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MOCVD $Bi_4Ti_3O_{12}$ 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기금속 원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선

  • 이석규;김준형;황민욱;엄명윤;김윤해;김진용;김형준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.103-103
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    • 2000
  • 강한 결정 방향 의존성과 낮은 항정계를 갖는 Bi4Ti3O12 강유전체 박막은 NDRO형 비휘발성 강유전체 메모리 분야에서 매우 유망한 재료이다. 이를 위해서는 실리콘 기판과의 계면조절과 실리콘 기판성에서 고품질의 강유전성 박막을 성장시키는 기술이 필수적이다. MOCVD에 의한 Bi4Ti3O12 의 증착에서는 Bi 성분의 강한 휘발 특성과 낮은 반응성으로 인하여 조성과 두께 등의 조절이 매우 어렵다. 따라서 화학기상증착의 기구를 이해하고 제어하는 기술이 양질의 박막을 얻는데 필수적이다. 본 연구에서는 유기금속 원료 TPB, TIP 과 산소를 이용하여 실리콘 기판위에 Bi4Ti3O12 강유전체 박막을 증착할 때, 증착 변수의 변화에 따른 박막의 증착 거동과 구조적, 전기적 특성을 연계하여 분석하였다. 특히 기판부착력이 낮고 휘발성이 강한 Bi의 특성으로 인한 문제를 개선하기 위하여 TIP원료를 주기적으로 공급, 중단을 반복하는 펄스주입법을 고안하여 그 효과를 살펴보았다. 실리콘 기판위에서 TiO2의 증착속도는 실험온도 영역에서 온도에 따라 변화하지 않는 전형적인 물질 전달에 의해 지배되는 양상을 나타내었다. 반면 Bi2O3 경우에는 50$0^{\circ}C$ 이상에서 급격하게 증착속도가 감소하는 특이한 경향을 나타내었으며 이는 Bi2O3의 높은 휘발성 때문일 것이다. Bi4Ti3O12 박막은 온도증가에 따라 증착속도가 증가한 후 $600^{\circ}C$ 이상에서 포화되는 경향을 보였다. 이로부터 실리콘 기판위에서의 Bi4Ti3O12 박막의 증착 모델을 제시하였다. Bi2O3에 비해 상대적으로 표면 부착력이 월등히 큰 TiO2가 우선적으로 실리콘 펴면에 형성된 후 TPB 유기금속 원료가 이 TiO2와 반응하는 과정으로 Bi4Ti3O12 박막이 증착된다. $600^{\circ}C$이상에서는 증착 변수들을 바꾸어도 물성이 변하지 않는 자기조절기능이 있음을 알 수 있었는데 이는 고온에서의 Bi2O3의 강한 휘발성 때문일 것이다. 실리콘 기판에서 층상 페로브스카이트 상은 58$0^{\circ}C$ 이상에서 형성되며, 매우 좁은 온도 변화에도 결정구조, 박막현상 및 성분이 크게 바뀌는 온도에 민감한 증착거동이 관찰되었다. 증착 모델에서 예견되는 Bi의 불리함을 개선하기 위해 펄스주입법을 실시한 경우 Bi의 성분량이 증가되었고 결정성이 향상되었다. 이로부터 펄스주입법이 박막내에 부족하기 쉬운 Bi를 보충하여 박막의 특성을 개선함을 확인하였다. Bi4Ti3O12 박막의 증착온도에 따른 누설전류 특성 측정 결과 증착온도가 감소할수록 누설전류가 감소함을 알 수 있었고 펄스주입법이 연속주입법보다 더 낮은 누설전류를 보임을 알았다. 펄스주입법의 경우 -2.5V 인가 시의 누설전류는 7.4$\times$10-8A/cm2에서 1.3$\times$10+7A/cm2의 매우 우수한 값을 가졌다. 연속 주입법에 의해 증착된 박막은 C-V 측정 결과 강유전성 이력이 나타나지 않았으나, $600^{\circ}C$ 이상에서 펄스주입법에 의해 증착된 박박은 강유전성 이력을 나타내었다.

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자본의 문화적 순환과 한국 지역발전 정책의 진화: 새로운 관리주의 거버넌스 형태의 등장? (The Cultural Circuit of Capital and the Evolution of Regional Development Policy in Korea: A New Form of Managerialist Governance in Action?)

  • 이재열
    • 한국경제지리학회지
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    • 제25권2호
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    • pp.237-253
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    • 2022
  • 이 논문의 목적은 한국 지역발전 정책의 진화에서 자본의 문화적 순환에 관계된 행위자-네트워크의 영향력을 검토하여 설명하는 것이다. 이를 위해, 2000년대 초반부터 2010년대 초반까지 벌어진 사건을 중심으로 글로벌 컨설팅 기업과 국내 경제언론 간에 맺어진 초국적 행위자-네트워크의 역할에 주목한다. 이 시기 동안 우리나라의 지역발전 정책은 지역 간 균형을 추구하는 공간적 케인스주의가 쇠퇴하며 지역 경쟁력에 집중하는 방향으로 선회했는데, 이는 국토종합(개발)계획, 수도권정비계획, 국가균형발전특별법의 변화를 통해서 확인했다. 이때 등장했던 혁신성 및 창의성 주도형 지역발전 정책의 형성 과정에서 자본의 문화적 순환에 관여하는 행위자-네트워크, 구체적으로 매일경제와 글로벌 컨설팅 기업이 공동 생산하여 확산시키는 처방적 경영지식과 마이클 포터나 리처드 플로리다와 같은 지역정책 구루의 역할이 중요했다. 이러한 경험적 발견은 구조주의에 기반한 지배적인 설명 양식의 한계를 드러내고, 지역발전 정책 연구에서 행위자 중심적 접근의 적합성과 타당성을 적시한다. 아울러, 관리주의 거버넌스와 기업가주의 거버넌스 간 이분법적 개념화의 현실적 문제도 발견했다. 문화적 순환의 행위자들은 관리주의적 담론과 실천의 지식을 생산해 유포하는 경향이 현저했기 때문이다. 따라서 기업가주의 거버넌스가 관리주의의 새로운 형태는 아닌지에 대하여 보다 면밀히 점검할 필요가 있다고 판단된다.

유사동적실험기반 내부접합형 합성내진보강공법을 적용한 기존 R/C 건물의 내진성능평가 (Seismic Capacity Evaluation of Existing R/C Buildings Retrofitted by Internal Composite Seismic Strengthening Method Based on Pseudo-dynamic Testing )

  • 이은경;김진영;백호진;이강석
    • 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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    • 제27권2호
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    • pp.67-76
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    • 2023
  • 본 연구에서는 기존 내력증진형 내진보강공법의 취약점을 개선 및 보완할 수 있는 새로운 개념의 내진보강법인 내부접합형 합성내진보강공법 (Composite Seismic Strengthening Method, CSSM)을 제안하였다. CSSM 내진보강 시스템은 필요 내진보강량 산정이 간편한 강도증진형 내진보강법의 일종으로서, 전단파괴가 지배적인 우리나라 내진상세를 가지지 않는 기존 R/C 건물에 적용 시 내력증가가 효율적으로 가능한 내진 시스템 공법이다. 제안한 내부접합형 CSSM 공법의 내진안전성을 검토하기 위하여 내진상세를 가지지 않는 우리나라 R/C 건축물을 바탕으로 한 실물 2층 골조 실험체를 대상으로 유사동적실험을 실시하여, 지진에 대한 하중 및 변위 특성, 지진피해수준, 강도증진 효과, 변위제어능력을 중심으로 내진성능을 평가하였다. 유사동적 실험결과 개발공법인 CSSM 내진시스템은 효과적으로 전단내력을 증가시켰으며, 2400년 재현주기인 지진파에 대해서도 지진에 대한 변위를 효과적으로 억제시켰다.

CDG 유한요소법을 이용한 수심적분 흐름의 수치모의 (Numerical Simulation of Depth-Averaged Flow with a CDG Finite Element Method)

  • 김태범;최성욱;민경덕
    • 대한토목학회논문집
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    • 제26권5B호
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    • pp.447-457
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    • 2006
  • 본 연구에서는 2차원 수심 적분된 흐름을 모의하기 위한 수치모델을 개발하였다. 유한요소법의 일종인 Characteristic Dissipative Galerkin(CDG) 기법을 적용시켜 천수방정식의 수치해를 구한다. 모델 검증을 위해서 1차원 도수문제에 적용하였고, 계산결과와 해석해를 비교할 때 만족스러운 결과를 얻었다. 정상파를 보이는 단면축소 수로에서의 흐름을 모의한 결과, 실험결과와 유사한 수면분포를 얻었다. 이러한 검증 과정을 통해서 본 수치모델을 이용하여 흐름영역이 갑작스럽게 변화하는 경우에도 모의 가능함을 알았다. 또한 $180^{\circ}$ 만곡수로에 적용한 결과, 만곡부 내측의 유속이 외측에 비해서 크며, 만곡부 내측의 수심은 외측에 비해서 작은 만곡부 흐름특성을 잘 나타내고 있다. 그러나 만곡수로에서 이차류에 의한 운동량의 횡방향 이송을 고려하지 않는 지배방정식의 한계점으로 인해서, 만곡부 끝단을 제외한 만곡부 전체에 걸쳐서 단면상의 종방향 유속이 일정한 분포를 보이고 있다.

<춘향전>에서의 법(法)과 사랑 (Law and Love in )

  • 김종철
    • 고전문학과교육
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    • 제38호
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    • pp.175-200
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    • 2018
  • 조선시대의 법과 관습을 기준으로 볼 때, 춘향과 이몽룡의 사랑, 춘향과 변학도의 갈등과 대결, 이몽룡의 암행어사 출도와 춘향 구출 등의 사건들은 새로운 의미를 함축하는 것으로 해석될 수 있다. 춘향과 이몽룡의 사랑은 당시의 법과 규범에 저촉되는 것이었지만 서술자는 이를 문제 삼지 않으며 오히려 지배 질서에 저항하는, 낭만적이고 새로운 사랑으로 그렸다. 그리고 춘향은 이몽룡에게 혼인을 보장한다는 증서(證書)를 요구하는데, 이는 전례 없는 법적 행위이다. 춘향과 이몽룡의 사랑이 공적인 인정을 받지 못한 상태에서 춘향과 변학도의 갈등과 대립이 전개된다. 변학도는 춘향에 대한 성적 욕구를 충족시키기 위해 수청을 요구하다 거부당하자 춘향에게 관장(官長)의 명령을 따르지 않은 혐의와 관장을 능욕한 혐의를 씌워 형추(刑推)를 가하고, 이에 맞서 춘향은 법의 부당한 적용을 항의하고, 수청 요구를 유부녀를 겁간(劫姦)하는 범죄라고 맞선다. 흥미롭게도 이 과정에서 관장이 소속 관청의 기생에게 수청을 요구하는 것은 위법 행위라는 점이 문제로 제기되지 않으며, 사욕(私慾)을 위해 법을 남용하는 변학도의 행위와 춘향의 새로운 법의식이 더 부각된다. 춘향과 결연한 이몽룡이 암행어사 출도를 하여 변학도를 봉고파직(封庫罷職)하고 춘향을 구출하는 것은 어사의 권한을 사적(私的) 목적으로 이용한 혐의를 피하기 어렵다. 그러나 서술자나 남원 민중과 국왕 등 작중 인물들은 이를 문제 삼지 않는다. 변학도와 이몽룡의 법 집행에 대한 이러한 상이한 평가는 작중 인물들과 독자들의 법감정(法感情)에 의한 것으로 이해된다. 즉 이몽룡과 춘향의 새로운 사랑과 춘향의 인권 의식에 공감하는 관점에서 변학도는 징치되어야 마땅하다고 보는 법감정이 형성되었고, 암행어사 출도는 오히려 이 법감정에 극적 쾌감을 주는 장치로 수용된 것으로 볼 수 있다. 따라서 춘향과 이몽룡의 사랑은 당시의 실정법을 넘어서는 새로운 법감정을 동반하는 것으로 해석할 수 있으며, 이 법감정은 춘향의 인권의식에 대한 공감에 기초해 있다고 볼 수 있다.

유럽주식회사법의 최근 동향에 관한 연구 (Current Development of Company Law in the European Union)

  • 최요섭
    • 법제연구
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    • 제41호
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    • pp.229-260
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    • 2011
  • 유럽연합에서 회사법 통일의 노력은 리스본조약 이전부터 회사법과 관련한 규칙과 지침을 설정했다는 점에서 중요한 의미를 지닌다. 유럽연합 회사법의 법규범은 자체의 규칙을 통해 유럽주식회사라는 개념을 설정하였으며, 공개유한책임회사인 유럽주식회사와 더불어, 2008년 이후에는 중소기업을 위한 폐쇄유한책임회사에 대한 입법도 추진하고 있다. 최근 유럽주식회사법을 근거로 설립된 회사의 수가 증가되면서 발전된 형태의 회사법에 대한 논의가 활발히 진행되고 있으며, 이는 우리나라 회사법 분야에서도 흥미로운 주제가 된다. 기존의 유럽회사법에 관한 국내연구는 전반적인 유럽회사규칙 및 지침에 대한 내용을 소개하고 있으나, 근래에 이루어지고 있는 회원국 법률간 하향경쟁과 이를 통한 회원국의 입법에서의 변화, 그리고 유럽에서의 회사법연구에 대한 최근 논의에 대해서 다시 다루어 볼 필요가 있다. 따라서 이글에서는 유럽연합조약을 통한 설립의 자유와 이를 통한 각 회원국의 법률 간 경쟁과 유럽주식회사규칙의 제정 배경에 대해서 살펴보고 현재 유럽주식회사규칙의 내용을 평가한다.

유통경로내의 거래비용에 대한 개념적 고찰 (A Conceptual Review of the Transaction Costs within a Distribution Channel)

  • 권영식;문장실
    • 유통과학연구
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    • 제10권2호
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    • pp.29-41
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    • 2012
  • 본 논문은 거배비용분석 이론의 포괄적 이해를 돕기 위한 하나의 방법으로 거래비용분석법의 구성요소 중의 하나인 "거래비용"에 대한 개념검토를 목적으로 하고 있다. 유통경로 지배구조 현상을 규명하기 위한 하나의 방법으로 거래비용 분석의 개념적 틀을 적용한 지도 벌써 수십 년이 경과되었다. 본 연구의 출발점은 Williamson(1975)이 개념적 틀에서 제시한 자산특유성(asset specificity)을 어떠한 형태로 정의하고 있는지?, 기존의 선행연구들에서는 어떠한 형태로 자산특유성을 설명하고 있으며, 선행연구들에서는 자산특유성 개념의 조작적 정의를 어떠한 형태로 정의하고 있는지? 에 대한 물음에서 출발하고 있다. 본 연구를 통해 거래비용 이론이 완전 자유 경쟁체제가 아닌 통제 경제체제에서도 적용 가능한 것이냐 하는 것이다. 거래비용 이론은 Williamson(1975)이 제시한 개념적 틀을 그대로 적용할 것이 아니라 해당 산업내지는 국가 체제에 따라 수정 보완하여 적용하는 것이 바람직하다는 결론이다. 기존의 거래비용(자산특유성)에 대한 연구방향을 종합하여 요약하면 크게 네 가지 방향으로 나누어진다고 볼 수 있다. 첫째는 기업이 제품의 유통과 관련하여 기업이 특유자산을 보유하고 있는 판매 대리인을 이용할 것인지, 아니면 자사의 고용인을 이용할 것인지에 대한 연구의 흐름이다. 둘째, 원료의 공급에 있어 기업이 특유자산을 보유하고 불확실성이 큰 경우 기업이 직접 제조할 것인지 아니면 외부 공급자로 부터 구매할 것인지에 대한 의사결정의 문제를 다루고 연구의 흐름이다. 셋째는 기업이 해외 시장 또는 서비스 시장 진출 시 지사의 사용 할 것인지 아니면 현지 대리인의 이용에 관한 문제를 다루는 연구의 흐름이다. 넷째는 거래비용이론이 가지는 기본 가정의 한계를 지적하고 거래비용이론의 확장을 시도하는 연구의 흐름이다. 거래비용분석이 갖는 한계점으로는 첫째, 기존의 연구들은 Williamson(1975)이 제시한 개념들을 이용하여 단순히 유통경로 현상을 규명하는데 만 치중하고 있다는 것이다. 둘째, 유통경로 구성원들이 거래비용(자산특유성)때문에 다양한 거래구조를 형성했다면 그에 따른 명확한 성과가 있어야 하는데, Heide와 John(1988)의 지적에서 처럼 거래비용분석의 기본 가정에 관한 실증적 연구가 매우 애매 한다는 것이다. 셋째, 기업이 특유자산(불확실성)을 보유하고 있는 거래를 내부화한다고 가정하고 있으나 내부화에 대한 명확한 설명이 제시되어 있지 않다는 것이다. 다섯째, 거래비용 이론은 완전자유경쟁체제에 적합한 이론이라 할 수 있으며 통제경제 내지는 계획경제 체제하에서는 적용하기가 부적절한다. 향후 연구를 위한 제언으로는 경제구조와 산업구조의 차이에서 발생하는 현상으로 분석할 수 있으며, 다양한 산업구조에 거래비용분석을 적용할 필요성이 존재한다. 따라서 거래비용분석에서 제시하고 있는 거래비용에 대한 명확한 정의가 필요하다.

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