• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
• /
• 1997.05a
• /
• pp.53-53
• /
• 1997

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
• /
• v.36 no.1
• /
• pp.89-95
• /
• 2012

In this paper, microchannels for the flow control of two fluids with different volumes have been designed, fabricated, and verified. The dimensions of the inlets were determined based on the Stokes equation in order to realize that the flow of the two fluids meet at the same time, and to maintain a certain configuration when the flows passed through each inlet channel. The designed microchannels were confirmed using computational fluid dynamics simulation for the incompressible, Newtonian, and transient flows. In addition, a microfluidic system containing the designed microchannels was fabricated by soft lithography, and the pressure-driven flows of the two fluids were characterized by microfluidic experiments.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
• /
• 2004.05a
• /
• pp.351-351
• /
• 2004

For greeting the era of ubiquitous network, data storage devices have been essentially attached to mobile data devices. As a result, the minimization of the storage device has arisen as major interests in the next generation data storage technology. So, there are many researches for the small form factor ODD. In this paper, we propose a pick up that consists of a linear VCM and 2-wire focusing actuator for a small form factor ODD. For the sake of checking performance of the coarse actuator, PID controller is designed. Experiment with controller and DSP board shows its propriety as a fine tracking actuator. And, 2-wire suspension actuator is designed in order to be contained in a coarse actuator and to satisfy the thickness of a PCMCIA type. Through the experiment of designed actuator, It verifies performance as a focusing actuator.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2013.05a
• /
• pp.125-125
• /
• 2013

기계부품 및 자동차부품 등의 내마모나 내피로성의 향상을 위한 표면처리로서 고주파처리, 침탄처리, 질화처리 등이 사용되고 있다. 최근에는 변형을 최소화 함으로써 후가공을 생략할 수 있는 질화처리가 주목받고 있다. 질화처리종류로는 염욕질화나 가스질화법이 사용되고 있으나, 이들에 비해 환경오염 및 공해가 적고 인체에 무해한 플라즈마 연질화법이 사용되고 있다. 플라즈마 연질화 기술은 IT기기의 제품에 적용되는 표면경화의 공정개발은 미비한 실정이다. 마이크로 구동 요소 부품중의 하나인 Leadscrew는 이송장치를 구성하는 핵심 부품으로 IT기기의 정밀 이송 및 구동제어에 사용되는 핵심 부품으로 사용되고 있으며, 리드스크류의 소재인 SWCH1018A(냉간압조용강선)은 표면 경도가 낮고 변형이 쉽기 때문에 표면 경화를 위한 플라즈마 연질화 기술을 이용하고자 했다. 본 연구는 플라즈마 연질화 공정을 적용한 시편의 표면경도를 높혀주고 변형을 최소화 할 수 있는 공정을 확인하는 것이다. 공정변수를 변화 시키면서 얻어진 시편의 표면미세 구조를 미소경도측정, XRD, SEM분석을 통하여 확인하였으며, 이를 통해 시편 표면경도를 높여주는 공정 조건을 도출하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 1999.11d
• /
• pp.1151-1153
• /
• 1999

3-layer polysilicon 표면미세가공공정을 이용하여 micro zone plate 렌즈와 미러 및 이를 구동하기 위한 구동기를 일체화시킨 마이크로 구동형 광학소자를 설계, 제작하였다. 650nm의 파장대역에서 초점거리가 $500{\mu}m$가 되도록 마이크로 zone plate 렌즈를 설계하였으며, 렌즈의 광학축은 실리콘 기판 상에서 $121{\mu}m$거리에 위치하도록 제작하였다. 마이크로 hinge와 스프링 latch 및 측면지지 plate를 이용하여 마이크로 렌즈와 미러가 실리콘 기판상에서 out-of-plane동작이 가능하도록 하였다. 마이크로렌즈 초점거리의 가변을 위하여 6개의 SDA(Scratch Drive Actuator)어레이를 설계, 제작하였다. 또한 빔 반사를 위한 마이크로 미러를 설계하고 $45^{\circ}$ self-assembly를 위하여 마이크로 hinge와 SDA array를 제작하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2000.07c
• /
• pp.2266-2268
• /
• 2000

본 논문에서는 스캐닝 미러의 일종으로, 광저장 장치의 픽업헤드용으로 미세회전을 하면서 레이저 빔을 편향시키는 용도로 사용되는 미러를 제작하고 구동실험을 하였다. 제작된 미러의 크기는 $2400{\times}2400{\times}64{\mu}m^3$이고, 빔 스프링은 $500{\times}9.6{\times}64{\mu}m^3$이다. 니켈 전해 도금으로 29${\mu}m$ 높이의 구동 전극을 제작하였고(세가지 모델: 공기통로가 없는 전극, 공기통로와 간격이 각각 200${\mu}m$인 전극, 공기통로와 간격이 각각 100${\mu}m$인 전극), 미러판과 전극을 조립하여(미러판과 전극 사이의 간격은 각각 29${\mu}m$, 26${\mu}m$, 26${\mu}m$) 구동실험을 하였다. 공진 주파수의 계산간은 576Hz, 측정값은 3개의 미러에서 모두 568Hz이었다. 전극과 미러판의 간격이 최대 접근거리 18${\mu}m$가 되도록 미세 회전을 시켰을 때, 공기통로가 없는 전극에서는 공진 주파수가 524Hz, 공기통로가 200${\mu}m$인 전극에서는 544Hz로 각각 감쇠되었고, 공기통로가 100${\mu}m$인 전극에서는 그대로 568Hz이었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2004.07c
• /
• pp.2093-2095
• /
• 2004

본 논문은 압전소자를 구동장치로 사용한 마이크로 펌프의 제작과 실험에 관한 논문이다. 마이크로 펌프의 상부기판은 polydimethyl siloxane(PDMS)을 소재로 미세유로에 상시 닫힌 밸브가 일체화된 구조로 제작되었고, 하부기판은 polymethyl methacrylate(PMMA)를 소재로 3개의 압전 디스크가 구동기로 부착되었다. 최종적으로 상, 하부 기판은 액상 PUMS로 접합하여 제작했다. 구동기의 입력신호는 6상으로 구형파를 인가하여 연동구동하며 주파수와 전압을 가변하면서 유량을 측정하였다. 구동 주파수가 0.167 Hz이고 전압이 20 V일 때, 마이크로펌프의 1회 토출량은 104 nl이고, 유량은 1.04${\mu}{\el}$/min이다.

• Journal of KSNVE
• /
• v.8 no.2
• /
• pp.346-352
• /
• 1998

This paper presents actuating characteristics of an asymmetric high-speed optical pick-up fine actuator that can be installed in a small area such as a notebook personal computer. In the asymmetric actuator four points (mass center, actuation center, supporting point of wire suspension on a bobbin, and optical axis) are not coincident so that the proposed actuator suspension reveals undesirable suspension resonance in the pitch and yaw direction. Lumped parameter dynamic model in each direction is used to investigate the driving characteristics with respect to relative location of the four points. Some of desired design directions toward reducing resonance peaks are suggested by using sensitivity information. In order to avoid undesirable resonance, at least supporting point on the obbin must be located in the middle of the mass and actuation center of the asymmetric pick-up actuator.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
• /
• 2006.10a
• /
• pp.145-149
• /
• 2006

반도체의 고집적화와 LCD의 대형화로 인해 웨이퍼 및 LCD 검사용 스테이지의 성능 향상이 요구된다. 본 논문에서는 고속의 검사속도, 서브마이크론의 검사 정밀도, 그리고 대행정 구동을 위한 이중 서보 시스템을 제안하였다. 이중 서보 시스템은 선형모터로 구동되고 공기베어링으로 가이드 되는 조동 구동부와 보이스 코일 모터(VCM)로 구동되고 공기베어링으로 가이드 되는 미세 구동부로 구성된다. 검사 효율을 향상시키기 위한 고속 세틀링을 위한 제어기로서 시간 최적 제어 기법과 시간 지연 제어기를 결합한 모드 변경 제어기를 제안하고 이중 서보 시스템에 구현하여 성능을 평가하였다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
• /
• v.12 no.7
• /
• pp.26-31
• /
• 1995

A new actuating mechanism suitable for a micro positioning device is developed using piezo-electric elements. The actuator can make a step movement of 0.5 .mu. m up to 3.5 .mu. m. The step size can be adjusted on demand. By repeating this step action, long distance movement is achieved. Precise positioning can be obtained by combining the coarse motion with the maximum step size and fine motion. Two types of fine motion have been proposed for a driving method. Firstly, feedback control bases on PID is applied. The experimental results for the two method are presented.