Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1999.11d
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- Pages.1151-1153
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- 1999
Fabrication of Micro-optical Components and Actuators using Surface Micromachining
표면 미세가공기술을 이용한 마이크로 광학소자 및 구동기의 제작
- Kim, K.N. (Korea Electronics Technology Institute) ;
- Park, K.B. (Korea Electronics Technology Institute) ;
- Jung, S.W. (Korea Electronics Technology Institute) ;
- Lee, B.N. (Korea Electronics Technology Institute) ;
- Kim, I.H. (Korea Electronics Technology Institute) ;
- Moon, H.C. (Korea Electronics Technology Institute) ;
- Park, H.D. (Korea Electronics Technology Institute) ;
- Shin, S.M. (Korea Electronics Technology Institute)
- 김건년 (전자부품연구원) ;
- 박광범 (전자부품연구원) ;
- 정석원 (전자부품연구원) ;
- 이보나 (전자부품연구원) ;
- 김인회 (전자부품연구원) ;
- 문현찬 (전자부품연구원) ;
- 박효덕 (전자부품연구원) ;
- 신상모 (전자부품연구원)
- Published : 1999.11.20
Abstract
3-layer polysilicon 표면미세가공공정을 이용하여 micro zone plate 렌즈와 미러 및 이를 구동하기 위한 구동기를 일체화시킨 마이크로 구동형 광학소자를 설계, 제작하였다. 650nm의 파장대역에서 초점거리가
Keywords