• 제목/요약/키워드: 분위기 가스

검색결과 467건 처리시간 0.022초

200℃의 저온에서 PECVD 기법으로 성장한 SiNx 박막의 열처리에 따른 광학적 특성 변화 규명 (Optical Properties of SiNx Thin Films Grown by PECVD at 200℃)

  • 이경수;김은겸;손대호;김정호;임태경;안승만;박경완
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제20권1호
    • /
    • pp.42-49
    • /
    • 2011
  • $SiN_x$ 박막을 $200^{\circ}C$의 저온에서 $SiH_4$ 가스의 흐름 비율을 바꾸어 가며 PECVD 기법으로 성장하였다. 시료의 광 특성을 규명하기 위하여 상온 광 발광 스펙트럼을 측정하였다. 성장 시 $SiH_4$ 가스의 흐름 비율이 증가함에 따라 시료의 발광 최대치 파장이 장파장으로 이동하였으나, $SiH_4$ 가스의 흐름 비율과 무관하게 모든 시료에서 1.8, 1.9, 2.2, 2.4, 그리고 3.1 eV 에너지의 발광 현상을 관찰하였다. $N_2$, $H_2$, 그리고 $O_2$ 가스 분위기에서 후열처리를 거친 후, 발광 스펙트럼의 변화를 조사하였다. 열처리 후의 발광 세기는 증가하였고, 특히, $H_2$$O_2$가스 열처리로 인하여 발광 최대치 파장이 단파장으로 이동하였으나, 특정한 파장에서 발광효과는 여전히 존재하였다. 발광 메카니즘에 대하여, $SiN_x$ 박막의 에너지 갭 내에 Si와 N 원자의 비결합 결함에 의한 에너지 준위 모델을 설정하였고, 이 에너지 준위의 천이에 의한 발광으로 이해하였다. 그리고 저온에서 성장한 $SiN_x$ 박막의 발광 효과는 앞으로 구부러짐이 가능한 Si 계 광소자 개발 가능성을 보여주고 있다.

사탕수수 부산물의 반탄화 특성에 관한 연구 (Study on Torrefaction Characteristics of Baggase)

  • ;김원태;엄태인;오세천
    • Korean Chemical Engineering Research
    • /
    • 제52권5호
    • /
    • pp.672-677
    • /
    • 2014
  • 반탄화는 $200{\sim}300^{\circ}C$의 불활성분위기에서 바이오매스를 전처리하는 열처리공정이며 이러한 반탄화 공정은 바이오 매스에 함유된 섬유질성분의 분해온도에 크게 영향을 받은 것으로 알려져 있다. 본 연구에서는 사탕수수 부산물의 반탄화 특성에 관한 연구를 수행하였으며 반탄화 온도 및 반탄화 시간에 따른 에너지 수율, 발열량 및 발생가스 그리고 가연분과 회분의 관계에 중점을 두었다. 또한 본 연구에서는 TGA(Thermogravimetric Analyzer)를 이용한 사탕수수 부산물의 반탄화 반응에 대한 활성화 에너지의 변화도 함께 고찰하였다. 본 연구로부터 반탄화 온도에 따라 회분 및 발열량은 증가하였으나 가연분 및 에너지 수율은 감소하였으며 또한 산소성분을 함유한 일산화탄소가 탄화수소 화합물, $C_xH_y$ 보다 더 낮은 온도에서 분해되기 시작하는 것을 확인할 수 있었다.

Co(III)/Co(II) 및 Fe(III)/Fe(II) 산화환원계에 의한 에텔렌글리콜의 연속 매개전해 산화 (Continuous Mediated Electrochemical Oxidation of Ethylene Glycol by Co(III)/Co(II) and Fe(III)/Fe(II) Redox Systems)

  • 김익성;박승조
    • 공업화학
    • /
    • 제16권5호
    • /
    • pp.635-640
    • /
    • 2005
  • 매개전해산화는 저온과 저압 분위기에서 수용액 중에 존재하는 유기물을 전기화학적으로 산화하는 과정이다. 이 공정은 유해 유기물을 함유한 폐물처리에 사용할 수 있는 좋은 공법중의 하나이다. 이 논문은 Fe(III)/Fe(II)나 Co(III)/Co(II) 산화환원계를 이용하여 질산용액 중에서 에틸렌글리콜의 매개전해 산화에 관한 연구를 하였다. 이 논문에서는 에틸렌글리콜을 매개전해 산화시 전류밀도, 지지전해질 농도, 체류시간, 제거효율 등을 검토하였다. 매개전해산화시 에틸렌글리콜의 제거효율은 Fe(III)/Fe(II) 산화환원계보다 Co(III)/Co(II) 산화환원계가 우수하였고 매개전해산화 제거효율은 100%이었다. 에틸렌글리콜을 시료로 하였을 경우 좋은 수율로 탄산가스가 생성됨을 관찰할 수 있었다.

졸겔 합성에 의한 LiFeO2분말의 Mossbauer 연구 (Mossbauer studies of LiFeO2 powders by sol-gel process)

  • 안성용;김철성
    • 한국자기학회지
    • /
    • 제14권2호
    • /
    • pp.71-75
    • /
    • 2004
  • $\alpha$-LiFe $O_2$ 분말을 졸겔법을 이용하여 제조하였다. 결정학적 및 자기적 성질을 x-선 회절분석기, Mossbauer 분광기 및 진동형시료자화율측정기를 이용하여 연구하였다. $600^{\circ}C$에서 3시간 동안 공기 중에서 열처리하여 제조한 시료는 $\alpha$-LiFe $O_2$+LiFe $O_{8}$의 혼상으로 이루어졌으며 $600^{\circ}C$에서 3시간 동안 $H_2$(5%)/Ar(Bal.)혼합가스 분위기에서 열처리 한 시료는 $\alpha$-LiFe $O_2$ 상임을 확인할 수 있었다. X-선 회절분석 결과 $\alpha$-LiFe $O_2$ 분말은 cubic구조를 가졌으며 이때 격자상수 a=4.1930$\pm$0.0005 $\AA$이었다 Mossbauer 스펙트럼 분석결과 $\alpha$-LiFe $O_2$의 Neel온도는 130$\pm$3K임을 알 수 있었다.

Fe/Co다층박막의 연자기적 성질 (Soft Magnetic Properties of Fe/Co Multilayer Films)

  • 김택수;임영언;김종오
    • 한국재료학회지
    • /
    • 제4권8호
    • /
    • pp.952-957
    • /
    • 1994
  • RF & DC magnetron sputtering장치를 이용하여 Ar과 $Ar+N_{2}$혼합가스분위기에서 Fe/Co및 Fe-N/Co-N다층막을 각각 제조하였다. 제작된 다층막을 $100^{\circ}C$ ~ $500^{\circ}C$로 각각 1시간씩 열처리하였다. Fe막의 두께와 열처리 온도에 따른 Fe/Co다층막의 포화자화와 보자력을 측정하고, 투자율을 조사하였다. Fe/Co(70$\AA$/15$\AA$)다층막에서 포화자화는 1.8Oe이다. 보자력은 열처리 온도 $250^{\circ}C$까지는 일정한 값(1.8Oe)을 가지나. $250^{\circ}C$ ~ $300^{\circ}C$에서는 약간 증가하고, $300^{\circ}C$이상에서는 갑자기 증가한다. 질소 유량비($N_{2}/Ar+N_{2}$)가 4%인 조건에서 제작한 Fe-N/Co-N 다층박막의 보자력은 5Oe이고, 열처리 온도가 증가함에 따라 감소하다가 $250^{\circ}C$에서 최소값, 2Oe를 나타내고 그 이상의 온도에서 급격히 증가한다.

  • PDF

기계적 합금화에 의한 (V, Fe)-N계 비정질 합금의 제조 및 구조변화 (Mechanical alloying effect and structural observation of (V, Fe)-N amorphous alloy powders)

  • 이충효;전성용;김지순
    • 한국결정성장학회지
    • /
    • 제14권4호
    • /
    • pp.129-134
    • /
    • 2004
  • 본 연구에서는 기계적 합금화(MA)에 의한 고상-기상반응에 있어서 질소원자가 V-Fe계 합금의 비정질화에 미치는 영향을 조사하였다. 유성형 볼밀을 사용하여 $V_{70}Fe_{30}$혼합분말을 질소가스 분위기 중 MA 처리하였다. 그 결과 160시간 MA 처리에 의하여 비정질상이 생성됨을 알 수 있었다. 160시간 동안 MA 처리한 ($V_{70}Fe$_{30}$)_{0.89}N_{0.11}$ 분말시료의 열분석 결과 약 $600^{\circ}C$에 비정질상의 결정화에 의한 발열 peak가 관찰되었다. 또한 bcc 결정에서 비정질상으로의 구조변화 과정을 X선 및 중성자 회절법을 통하여 조사하였으며, 특히 중성자회절에서는 V원자의 중성자에 대한 간섭성 핵산란진폭이 매우 작은 특징을 이용하였다. 그 결과, 이 합금계에서의 비정질화는 모든 결정구조에서 전형적으로 존재하는 8면체 unit가 우선적으로 붕괴되어 4면체 unit로 변환되어 가는 과정임을 알 수 있었다. 또한 중성자 회절에 의한 구조해석 결과 질소원자는 V원자로 이루어진 다면체의 중심에 위치하고 있음을 알 수 있었다.

Mong Hsu산 천연루비의 색상 개선 (The color enhancement of natural ruby produced from Mong Hsu)

  • 박춘원;김판채
    • 한국결정성장학회지
    • /
    • 제14권6호
    • /
    • pp.290-297
    • /
    • 2004
  • 가열과 가스 확산을 동시에 이용한 열처리에 의해 어두운 청색에서 거의 검은색에 가까운 colored patch를 가지고 있는 Mong Hsu산 천연루비의 색상개선을 행하였다. 열처리 조건은 산화분위기하 1400~$1600^{\circ}C$의 온도 범위에서 12시간이었다. 이와 같은 조건에서 Mong Hsu산 천연루비의 colored patch는 제거되었으며, 그 결과 선명한 적색을 나타내었다. EPMA 결과로부터 청색에서 거의 검은색에 가까운 colored patch를 나타내는 부분은 $Fe^{2+}$$Ti^{4+}$ 의 전하 이동에 의해 나타나는 것을 알았다. 이 결과는 열처리 후 청색 또는 검은색의 colored patch를 유발시키는 $Fe(Fe^{2+}{\;}또는{\;}Fe^{3+})$$Ti^{4+}$ 이온의 함량이 처리전과 비교해 감소한 XRF 결과와 일치한다. XPS 분석결과로부터 루비를 $1700^{\circ}C$ 이상의 고온에서 처리하면 Mong Hsu산 천연루비의 표면에 생성되는 실크는 루틸 상의 $TiO_2$ 재결정화에 의한 것임을 알 수 있었다.

쿨비즈 복장에 의한 생리적 반응 측정과 주관적 감각평가 (Measurement of physiological response and estimation of subjective sensation with cool biz)

  • 강누리;이지연;나영주
    • 한국감성과학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국감성과학회 2009년도 추계학술대회
    • /
    • pp.236-238
    • /
    • 2009
  • 에너지 절약차원에서 냉방을 줄여 지구온난화 방지에 일조하고자 여름철에 가벼운 차림의 의복을 권장하는 쿨비즈 캠페인이 시작되었으나 이의 정량적인 효과를 분석하는 연구가 미흡하였다. 본 연구에서는 여름철 온실가스 줄이기 및 직장인 등의 건강증진 등을 위하여 기후복장 적응형에 대한 범국민 인식 및 실천 필요를 바탕으로, 실험을 통해 쿨비즈에 의한 생리적 반응 측정 및 주관적 감각평가를 실시하였다. 1 차실험은 두 복장(전통의복,기후의복)의 피부온 측정실험으로, 환경온 25, $27^{\circ}C$, 상대습도 50% RH 에서 20 대 성인남성 4 명을 대상으로 실험을 하였다. 피험자는 심신을 안정할 수 있도록 30 분간의 안정기를 가진 후에 60 분 동안 실험을 하였으며, 사무실 내 작업환경과 같은 분위기 조성을 위해 편안하게 의자에 앉아 가벼운 대화나 컴퓨터 워드작업 및 설문을 응할 수 있도록 피험자 앞 책상 위에는 노트북을 설치해 두었고, 실험 진행기간 동안 피부온, 직장온, 습도, 발한량, 열화상 카메라, 온열감, 습윤감, 쾌적감 등과 같은 주관적 감각을 측정하였다. 2 차 실험은 동일 피부온 발현하는 환경온 찾기로 기준온도($27^{\circ}C$)에서 전통복장을 입고 온도를 점진적으로 하강시키면서 $27^{\circ}C$ 기후 복장을 입은 상태의 피부온도와 동일해지는 실내온도를 측정한다. 착의 형태에 따른 피부온도 변화에서 환경온도 $25^{\circ}C$ 전통의복 기후의복에 의한 피부온도의 차이는 전통의복이 최소 0.3~최대 $1.6^{\circ}C$ 더 높게 나타났으며, 환경온도 $27^{\circ}C$에서 전통의복 기후의복에 의한 피부온도의 차이는 대체적으로 전통의복이 최소 0.4~최대 $1.0^{\circ}C$ 더 높게 나타났다. 주관적 감각평가에서도 기후의복보다 전통의복에서 온열감 습윤감 불쾌감이 더 높은 경향을 보였다. 주관적 감각으로는 $25^{\circ}C$ 전통의복과 $27^{\circ}C$ 기후의복에서 중립적인 느낌을 나타냈다.

  • PDF

Investigation of plasma effect for defect-free nitrogen doping of graphene

  • 이병주;정구환
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
    • /
    • pp.211.2-211.2
    • /
    • 2016
  • 그래핀은 본연의 우수한 물성으로 인하여 전자소자, 에너지 저장매체, 유연성 전도막 등 다양한 분야로의 응용가능성이 제기되었으나, 실제적인 응용을 위해서는 구조적인 결함을 최소화하며, 특성을 자유로이 제어하거나 향상시키는 공정의 개발이 요구된다. 특히 그래핀을 전자소자로 응용하기 위해서는 전기적 특성을 제어하는 것이 요구된다. 일반적으로 화학적 도핑은 그래핀의 전기적 특성을 제어하는 효율적인 방법으로 알려져 있다. 화학적 도핑은 그래핀을 구성하는 탄소원자를 이종원자로 치환하거나 표면에 흡착시켜 기능화 된 그래핀을 얻는 방법으로, 특정 가스 분위기에서 고온 열처리하거나 활성종들이 존재하는 플라즈마에 노출시키는 방법이 제시되었다. 특히 플라즈마를 이용한 도핑방법은 저온에서 단시간의 처리로 도핑이 가능하고, 플라즈마 변수를 변경하여 도핑정도를 수월하게 제어할 수 있다는 장점을 가지고 있다. 그러나 플라즈마내의 극성을 띄는 다양한 활성종들의 충돌효과로 인하여 구조적인 손상이 발생하여 오히려 특성이 저하될 수 있어 이를 고려한 플라즈마 공정조건의 설정이 필수적이다. 따라서 본 연구에서는 플라즈마에 노출된 그래핀의 Raman 특성을 고찰함으로써 화학적 도핑과 구조적인 결함의 경계를 확립하고 구조결함의 형성을 최소화한 효율적인 도핑조건을 도출하였다. 그래핀은 물리적 박리법을 이용하여 300 nm 두께의 실리콘 산화막이 존재하는 실리콘 웨이퍼 위에 제작하였으며, 평행 평판형 직류 플라즈마 장치를 이용하여 전극의 위치, 인가전력, 처리시간을 변수로 암모니아($NH_3$) 플라즈마를 방전하여 그래핀의 Raman 특성변화를 관찰하였다. 그래핀의 구조적 결함 및 도핑 효과는 라만 스펙트럼의 D, D', 2D밴드의 강도와 G밴드의 위치와 반치폭(Full width at half maximum; FWHM)의 변화를 통해 확인하였다. 그 결과, 인가전력과 처리시간에 따라 결함형성과 질소도핑 영역이 구분 가능함을 확인하였으며, 이를 바탕으로 결함형성을 최소화한 효율적인 도핑조건이 접지전위, 0.45 W의 인가전력, 처리시간 10초이며, 최적조건에서 계산된 도핑레벨은 $1.8{\times}10^{12}cm^{-2}$임을 확인하였다.

  • PDF

미세공 조절에 의한 탄소제립물의 분자체 효과 (Effect of Molecular Sieve of Carbon Granules by Controlling Micropores)

  • 김태환;이재훈;김권일;김종휘;성재석
    • 공업화학
    • /
    • 제9권6호
    • /
    • pp.798-802
    • /
    • 1998
  • 탄소제립물은 야자각 분말을 coal tar 용액과 혼합시켜 성형한 후, 이를 여러 가지 온도에서 탄화시켜 제조하였다. 탄소제립물의 미세공 조절을 위하여 질소분위기에서 벤젠 증착시간을 변화시켰다. 여러 가지 시료에 대해서 SEM을 이용하여 얻은 Morphology와 진밀도를 비교하였고 Cahn D-200장치를 이용한 산소 및 질소의 흡착속도를 측정하여 가스의 확산계수, 분리계수 및 흡착평형량을 얻었다. 흡착특성 결과의 분석을 통해 분자체 제조에 적합한 탄화온도와 변형시간은 각각 $800^{\circ}C$와 10분이며, 이때 산소와 질소의 분리계수는 26.4임을 알 수 있었다.

  • PDF