• Title/Summary/Keyword: 방전면적

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ICP와 헬리콘 플라즈마를 이용한 대면적 고밀도 플라즈마 소스 개발

  • Lee, Jin-Won;An, Sang-Hyeok;Yu, Dae-Ho;Jang, Hong-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.340-340
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    • 2011
  • 플라즈마 공정에서의 생산률이 플라즈마의 밀도에 비례한다는 많은 연구가 이루어진 후, 초대면적 고밀도 플라즈마 소스의 개발은 플라즈마 소스 개발에서 중요한 부분을 차지하기 시작하였다. 이로 인해, 전자 공명 플라즈마, 유도 결합 플라즈마와 헬리콘 플라즈마 등 새로운 고밀도 플라즈마 개발 연구가 활발히 진행되고 있다. 최근에는 고밀도 플라즈마 개발과 더불어, 대면적 플라즈마 소스의 개발이 플라즈마 공정 기술의 중요한 이슈가 되고 있는데, 이는 450 mm 이상의 반도체, 2 m${\times}$2 m 이상의 8세대 평판 디스플레이와 1 m${\times}$1 m 태양광 전지 생산 공정에서 플라즈마의 기술이 요구되고 있기 때문이다. 대면적 공정영역의 이러한 경향은 균일한 대면적 고밀도 플라즈마 개발을 촉진시켜왔다. 밀도가 낮은 축전 결합 플라즈마를 제외한, 대면적 공정에 적합한 고밀도 플라즈마원으로 유도 결합 플라즈마와 헬리콘 플라즈마를 선택한 후, 병렬연결 시의 특성을 알기 위하여 ICP와 헬리콘의 단일 튜브와 다수 튜브의 플라즈마 내부, 외부 변수를 측정하여 조사하였다. 두 가지 플라즈마 소스의 비교 실험을 위하여, 자기장을 제외한 모든 조건을 동등하게 한 후 실험을 하였다. 단일 헬리콘 실험을 바탕으로, 대면적 실험에 가장 적합한 자기장의 세기, 자석의 위치 및 튜브의 치수를 정한 후, fractal 구조를 위한 16개 다수 방전을 ICP와 헬리콘을 비교하였다. 병렬연결 시, RF 플라즈마에서는 같은 전압을 가져도, 안테나 디자인을 고려하지 않으면 모든 튜브의 방전이 이루어 지지 않았다. 이를 컴퓨터 모의 전사를 통해 확인하고, 가장 최적화된 안테나를 설계하여 실험을 하였다. ICP에서는 모든 튜브가 방전에 성공한 반면, 헬리콘 플라즈마는 ICP에 10배에 달하는 높은 밀도를 냈으나, 오직 4개 튜브만이 켜지고 안정적으로 방전이 이루어 지지 않았다. ICP의 경우, RF 전송선의 디자인을 통해 파워의 균등 분배가 가능하지만, 헬리콘의 경우 자기장을 추가해서 고려해야 되는 것을 확인하였다. 모든 튜브에 비슷한 자기장을 형성하기 위해서는 자석의 크기가 커지는 문제점이 있으나, 매우 낮은 압력에서 방전이 가능하고, 같은 압력에서 ICP에 비해 10배 이상 달하는 장점이 있다. 실험 결과를 바탕으로, ICP와 헬리콘 플라즈마의 다수 방전에 대한 분류를 하였고, 바로 현장에 투입이 가능한 소스로 판단된다.

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NO and $SO_2$ Removal by Dielectric Barrier Discharge-Photocatalysts Hybrid Process (유전체 장벽 방전-광촉매 복합공정에 의한 NO와 $SO_2$ 제거)

  • Kim, Dong-Joo;Nasonova, Anna;Kim, Kyo-Seon
    • Clean Technology
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    • v.13 no.2
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    • pp.115-121
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    • 2007
  • In this study, we analyzed experimently the NO and $SO_2$ removal by the dielectric barrier discharge-photocatalysts hybrid process. The glass spheres were used as a dielectric material for dielectric barrier discharge and the $TiO_2$ photocatalysts were coated onto those spheres by the dip-coating method. The $TiO_2$ particles were coated in the sponge-shape, which has the larger surface area. As the voltage applied to the plasma reactor, the pulse frequency of applied voltage, or the residence time increases, the NO and $SO_2$ removal efficiencies increase. The increase in the supplied concentrations of NO and $SO_2$ leads to the higher energy for NO and $SO_2$ removal and the NO and $SO_2$ removal efficiencies decrease. These experimental results can be used as a basis to design the dielectric barrier discharge-photocatalysts hybrid process to remove NO and $SO_2$.

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The Characteristics and Application for the New Plate-Type Ozonizer (새로운 형태의 평판형 오존발생기 특성과 응용)

  • Lee, Kwang-Sik;Fang, Ya-Wei;Kim, Yeong-Hun;Yoon, Dae-Hee;Lee, Chang-Ho
    • Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.22 no.12
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    • pp.176-182
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    • 2008
  • It is the paper that this study develops the small plate-type ozonizer(PTO) for improvements of indoor air and water, and investigated the characteristics. Electric discharge area of ozonizer of each form is same to 60[$cm^2$] and discharge power is the maximum 30[W]. Ozonizer of various forms was devised according to size, numbers and arrangement. The main study object is discharge power-ozone concentration characteristics, discharge power-ozone yield characteristics, amount of gas flow-ozone concentration characteristics and amount of gas flow-ozone yield characteristics. PTOL-P appeared so as to be most excellent, and ozone generation characteristics were able to get the similar results at three kinds of remaining ozonizer ($PTO_{P-P}$, $PTO_{C-P}$, $PTO_{T-P}$).

Charge-Discharge Characteristics of Physically Coated Lithium Anodes by Carbon Powders (탄소분말이 물리적으로 코팅된 리튬 음전극의 충방전 특성)

  • Kim, Kwang Man;Lee, Sang Hyo;Lee, Young-Gi
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.49 no.5
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    • pp.554-559
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    • 2011
  • To improve the safety and electrode characteristics of lithium metal anode, physically coated electrodes on lithium metal surface by three kinds of carbon are prepared and their charge-discharge performances are investigated by adopting the C-Li electrodes as the anode of rechargeable lithium batteries. The lithium anode coated by the carbon powder with smaller particle size and higher surface area, which has higher packing density and lower surface roughness, shows better performance in charge-discharge characteristics. The carbon coating on lithium surface can be more effective in small-sized cells.

Enhancement of the Cell Performance for an Carbon Anode in Li-ion Battery (수지 코팅에 의한 리튬이온전지용 탄소 부극재료의 전지 성능 개선)

  • 김정식;윤휘영;유광수
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.38 no.8
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    • pp.755-760
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    • 2001
  • 본 연구에서는 카본전극의 표면개질에 따른 리튬이온 전지의 전지특성 변화에 대해서 연구하였다. 즉, mesocarbon microbeads(MCMB) 카본에 에폭시 수지(resin)를 코팅시킴으로서 카본전극 표면에 개질시켰으며, 이에 따른 전극의 전기화학적 특성을 고찰하였다. 에폭시 수지에 의한 카본의 표면코팅은 30%의 H$_2$SO$_4$용액에서 2시간 동안 refluxing한 MCMB를 에폭시 수지를 용해시킨 THF(tetrahydrofuran) 용액에 넣어 혼합함으로써 MCMB 표면에 에폭시 수지가 코팅되도록 하였다. 이렇게 에폭시 수지가 코팅된 MCMB를 약 1000-130$0^{\circ}C$로 열처리하여 고분해능 투과전자현미경으로 관찰한 결과, 코팅층은 비정질 카본 구조를 갖게됨을 알 수 있었다. 또한, 에폭시 수지에 의하여 코팅된 MCMB는 코팅되지 않은 MCMB보다 더 높은 BET 비표면적을 나타내었다. Li/MCMB 전지 cell을 만들어 충방전시험을 수행한 결과, 에폭시 수지에 의하여 코팅된 MCMB로 만든 전극이 더 우수한 충방전 용량과 싸이클 특성을 나타내었다. 에폭시 수지 코팅으로 전극 표면을 개질시킴으로서 전지특성이 개선된 원인에 관하여 에폭시 코팅의 결정구조와 전극계면에서의 부동태 피막(passivation film) 형성과 연계하여 논의하였다.

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A Study on the Development of the High Rate Zinc-Silver Oxide Primary Battery (고율 아연-산화은 1차전지의 개발에 관한 연구)

  • 김세웅;공영경
    • Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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    • 1994.05a
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    • pp.114-117
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    • 1994
  • 아연-산화은 전지는 높은 에너지 및 전력밀도를 가지고 있으나 비싼 제작비용 때문에 우주항공, 군사무기 등 특수한 분야에서 주로 이용되며, 특히 전해액이 별도의 용기에 보관되어 있다가 외부 신호에 의해 충전된 dry상태의 전지에 주입되어 활성화되는 1차 또는 비축형 아연산화은 전지는 우수한 고율방전 특성, 장시간의 저장기간 및 활성화와 동시에 부하를 인가 할 수 있는 특성 때문에 많은 무기체계에서 이용하고 있다. 이러한 아연-산화은 전지의 아연전극은 높은 다공도와 반응 면적을 가져야 하며, 특히 방전중 아연전극의 전위는 가역 수소전위 보다 더 음전위이기 때문에 수소가스가 다량 발생하게 되므로 수은과 같은 높은 과전압을 갖는 물질을 첨가하여 가스 발생량을 줄이고 부동태화(passivation)를 억제하게 된다. 그러나 국내 여건상 수은을 사용하여 전지를 제작하는 것은 환경문제 등으로 인하여 어렵기 때문에 본 연구에서는 수은을 사용하지 않고 비축형 아연-산화은 전지의 음극판을 제작하기 위하여 전착법(electro deposit)과 mesh 제작방법을 혼합하여 아연전극을 제작하였으며, 기판에 석출된 아연과 아연 mesh의 질량비율에 따른 전지의 성능을 평가하였다.

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Effect of the redox flow battery and electrode characteristics according to the heat treatment temperature of a carbon felt (탄소펠트의 열처리 온도에 따른 레독스흐름전지와 전극 특성에 미치는 영향)

  • Yoo, Hyosung;You, Hyunjin;Yu, Kihyun;Kang, Junyoung;Park, Hongsik;Choi, Woonghwi;Yoo, Dong Jin
    • Journal of Energy Engineering
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    • v.24 no.3
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    • pp.89-95
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    • 2015
  • Carbon felts manufactured by (Co)CNF were subjected to heat treatment under different temperatures to use for the electrode of a redox-flow battery. BET and weight loss were tested to investigate the physical properties of the carbon felt according to the heat treatment conditions. SEM and XPS were also analyzed to characterize their surface area. In addition, electrical resistance, CV (cyclic voltammetry) and RFB charge on the electrode properties were examined in accordance with the heat treatment conditions with the discharge performance. The changes of physical properties on the carbon felt surface was confirmed via SEM and BET analysis, The most addition of oxygen functional groups on the carbon felt surface was obtained when one hour heat treatment at $550^{\circ}C$ and it was confirmed by XPS analysis. After resulting the CV tests, the active area of the electrode was the largest at $550^{\circ}C$ heat treatment. The heat treatment experiment of vanadium redox flow battery using the carbon felts were tested at $400^{\circ}C$, $500^{\circ}C$ and $550^{\circ}C$. As a result, the charge-discharge energy efficiency of the heat treatment electrode was 72.9% and 79.8%, at $400^{\circ}C$ and $500^{\circ}C$, respectively. The efficiency of the heat treatment electrode at $550^{\circ}C$ was the best as 79.8% at $550^{\circ}C$.

Growth and Phytochemicals of Lettuce as Affected by Light Quality of Discharge Lamps (방전램프의 광질에 따른 상추의 생장 및 파이토케미컬 분석)

  • Lee, Jae Su;Nam, Sang Woon;Kim, Yong Hyeon
    • Journal of Bio-Environment Control
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    • v.22 no.4
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    • pp.400-407
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    • 2013
  • This study was performed to analyze the effect of light quality of discharge lamp on growth and phytochemicals contents of lettuce (Lactuca sativa L. cv. Jeokchima) grown under metal halide (MH) lamp, high-pressure sodium (HPS) lamp, and xenon (XE) lamp in a plant factory. Cool-white fluorescent (FL) lamp was used as the control. Photoperiod, air temperature, relative humidity, $CO_2$ concentration, and photosynthetic photon flux (PPF) in a plant factory were 16/8 h (day/night), $22/18^{\circ}C$, 70%, 400 ${\mu}mol{\cdot}mol^{-1}$, and 200 ${\mu}mol{\cdot}m^{-2}{\cdot}s^{-1}$, respectively. MH lamp had the greatest fraction of blue light (400-500 nm) of 23.0%. However, HPS lamp had the lowest fraction of 4.7% for blue light and the greatest fraction of 38.0% for red light (600-700 nm). At 11 and 21 days after transplanting, leaf length, leaf width, leaf area, shoot fresh weight, and shoot dry weight of lettuce as affected by the light quality of the discharge lamp were significantly different. The leaf area of lettuce grown under HPS, MH, and XE lamp increased by 45.7%, 16.3%, and 9.5%, respectively, as compared to the control. These results were similar for shoot fresh weight. Growth characteristics of lettuce grown under HPS lamp increased since HPS lamp had more fraction of red light. However, growth of lettuce grown under MH and XE lamp decreased since they had more fraction of blue light. As compared to the control, the ascorbic acid in lettuce leaves grown under discharge lamp decreased. The greatest anthocyanins accumulation of 0.70 mg/100 g was found at MH treatment. Anthocyanins content in lettuce leaves grown under XL and HPS lamp were 79.3% and 8.6%, respectively, compared with the control. Growth and phytochemicals contents of lettuce were highly affected by the different spectral distribution of the discharge lamp. These results indicate that the combination of discharge lamp or LED lamp for enhancing the light quality of discharge lamps is required to increase the growth and phytochemicals accumulation of lettuce in controlled environment such as plant factory.

Plasma Aided Flotation for Removing Organic Substances and Killing Microorganisms

  • Yu, Seung-Min;Hong, Eun-Jeong;Yu, Seung-Yeol;Park, Jun-Seok;No, Tae-Hyeop
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.122-122
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    • 2014
  • 수중방전을 환경분야에 적용하기 위한 플라즈마 부상법이 개발되었다. 플라즈마 부상법은 물 속에서 발생시킨 플라즈마가 가지고 있는 주요특성 중 물리적 특징인 쇼크웨이브, UV조사, 버블생성 등과 화학적 특징인 OH라디칼 및 염소산화물 생성 등을 이용하여 물 속에 존재하는 용존성 및 입자성 물질을 부상분리 기법으로 제거하는 공법이다. 유기물을 제거하는 기작으로는 침전, 여과, 분해 등이 있고, 이를 구현하기 위한 공정으로 중력침강법, 부상분리법, 멤브레인법, 미생물법 등이 있다. 이 중에서 가압공기부상법은 침강법에 비해 부지면적을 적게 소모하고 처리시간이 50% 이상 감소되는 특징이 있다. 가압공기부상법은 물 속에 공기를 과포화시킨 후 노즐을 통해 재분사할 때 발생하는 압력차에 의해 미세기포가 발생함을 이용하여 유기물을 분리하는 공법이다. 그러나, 가압용 장비 및 반송수가 필요하고, 미생물분리는 불가능한 단점이 있다. 이에 본 연구에서는 미생물살균과 유기물 분리가 동시에 일어나는 플라즈마를 이용한 부상분리기법을 개발하였다. 본 연구에서는 난분해성 용존유기물인 휴믹산 100 mg/L의 플라즈마 공기부상법에 의한 제거능을 확인하였다. 용존성 휴믹산을 입자성 물질로 전환하여 플록을 형성시키고자 알루미늄설페이트(Al2(SO4) $3{\cdot}18H2O$)를 100 mg/L 주입하였고, 침출수와 같이 염도가 높은 물을 모사하고자 35 g/L의 염화나트륨을 첨가한 상태에서 방전을 실시하였다. 방전에 사용된 전원은 EESYS사에서 제작한 펄스형 고전압 전원장치를 사용하였고 최대 15 kW의 출력 중 6 kW의 전력을 인가하였다. 전극 한 개는 2 mm 텅스텐봉을 세라믹튜브로 감싼 구조로 총 사용전극은 28개이다. 전극 한 개당 대략 200 Watt의 전력이 소모되며 이 때 최대의 버블이 생성됨을 확인하였다. 전극 1개에서 생성되는 버블의 부피는 14 mL/min 로 측정되었다. 버블의 크기는 평균 70 um이고 가압공기부상법에서 최적공기크기로 제시하고 있는 40~80 um 의 버블은 약 80% 가량 생성된다. 본 연구에서 사용된 반응시스템에서의 물의 높이는 약 500 mm 이고 전체 40 L의 수조가 3개의 벽으로 분리되어 4개의 수조로 분리되었다. 각 수조는 하부에 7개의 전극을 포함하고 있다. 플라즈마 발생시 생성되는 기포는 약 1분 방전 후에 포화농도에 도달하며 방전종료 후 약 4분간 수체 내에 남아있게 된다. 이를 공정에 적용하여 1분 방전 및 4분 휴지의 순서로 플라즈마를 인가하였다. 휴믹산 용액의 유량을 2 lpm 으로 운전하였을 때 최종 처리율은 94% 이고 이때의 대장균 살균능은 99%이다.

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A Relation between the Electrochemical Behaviors and Morphology of Co3O4 and Ni-Co3O4 Composites as Anode Materials for Li Ion Secondary Batteries (리툼 이차 전지용 Co3O4 및 Ni-Co3O4 복합물의 전기화학적 특성 및 표면 형상의 관계)

  • Kang, Yong-Mook;Lee, Yong-Ju;Song, Min-Sang;Park, Min-Sik;Lee, Jai-Young
    • Transactions of the Korean hydrogen and new energy society
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    • v.14 no.3
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    • pp.217-228
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    • 2003
  • Li 이차 전지 음극용 활물질인 $Co_3O_4$의 초기 충방전 효율을 향상시키기 위해 chemical reduction method나 mechanical milling법을 이용하여 $Co_3O_4$에 Ni을 첨가하여 $Ni-Co_3O_4$, 복합물을 제조하였다. 그 결과 초기 충방전 효율이 약 69%에 불과한 $Co_3O_4$에 비해 mechanical milling법을 이용하여 제조된 $Ni-Co_3O_4$ 복합물은 약 79%이상의 대폭 향상된 초기 충방전 효율 특성을 나타내었다. 하지만 chemical reduction method를 이용하여 제조된 $Ni-Co_3O_4$ 복합물은 약 71%의 초기 충방전 효율 특성만을 나타내었다. SEM 분석을 통해 각 물질의 표면 형상을 관찰한 결과 mechanical milling법과 chemical reduction method를 통해 제조된 $Ni-Co_3O_4$ 복합물에서는 $Co_3O_4$ 표면에 분포된 Ni의 균일성의 차이가 존재하였다. $Co_3O_4$$Li_2O$의 분해, 형성에 의해 충방전되고 Ni이 $Li_2O$의 분해를 촉진시키는 효과를 가지고 있음을 고려할 때 이러한 균일성의 차이는 결국 Ni 과 $Co_3O_4$ 사이의 접촉면적의 차이로 이어져 $Ni-Co_3O_4$ 복합물의 초기 충방전 효율 특성이 그 제조 방법에 따라 달라지는 것으로 보인다.