• 제목/요약/키워드: 베이크 장치

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조합펌프와 이온펌프의 초고진공 배기 성능 비교

  • 박종도;하태균;나동현;김세현;강건욱
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.120-120
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    • 2016
  • 가속기 진공시스템은 대형 초고진공장치로 운전 중 10-9 mbar 유지를 목표로 하고 있다. 이 같은 수준의 초고진공은 배기시스템을 적절히 설계하고 베이크아웃을 함으로서 얻을 수가 있다. 베이크아웃은 보통 1~3일 소요되므로 운전 중 빠른 복원을 힘들게 하는 원인중 하나이므로 최근에는 베이크아웃 하지 않도록 설계하는 추세이다. 이 연구에서는 네그펌프-이온펌프를 조합하여 설계하고 베이크아웃하지 않으면서 초고진공을 원하는 시간 내에 달성 하도록 목표로 하고 있다. 이 발표에서는 대형 이온펌프를 사용하고 베이크아웃하는 전통적인 방법과 조합펌프를 사용했을 때 진공배기를 비교 실험하여 그 결과를 보고하고자 한다.

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자동 베이크 아웃 시스템을 이용한 휘발성유기화합물 및 포름알데히드 저감효과 (Reduction Effect of VOCs and Formaldehyde Using Auto Bake-Out System)

  • 김형진;이갑수;조진규;이준범;노형래;윤홍수
    • 공업화학
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    • 제22권3호
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    • pp.291-295
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    • 2011
  • 초등학교의 신축된 실내체육관을 대상으로 자동 개폐장치를 이용하여 실내의 휘발성유기화합물 및 포름알데히드 농도 저감효과를 평가하기 위하여 5일간 베이크 아웃을 진행하였다. 베이크 아웃을 실시한 결과 베이크 아웃 실시 전의 농도에 비해 벤젠의 경우 38.2%, 톨루엔은 64.2%, 에틸벤젠은 86.3%, 자일렌은 80.2%, 스티렌은 71.5%의 저감률을 보였으며, 환경부의 신축공동주택의 실내공기질 기준치를 만족하는 것으로 나타났다. 총휘발성유기화합물의 저감률은 67.0%이었으며 포름알데히드의 경우 24.7%의 저감률을 보여 자동 개폐장치를 이용한 베이크 아웃이 실내오염물질을 제거하는 데 유용함을 확인하였으며, 자동 베이크 아웃 시스템을 이용할 경우 효과적인 베이크 아웃이 가능함을 확인하였다.

우주개발과 진공기술의 응용 (Space Business and Applications of Vacuum Technology)

  • 이상훈;서희준;유성연
    • 한국진공학회지
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    • 제17권4호
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    • pp.270-277
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    • 2008
  • 진공이란 공간의 기체압력이 대기압보다 낮은 상태, 즉 분자밀도가 약 $2.5{\times}10^{19}$분자/$cm^3$ 보다 적은 상태를 의미하며, 극청정환경 제공, 단열효과, 입자의 장거리 비행가능, 증발과 승화작용, 안정된 플라즈마를 유지, 생화학 반응 억제, 우주환경 제공 등의 특성으로 인해 오늘날 전 산업분야 및 과학기술 분야에 응용이 되고 있다. 우주환경은 이러한 고진공 환경과 태양 복사열에 의한 고온 환경 및 극저온이 반복되는 가혹한 환경으로 특징지어지는데, 위성체는 지상에서 발사되어 우주궤도에 진입한 순간부터는 계속해서 우주환경에 노출된다. 위성체가 이러한 가혹한 우주환경에 노출될 경우 주요부품에 기능장애가 초래되기도 하며 이는 결국 임무의 실패로 이어지기도 한다. 따라서 위성체는 지상에서 우주환경시험을 거쳐 기능 및 작동상태를 점검해야 하며, 이를 위해서는 우주환경을 모사 할 수 있는 우주환경 모사장비가 필요하다. 우주환경모사장비라 함은 우주환경의 주특징인 고진공상태와 극저온 환경을 모사할 수 있는 지상장비를 말하며, 장비의 설계 및 제작에는 기본적으로 진공기술이 응용되게 된다. 본 논문에서는 한국항공우주연구원이 보유하고 있는 인공위성의 개발에 필수 장비인 우주환경모사장치들을 소개하고, 최근 발달된 국내 진공기술로 국산화 제작에 성공한 유효제원 ${\varphi}8m{\times}L10\;m$ 급의 대형열진공챔버를 통하여 우주개발에 응용되는 진공기술을 소개하고자 한다.