• Proceedings of the IEEK Conference
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• 2006.06a
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• pp.585-586
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• 2006

본 논문에서는 MEMS 용량형 변위 센서의 제작과 함께, 미세 변위 측정을 위한 테스트 샘플을 제작하였다. 아래의 그림 1, 2는 각각 스테이지에 장착할 MEMS 용량형 변위 센서 및 미세 변위 측정을 위한 테스트 샘플의 개념도를 보여주고 있다. 테스트 샘플의 감지 부분은 스테이지에 장착할 센서와 정확히 일치를 시켰으며, 미세 변위를 주기 위해서 comb-drive actuator 형태의 운동부를 두었다. 운동부에서는 DC 및 AC 전압을 인가함으로써 미세 변위를 얻을 수 있었으며, 사용된 DC 전압은 20V였으며, 1.4kHz의 AC 전압을 크기를 변화시키며 인가하였다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.8 no.3
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• pp.199-203
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• 1997

Fine displacement of spherical suface was detected and analyzed by Twyman-Green interferometer and the interferogram analysis using Fourier transform method. The surface profile was obtained from single interferogram by introducing the carrier freguency to the interferogram. The interferogram was processed in the spatial frequency domain by fast Fourier transform, and the phase distribution was obtained by inverse Fourier transform. The 3-dimensional distribution for the surface displacement was obtained. It was compared with the calculated surface displacement and the error was less than λ/10.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.124-124
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• 2004

최근 MEMS공학의 발전으로 미소 가공물과 그 미소 가공물을 가공하는 공작기계의 발전이 두드러지고 있다. 마이크로 성형기는 이러한 미소 가공물을 만드는 공작기계들 중의 하나이다. 마이크로 성형기(micro former)는 마이크로 홀(micro holl)을 만드는 성형기로써 크랭크 축의 회전에 의한 펀치의 직선 운동으로 마이크로 홀을 뚫는 성형기이다. 마이크로 홀을 성형할 때에는 상하, 좌우의 미세한 변위가 생길 수 있다.(중략)

• The Journal of the Korea Contents Association
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• v.16 no.1
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• pp.362-369
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• 2016

Recently, Last to check the security status of various medium and large bridge structures using various kinds of measurement equipment, but most of the methods are used to measure and check the displacement behavior of the bridge by a certain period. In this study, receive GPS satellite signals that can be observed in real time the whole region, a bridge to automatically measure the displacement and behavior characteristics of the structure in real-time in mm over the 24 hours, the measurement information and transmits the data to the wireless network, by making use, it was applied to the real-time monitoring system in connection with a bridge to be able to automatically notify GNSS fine displacement behavior. In fact, analysis and receives the measurement data to GNSS provided in the upper bridge of the middle and large-sized aging for this purpose, measuring USN and at the same time is converted into a three-dimensional position information of a test study was conducted to monitor the bridge displacement in real time. As a result, a vertical displacement of about 0.027~0.037m at the measurement time of day of the measurement point is that the repeated and confirmed.

• Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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• 2018.05a
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• pp.123-124
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• 2018

본 연구는 건설 구조물의 재난방재를 위하여 사전에 시설물의 상태를 공간정보기반에서 확인하고 보다 구체체적인 상태를 계측하기 위하여 인공위성과 유비쿼터스 및 사물인터넷 및 무인항공기 등의 신기술을 적용하여 공간적으로 참조 가능한 모든 형태의 측위정보를 효과적으로 수집, 저장, 갱신, 조정, 분석, 표현할 수 있도록 하기 위한 것이다. 건설 구조물의 주요부분에 대한 미세한 측위와 분석을 하였고, 미세변위에 영향을 주는 환경인자를 USN/IoT 도구로 측정하여 그 상태를 확인하도록 하였다. 이를 통하여 건설구조물의 설계 및 시공 도면과 정밀한 공간정보를 유기적으로 결합할 수 있도록 하여 반영구적인 주요 시설물의 정밀한 미세변위의 변형을 추적하여 방재관리에 효율적으로 대처할 수 있는 적용기법을 제시하였다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2023.05a
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• pp.3-3
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• 2023

수자원위성은 C-band 영상레이더(synthetic aperture radar, SAR)를 탑재한 중형급의 수자원 관리 및 수재해 감시 전용 위성이다. 수자원위성은 물 환경과 관련된 다양한 분야에 활용되어 고부가가치의 정보를 제공할 것으로 예상되는데, 특히 시계열 레이더 간섭기법(SAR interferometry, InSAR)의 적용을 통해 댐·보와 같은 수자원시설물의 미세변위 탐지 및 안정성 평가에 효과적으로 사용될 것으로 기대된다. 시계열 영상레이더 간섭기법은 고정산란체를 이용하는 Persistent Scatterer InSAR(PSInSAR) 기법과 분산산란체 기반의 Small BAseline Subset(SBAS) InSAR 기법으로 대표된다. 이 연구에서는 수자원위성에 적합한 수리시설물 시계열 변위 모니터링 알고리즘 개발을 목적으로, Sentinel-1 위성의 C-band SAR 기반 시계열 레이더 간섭기법의 적용성을 평가하고 알고리즘 개발에 고려해야 할 사항들을 분석하였다. 2020년 여름 수재해가 발생한 섬진강댐과 담양댐 및 수변부를 테스트 사이트로 선정하고, 2019년부터 2021년까지의 Sentinel-1 시계열 SAR 영상에 PSInSAR와 SBAS InSAR를 적용하여 시계열 변위를 관측하였다. 댐체에서는 PSInSAR가 SBAS InSAR에 비해 신뢰할 수 있는 시계열 변위를 산출하였다. 그러나 시계열 분석 기간이 길어짐에 따라 PSInSAR 시계열 변위의 정밀도가 낮아지는 경향이 관측되었다. 수변부에서 PSInSAR는 변위 정보를 거의 제공하지 못했다. SBAS InSAR는 수변부의 시계열 변위 모니터링에 효과적이었으나, 여름철 장마 등으로 인해 레이더 간섭도의 긴밀도(coherence)가 낮아질 경우 부정확한 변위를 산출하였다. 앞으로 국내의 다양한 수자원시설물을 대상으로 Sentinel-1 위성을 이용한 시계열 변위 모니터링 알고리즘의 적용성 평가 연구가 진행될 예정이며, 연구 결과를 수자원위성의 관측 특성에 적합한 변위 탐지 알고리즘의 개발에 활용하고자 한다.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.37 no.1
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• pp.7-12
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• 2017

A nonlinear ultrasonic parameter is defined by the ratio of displacement amplitude of the fundamental frequency component to that of the second-order harmonic frequency component. In this study, the ultrasonic displacement amplitude of an SUS316 specimen was measured via a piezo-electric-based method to identify the validity of piezo-electric detection method. For comparison, the ultrasonic displacement was also determined via a laser-based Fabry-Pérot interferometer. The experimental results for both measurements were in good agreement. Additionally, the stability of the repeated test results from the piezo-electric method exceeded that of the laser-interferometric method. This result indicated that the piezo-electric detection method can be utilized to measure a nonlinear ultrasonic parameter due to its excellent stability although it involves a complicated process.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.8 no.5
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• pp.1007-1012
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• 2007

A novel Michelson interferometer controlled with a feedback circuit(MIFC) has been developed and its performance has been evaluated. This new interferometer can measure the displacement of the sample by directly reading the feedback bias applied to the PZT whose piezoelectric characteristic is known. The experimental result showed that the step height the silicon membrane measured by using MIFC was actually same with the value measured by SEM, which confirms that MICS is an easy and accurate method for the nano-scale displacement measurement.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.3 no.1
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• pp.63-66
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• 1992

오늘날 16M-DRAM 나아가서 64M-DRAM 제작을 위한 미세광리소그라피에서 위상변조된 마스크를 이용하여 높은 해상도를 얻고자 하는 연구가 세계적으로 추진되고 있다. 이 방법의 원리를 소개 하고자 한다.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.24 no.5
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• pp.487-493
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• 2004

This study was conducted to develope a capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) which enable to high efficient non-contact transmit and receive the ultrasonic wave in air. Theoretical analysis and finite element analysis of the behavior of membrane (such as resonance frequency, membrane deflection, collapse deflection and collapse voltage) of the cMUT were performed. The design parameters of the cMUT such as the dimension and thickness of membrane, thickness of sacrificial layer, thickness and size of electrode were estimated. The resonance frequency of the membrane increased as the thickness of the membrane increased but decreased as the diameter of the membrane increased. The deflection of the membrane increased as d-c bias voltage increased. The collapse voltage of the membrane was analyzed.