• 한국공작기계학회논문집
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• 제16권5호
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• pp.198-204
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• 2007

This study was carried out to develope a flow control system using to supply PR(photo-resist) in the semi-conductor manufacturing process. The features of this system are to be able to measure the high viscosity and micro-flow. To meet above study object some ideas was induced to design a new concept valve with new material, multi-cross wheel, and new sealing method etc.. As the evaluations on the developed micro-flowmeter it was enough satisfied to use at the IT industries such as photo-resist process.

• 대한기계학회논문집B
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• 제40권9호
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• pp.613-620
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• 2016

유체의 전도율(conductivity)이 전자기유량계의 특성에 미치는 영향을 평가하기 위해 소형 전자기 유량계를 설계 제작하였다. 유량계의 측정관(measuring tube)은 $4mm{\times}3mm$의 직사각형 단면을 가지며 길이는 9 mm이다. 전극은 직경이 1.5 mm인 점전극과 단면이 $2mm{\times}3mm$인 면전극으로 설계하였다. 코일의 열 발생에 영향을 미치는 자화주파수, 회전수 및 굵기를 변화시키면서 최적값을 찾았다. 최적화된 측정관은 자속밀도(magnetic flux density) 0.04 T (400 gauss)를 발생시키며 안정되고, 선형적인 유량신호를 얻을 수 있었다. 유량계를 특성을 평가하기 위해 중량식 유량계 교정 장치를 제작하였다. 유동율 범위는 최대 $1.17{\times}10^{-5}m^3/s$(700 cc/min)이며 ISO규격에 따라 유동량 결정의 불확도를 평가하였으며 크기는 0.06 % 이내이었다. 유체의 전도율은 $3-11{\mu}S/cm$ 사이에서 조절하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 G
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• pp.3268-3270
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• 1999

This paper presents the fabrication of a micro electromagnetic flowmeter for liquid flow rate measurement. The flowmeter consists of a silicon flow channel with two electrodes and two permanent magnets. The micro flow channel and the detection electrodes are fabricated by the anisotropic etching of two silicon substrates and the metal evaporation process respectively. If conductive fluid passes through a magnet field, electromotive force is generated and detected by two electrodes. When the flow rate is 2.6 ml/sec, the measured output voltage is 7.4 mV.

• 한국재료학회지
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• 제7권7호
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• pp.623-631
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• 1997

본 연구에서는 주조 2상 스테인리스강의열시효에 대한 시효온도, 시효시간 및 Nb함유량의 영향을 관찰하기 위해 기계적 성질 및 조직을 조사하였으며 Nb을 함유한 주조 2상 스테인리스강의 파괴기구를 규명하기 위해 SEM에 의한 파단면 관찰과 WDS성분분석을 통해 파괴기구의 특성을 고찰하였다. 시효온도와 시효시간이 증가함에 따라 페라니트으 미소경도가 증가하였으며 항복강도의 경우 시효온도와 시효시간에는 영향을 받지 않았으나 Nb을 함유한 재료들이 Nb을 함유치 않은 재료들에 비해 다소 낮은 항복강도 값을 보였다. 충격흡수에너지 값은 시효시간 및 시효온도의 증가에 따라 시험된 모든 재료에서 저하되었는데 0.4% Nb을 함유하는 경우 Nb을 약간 함유하거나 함유치 않은 재료들에 비해 시효시간에 따라 급격한 감소 경향을 보였다. 파단면 관찰결과 페라이트 기지 또는 페라이트/오스테나이트 상경계에서 석출된 VbC를 비롯한 탄화물들이 취성저항성을 낮추는데 크게 기여했음을 알 수 있었다.