Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Fabrication of the Microactuated Devices by PZT Thin Films

PZT 박막을 이용한 미세구동 소자의 제작에 관한 연구

  • 김광호 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 이유진 (LG 반도체) ;
  • 이병일 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 공과대학 재료공학부)
  • Published : 1997.05.01
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Abstract

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