• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2010.04a
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• pp.14-17
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• 2010

반도체 공정 과정에서 설비의 효율의 높이고 생산성 향상을 도모하며 라인의 품질 사고 방지를 위하여 공정 진행 과정을 실시간으로 모니터링하는 것은 매우 중요하다. 이 연구에서는 반도체 공정의 전반적인 작업현황을 실시간으로 파악하고 비정상적인 상황이 발생하는 경우 즉각적으로 대응하기 위해 생산현장의 임베디드 PC들과 통신하여 공정 처리 데이터를 저장하고 이상 발생과 이력 정보 등을 제공하는 웹기반 모니터링시스템을 설계하고 구현하고자 한다. 이 논문의 궁극적인 목표는 작업라인의 현황을 실시간으로 파악하는 온라인 시스템을 구축하여 인력의 고도화를 도모하고 기업의 생산성 증대와 제품의 품질 향상에 기여하는 것이다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.260-260
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• 2012

최근 IT산업의 급속한 발달로 모바일 제품과 반도체 및 IC 패키지 등의 전자제품의 소형화, 경량화 및 고성능화되어 가고 있다. 따라서 반도체 공정에서 단위소자의 고속화를 구현하기 위한 금속배선공정에 사용되는 금속재료가 최근에 최소 선폭을 갖는 디바이스에서는 구리를 배선 재료로 전환하고, 향후에는 모든 디바이스가 구리를 주요 배선재료로 사용할 것으로 예측되고 있다. 반도체 소자 공정 중 시료 표면 위에 형성되는 오염물은 파티클, 유기오염물, 금속 불순물 그리고 자연 산화막으로 나눌 수 있다. 구리 표면에 생성되는 부식생성물의 종류에는 CuO, $Cu_2O$, $Cu(OH)_2$, $CuCO_3{\cdot}Cu(OH)_2$와 같은 생성물들이 있다. 이러한 부식생성물이 구리박막 표면에 형성이 되면 성장된 구리박막의 특성을 저하시키게 된다. 이러한 다양한 오염물들을 제거하기 위해서 여러 가지 전처리 공정에 대한 연구가 보고되고 있다. 본 연구에서, 스퍼터 방식으로 구리를 증착한 웨이퍼 (Cu/Ti/Si) 를 대기 중에 노출시켜 자연 산화막을 성장시키고, 이 산화막과 대기로부터 흡착된 불순물을 제거하기 위해 계면 활성제인 TS-40A와 $NH_4OH$ 수용액을 사용하여 이들 수용액이 구리 표면층에 미치는 영향에 대해 조사 분석하였다. 사용된 TS-40A는 알칼리 탈지제로서 웨이퍼 표면의 유기물을 제거하는 역할을 하며, $NH_4OH$는 구리를 제거하는 부식액으로 산업현장에서 널리 사용되고 있다. 다양한 표면 전처리 조건에 따른 구리박막 표면의 형상 및 미시적 특성변화를 SEM과 AFM을 이용하여 관찰하였고, 표면의 화학구조 및 성분 변화를 관찰하기 위해 XPS를 측정하였으며, 전기적 특성변화를 관찰하기 위해 4-point prove를 사용하여 박막의 면저항을 측정하였다.

• KIISE Transactions on Computing Practices
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• v.21 no.10
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• pp.645-650
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• 2015

Tester Interface Software (TIS) provides all software functions that are necessary for a testing device to perform the test process on a memory semiconductor package from the time the device is put into the test equipment until the device is discharged from the equipment. TIS should perform the same work over all types of equipment regardless of their tester models. However, TIS has been developed and managed independently of the tester models because there are various equipment and computer models that are used in the test process. Therefore, more maintenance, time and cost are required for development, which adversely affects the quality of the software, and the problem becomes more serious when the new tester model is introduced. In this paper, we propose the Cross-platform Tester Interface Software (CTIS) framework, which can be integrated and operated on heterogeneous equipment and OSs.

• Journal of the Korea Convergence Society
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• v.10 no.4
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• pp.7-16
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• 2019

As fierce competition is expected in the wearable devices marekt, it is needed to develop a technology planning that can increase consumer acceptance. This study aims to provide implications for technology planning of wearable devices by examining consumer preferences for the devices. For this purpose we employed a conjoint analysis. In the process of the analysis, we considered the trend of anticipatory standardization for wearable devices in an attempt to improve objectivity of analysis whilst many previous studies relied on focus group interview. For the anticipatory standardization information, we utilized liaisons and projects of wearable devices at International Electrotechnical Commission, and we designed a conjoint survey on the basis of the information. We conducted an online survey, and a total of 229 individuals responded to our survey. The result of conjoint analysis shows that main use and enhanced features were more important attributes than the others were. However, consumer preferences for detailed levels of each attribute were different by gender and age groups. This result implies that technology planning of wearable devices require distinct approaches by consumer segments.

• Journal of the KSME
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• v.56 no.7
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• pp.40-44
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• 2016

1980년대 처음 세상에 등장한 3D프린팅기술은 시제품을 빠르고 경제적으로 생산하려는 초기의 목적에서 나아가 현재에는 직접 제품생산에 적용하려는 시도들이 이루어지고 있다. 하지만 이를 극복하기 위해서는 몇 가지 해결해야 할 문제들 또한 존재하는 것이 현실이다. 전자제품의 회로 제작에 3D프린팅기술을 적용하기 위한 기술들이 개발되고 있으며, 이는 기존의 플라스틱 재료를 이용하는 3D프린팅기술과 전도성 재료를 토출하여 도선을 성형하는 기술이 융합된 하이브리드 3D프린팅기술로 발전되고 있다. 입체전자기술로 알려지고 있는 이 기술은 단일 공정으로 다양한 소재를 사용하여 구동이 가능한 회로소자를 제작할 수 있기 때문에 주문형 회로소자, 웨어러블 디바이스 및 플렉서블 디바이스 등의 개발에 매우 유용하게 적용이 가능할 것으로 기대된다. 향후에는 복잡한 회로소자 제작기술로 발전할 것이며 따라서, 현재의 반도체 제작공정을 대체할 수 있는 기술로 발전이 가능할 것이다.

• Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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• 2014.01a
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• pp.15-18
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• 2014

하루가 다르게 최신의 기술이 쏟아져 나오는 정보화 시대에 들어서면서, 세계 ITC 분야는 디지털 기술과 유무선통신에 근간을 둔 인터넷의 확산으로 반도체, 컴퓨터, 콘텐츠 미디어, 정보가전 등 다양한 산업 분야가 융합되어 새로운 부가 가치를 창출하기에 이르렀다. 특히, 스마트 시대를 살아가는 우리의 일상생활은 모바일은 물론 일반적인 PC등을 사용한 인터넷 중심의 네트워크와 커뮤니케이션이 중요시 되고 있다. 이러한 시대의 흐름은 인프라 측면에서 네트워크의 트래픽을 폭증시키고, 많은 보안적인 문제를 야기하고 있다. 이에 임베디드 디바이스를 이용하여 네트워크를 운영하는 관리자에게 큰 도움을 주고, 업무 효율성을 높일 수 있는 포터블 형태의 네트워크 트래픽 탐지 시스템을 연구하게 되었다.

• JOURNAL OF ELECTRICAL WORLD
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• s.259
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• pp.70-77
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• 1998

미쓰비시전기는 제3세대 16비트 D램을 비롯한 0.4$\mu$m이하의 디자인룰을 갖는 ULSI를 대상으로, 직경 200mm웨이퍼 프로세스기술을 포함한 제조기술을 개발하여, 일본 국내, 대만, 독일에 양산공장을 전개하였다. 생산성이 우수한 디바이스/프로세스기술을 기반으로 저비용의 청정실 건설, 급수 등을 포함한 동력설비, 공장 자동화(FA), 컴퓨터제어식 제조공정(CIM), 북이단지구에있는 미쓰비시전기의 반도ㅔ개발거점과 각 공장간을 맺는 정보네트워크, 나아가 제조장치에 대한 철저한 저발진화와 결함관리를 위해 동사의 기술을 결집하여 생산성이 매우 높은 반도체양산공장을 글로벌하게 전개하였다. 우선 태본공장 최첨단 반도체라인(KD동)을 아주 짧은 기간에 가동시키는 소위 ''수직기동''을 실현하였다. 다음에 태본공장 KD동을 ''마더(Mother)공장''으로 하여 그대로 기술이전하는 ''Copy Exactly''라는 방법으로 이들 기술을 세계적으로 전개한 결과 대만에 있는 합병회사인 PS(Powerchip Semiconductor corporation)와 독일에 있는 생산회사 MSE(Mitsubishi Semiconducter Europe, GmbH)에서도 최첨단 반도체공장의 수직기동에 성공하였다. 이 공장은 0.25$\mu$m이후의 제품에도 대응가능하며 태본공장 KD동은 64M비트 D램으로 제품을 전환해가고 있다. 그렇게 하여 이들 공장과 개발거점을 네트워크호하여 다국적 기업에 걸맞는 세계적인 ULSI의 양산체제를 구축하였다.

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.7 no.4
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• pp.51-55
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• 2008

In this study, we have figured out exercise time and the amount of burned calories, using a three-axis acceleration sensor which we name as a health sensor. What is more, the health sensor calculates the degree of physical exercise taken during exercise. As is generally known, continuing, regular exercise is far more effective than short time exercise for sustainable health management. The health sensor is, therefore, recommended as an instrument to efficiently carry out the health management. Additionally, the health sensor was applied as an exercise subsidiary system to walking and jumping rope tests. In light of their results, the sensor system was found useful for analyzing the pattern of exercise.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2003.12a
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• pp.64-67
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• 2003

본 연구는 nano-level 디바이스 제조를 위한 새로운 금속 전극인 W 과 Ti metal 표면 세정에 관한 연구이다. 기존 $SC-1(NH_4OH/H_2O_2/H_2O)$ 세정 용액에서 산화제 ($H_2O_2$)를 사용하지 않는 dilute $NH_4$OH 세정은 전극 사이 절연막 표면의 particle 제거가 가능하면서 노출된 metal 막의 세정 damage를 최소화 시키는 것을 확인했다. SC-1 용액 내에 산화제 미 첨가 효과는, metal 막의 식각 현상을 억제시키고, 절연막 표면의 particle 제거 효과에 영향을 미치지 않는 것으로 판단된다. 이러한 방법은 short time 공정이 필요한 관계로, spin type wet 장비 채택으로 세정 효과의 극대화를 얻을 수 있을 것으로 판단된다.

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.11 no.3
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• pp.51-56
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• 2012

In this paper, we propose a telemedicine system based ECG data using a bio-signal meter and a smart device for treating faraway patients. This system is composed of a patch-shaped portable bio-signal meter, patient's smart device application, and doctor's PC software. Using these components, doctors and patients can do telemedicine. First, a patient measures his own ECG signal with a bio-signal meter and send the data to a doctor using a smart device application. Then, the doctor checks the ECG data, and make and send a diagnosis chart to web server. Likewise, doctors and patients can be offered a medical environment without time and space restraints. Applying this system to real medical system can improve the problem of low accessibility and efficiency and also can reduce medical expenses.