은 가스들은 분자량이 큰가스 분자들에 비해 압축비(compression ratio)도 작아진다. 압축비가 큰 경우에는 실재 운전조건에 무관하게 배기속도가 최대값을 가지지만, 압축비가 작을 경우에는 운전 시 터보분자펌프(TMP)의 압축비에 따라 배기속도가 달라 질 수 있으며, 압축비는 펌프의 inlet에서의 압력과 exhaust에서의 압력의 비이다. 즉, 가벼운 기체 분자(H2, He 등)들은 무거운 기체 분자(N2, Ar 등)들에 비해 배기속력이 작아진다. 현재 개발 중인 한국표준과학연구원 진공기술센터의 고진공 종합특성평가시스템을 이용하여 분자류 영역에 따른 가벼운 기체 분자와 무거운 기체 분자의 배기속도를 측정하여 분자류 영역에 따라 상이한 배기속도의 변화를 연구하고자 한다. 본 논문에서는 터보분자펌프(TMP)의 분자류 영역에 따른 가벼운 기체 He과 무거운 기체 N2를 사용하여 압축비의 변화와 배기속도 측정에 관해 상관관계를 제시하며, 분자류 영역에 따른 터보분자펌프(TMP)의 배기속도 운전성능을 제시하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.167-167
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• 2011

한국표준과학연구원에서는 국제표준화기구에서 제정한 국제규격(ISO, PNEUROP, DIN, JIS, AVS 등)에 기반을 둔 터보분자펌프의 특성평가시스템을 자체적으로 설계/제작 하였고, 터보분자펌프 1,000 L/s 급의 Database를 구축하였다. 이것을 토대로 특성평가시스템의 신뢰성 확인과 Feedback을 통한 시제품 개발 및 평가지원을 위해 터보분자펌프 2,500L/s 급의 Database를 구축한다. 터보분자펌프의 배기성능을 나타내는 가장 중요한 항목인 배기속도는 분자류 영역에 따라 상이한 가스($N_2$, He)를 사용하여 Throughput method와 Orifice method 두 가지 방법을 병행하여 측정한다. 측정함에 있어서 측정게이지, 유량계 및 Orifice conductance의 불확도에 의하여 배기 속도에 많은 측정오차를 포함하고 있다. 측정 오차를 줄이기 위하여 1% 이상의 안정성과 4%의 오차만을 허용하는 자전 회전자게이지(SRG)와 $10^{-3}$ mbar-L/s 영역까지의 유량 주입범위를 가지는 불확도 ${\pm}$3%의 정적형 유량시스템(CVFM)을 사용하였다. Orifice method의 경우 고진공영역으로 진입할수록 커질 수밖에 없는 배기속도 측정 불확도를 최소화하기 위해 검증된 유량을 이용한 Conductance 값을 제시하여 두 방법에서 얻은 배기속도의 불연속적인 문제를 해결한다. 본 연구에서는 2,500 L/s 급 터보분자펌프는 무거운 기체 $N_2$와 가벼운 기체 He을 사용하여 압축비의 변화와 분자류 영역에 따른 배기속도 변화를 연구하고, 2,500 L/s 급 터보분자펌프의 측정능력을 검증한다. 차후에 배기속도뿐만 아니라 소비전력, 소음, 진동, 온도 등의 특성평가의 전반적인 사항을 평가하여 터보분자펌프 2,500 L/s 급의 database를 완비해간다. 터보분자펌프 특성평가시스템을 사용한 1,000 L/s 급과 2,500 L/s 급 특성 Data를 비교, 분석하여 신뢰성 파악 및 표준화 방안을 개발하고, 고진공펌프 개발 주체와의 feedback 지원 기능의 infra를 구축한다.

• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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• v.18 no.1
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• pp.32-38
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• 1993

In this paper a effective classification method for character recognition is proposed. The existing classification methods select candidates by comparing an unknown input character, with all the standard patterns based on the similarity measur. The proposed method, however, groups similiar characters together and uses their average distance as representative value of the group. We divided the character region into several sub-region and applied ISODATA algorithm to partial vectors of each sub-region to anstruct appropriate number of groups. After computing the distance between partial feature vector and its mapping group, we could collect all the information of input character ultimately. The proposed method showed improvement in the processing speed and certainty in classification than the existing methods.

• Electronics and Telecommunications Trends
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• v.21 no.5 s.101
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• pp.119-128
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• 2006

밴드구조 엔지니어링과 분자선 에피택셜 성장법에 의해 실현된 양자종속레이저는 유럽, 미국을 중심으로 활발한 연구가 진행되고 있으며, 눈부신 발전을 거듭해왔다. 최근, 중적외선 영역에서의 실온 연속 레이저 발진과 테라헤르츠 영역에서 파장이 약 $100\mum$를 넘는 레이저 발진이 실현되어 큰 주목을 끌고 있다. 본 고에서는 발광층 디자인을 중심으로 양자종속레이저의 원리 및 성능에 대하여 소개한 후, 이 분야에 있어서 지금까지 이루어진 기술적인 약진에 대하여 기술한다.

• Journal of computational fluids engineering
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• v.1 no.1
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• pp.142-149
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• 1996

이차원 노즐을 통하여 저밀도 환경으로 팽창하는 희박류의 분석에 있어서 불연속좌표법과 결합된 유한차분법(finite-difference method coupled with the discrete-ordinate method, FDDO)과 직접모사법(direct-simulation Monte-Carlo method, DSMC)이 비교되었다. FDDO를 이용한 분석에서는 충돌적분모델을 도입하여 간단해진 볼츠만식(Boltzmann equation)이 불연속좌표법을 이용하여 물리적 공간에서는 연속이나 분자속도 공간에서는 불연속좌표로 표시되는 편미분방정식군으로 변환되어 유한차분법에의하여 수치해석 되었다. 직접모사법에서는 분자모델로 가변강구모델(variable hard sphere model, VHS)이, 충돌샘플링모델로는 비시계수법(no time counter method, NTC)이 채택되었다. 전혀 다른 두 가지 방법에 의한 노즐 내부에서의 유체흐름 해석결과는 매우 잘 일치하였으며, 노즐 외부의 plume 영역에서는 FDDO에 의한 해석결과가 직접모사법에 의한 해석결과에 비하여 약간 느린 팽창을 보였다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.19 no.4
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• pp.249-255
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• 2010

Methods of the characteristics evaluation of turbo-molecular pumps (TMP) are well-defined in the international measurement standards such as ISO, PNEUROP, DIN, JIS, and AVS. The Vacuum Center in the Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS) has recently designed, constructed, and established the integrated characteristics evaluation system of TMPs based on the international documents by continuously pursuing and acquiring the reliable international credibility through measurement perfection. The measurement of TMP pumping speed is normally performed with the throughput and orifice methods dependent on the mass flow regions. However, in the UHV range of the molecular flow region, the high uncertainties of the gauges, mass flow rates, and conductance are too critical to precisely accumulate reliable data. In order to solve the uncertainty problems of pumping speeds in the UHV range, we introduced a SRG with 1% accuracy and a constant volume flow meter (CVFM) to measure the finite mass flow rates down to $10^{-1}$ Pa-L/s with 3% uncertainty for the throughput method. In this way we have performed the measurement of pumping speed down to $10^{-4}$ Pa with an uncertainty of less than 6% for a 1000 L/s TMP. In this article we suggest that the CVFM has an ability to measure the conductance of the orifice experimentally with flowing the known mass through the orifice chambers, so that we may overcome the discontinuity problem encountering during introducing two measurement methods in one pumping speed evaluation sequence.

• Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering
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• v.8 no.2
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• pp.219-229
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• 1996

In the free molecular flow range, the pumping performance of a turbomolecular pump has been predicted by calculation of the transmission probability employing the integral method and the test particle Monte-Carlo method. The velocities of molecules incident upon a moving blade are given by the random numbers, which are sampled from the Maxwell molecular velocity distribution function. The present results agree quantitatively with the previous known numerical results. For a multi-stage pump, the velocity profile of molecules between two blade rows is not Maxwell distribution. In this case, the Monte-Carlo method is employed to calculate the overall transmission probability for the entire set of blade rows. When the results of the approximate method combining the single stage solutions are compared with those of the Monte-Carlo method for the pump having six rows at C=0.6, the approximate method overestimates as much as 36% in the maximum compression ratio and 19% in the maximum pumping speed than does the Mote-Carlo method.

• The Sea:JOURNAL OF THE KOREAN SOCIETY OF OCEANOGRAPHY
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• v.24 no.2
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• pp.236-248
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• 2019

We investigated occurrence and molecular phylogeny of the toxic epiphytic dinoflagellate Ostreopsis at seven sampling sites in the coastal waters off Jeju Island of Korea in April, 2017. During the sampling period, surface water temperature ranged from 15.7 to $18.3^{\circ}C$ and salinity was relatively constant, ranging from 33.4 to 34.9. Of a total of 13 macroalgal species collected from all sampling sites, Ostreopsis cells were observed from 8 macroalgal species and the highest cell abundance ($157.5cells\;g^{-1}$) was recorded on the red alga Grateloupia filicina at St. 6. LSU rDNA D8/D10 sequences of all Korean Ostreopsis strains isolated from the 4 sampling sites were 100% identical. Molecular phylogentic analyses (BI and ML) inferred from LSU rDNA alignment showed that the Korean Ostreopsis strains placed into the previously described the Ostreopsis sp. 1 clade, which contained strains isolated from the temperate coastal waters of Japan. The Korean Ostreopsis sp. 1 strain grew in a wide range of temperature ($10-30^{\circ}C$) and salinity (25-30), with its maximum growth rate of $0.49d^{-1}$ at $25^{\circ}C$ and salinity of 30, indicating that they can be tolerated in temperate areas.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.48 no.2
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• pp.224-231
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• 2010

In GvdW EOS, a recently presented paper, shows that the characteristic status for spherical non-linear particle, of which the mutual behavior is known to be vdWf(van der Waals force) only, could be described well enough in the critical region. However, in current papers, analysis has not been done on GvdW about whether it is accurate or not, even for the particles in the linear form or those with the additional mutual behavior such as static-electricity, so there's some argument about the wide use of that. Therefore, in this paper, for the simulation in the critical region of Normal-alkane group(R=methane, ethane, propane, butane) which are the particles that has a linear charateristic and Normal-amine group($RNH_2$, R=methyl-, ethyl-, propyl-amine) where static-electricity is extremely shown, GvdW parameter values about these particles are defined, and based on this simulation, we compared results to the current EOS presented recently, and analyzed them. Through the simulation, it was shown that in case of Normal-alkane group and Normal-amine group molecules, GvdW presents an accurate critical region characteristic which is far more close to the measurement compared to current EOSs. Especially for butane with big amount in molecules, we found out that only GvdW EOS can reach close enough to the critical point.

• Journal of the Korean earth science society
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• v.31 no.4
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• pp.370-377
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• 2010

In this study, we investigated the kinematical properties of the L1521F-IRS in Taurus region using HCN (J=1-0) molecular line. The high resolution mapping has carried out by $5{\times}5$ point observations covering $3.7'{\times}3.7'$ area using a 12-m telescope of Arizona Radio Observatory in Tucsan, USA. L1521F which harbors the faint infrared L1521F-IRS, displayed a strong central concentration of integrated intensity in HCN without serious molecular depletion. It showed a symmetric kinematical structure with the opposite infall motion in either side of the central cores. It is a direct evidence of bipolar outflows in the core of L1521F.