• Title/Summary/Keyword: 물리적 적합성

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The Characteristics of Silicon Oxide Thin Film by Atomic Layer Deposition (원자층 증착 방법에 의한 silicon oxide 박막 특성에 관한 연구)

  • 이주현;박종욱;한창희;나사균;김운중;이원준
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2003.03a
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    • pp.107-107
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    • 2003
  • 원자층 증착(ALD, Atomic Layer Deposition)기술은 기판 표면에서의 self-limiting reaction을 통해 매우 얇은 박막을 형성할 수 있고, 두께 및 조성 제어를 정확히 할 수 있으며, 복잡한 형상의 기판에서도 100%에 가까운 step coverage를 얻을 수 있어 초미세패턴의 형성과 매우 얇은 두께에서 균일한 물리적, 전기적 특성이 요구되는 초미세 반도체 공정에 적합하다. 특히 반도체의 logic 및 memory 소자의 gate 공정에서 절연막과 보호막으로, 그리고 배선공정에서는 층간절연막(ILD, Inter Layer Dielectric)으로 사용하는 silicon oxide 박막에 적용될 경우, LPCVD 방법에 비해 낮은 온도에서 증착이 가능해 boron과 같은 dopant들의 확산을 최소화하여 transistor 특성 향상이 가능하며, PECVD 방법에 비해 전기적·물리적 특성이 월등히 우수하고 대면적 uniformity 증가가 기대된다. 본 연구에서는 자체적으로 설계 및 제작한 장비를 이용하여 silicon oxide 박막을 ALD 방법으로 증착하고 그 특성을 살펴보았다. 먼저, cycle 수에 따른 증착 박막 두께의 linearity를 통해서 원자층 증착(ALD)임을 확인할 수 있었으며, reactant exposure(L)와 증착 온도에 따른 deposition rate 변화를 알아보았다 Elipsometer를 이용해 증착된 silicon oxide 박막의 두께 및 굴절률과 그 uniformity를 관찰하였고, AES 및 XPS 분석 장비로 박막의 조성비와 불순물 성분을 살펴보았으며, 증착 박막의 치밀성 평가를 위해 HF etchant로 wet etch rate를 측정하여 물리적 특성을 정리하였다. 특히, 기존의 박막 증착 방법인 LPCVD와 PECVD에 의한 silicon oxide박막의 물성과 비교, 평가해 보았다. 나아가 적절한 촉매 물질을 선정하여 원자층 증착(ALD) 공정에 적용하여 그 효과도 살펴보았다.

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Vulnerability assessment on the location of industrial complex considering climate change -Focusing on physical and economic features of province·industrial complex - (산업단지의 입지적 요건을 고려한 기후변화 취약성 평가 - 지자체 및 산업단지의 물리적·경제적 특성에 집중하여 -)

  • Kim, Yoonjung;Lee, Dongkun;Seo, Changwan;Ryu, Jieun;Chae, Yeora;Baek, Gyounghye;Bae, Chae-Young
    • Journal of Environmental Impact Assessment
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    • v.22 no.6
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    • pp.627-637
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    • 2013
  • 기후변화가 산업단지에 미치는 영향은 지자체에까지 확산될 수 있으며 물리적, 경제적인 영향이 미쳐지므로 어떠한 물리적, 경제적 변수에 의해 산업단지의 피해가 초래되는지 규명될 필요가 있다. 따라서 본 연구는 국가 산업단지를 대상으로 산업단지 및 입지 시군구의 물리적, 경제적 특성을 기반으로 한 기후변화 취약성 평가를 수행하고 산업단지 입지에 영향을 미치는 시간, 공간별 극한기후를 규명하고자 하였다. 산업단지의 극한기후에 의한 취약성은 IPCC에서 제안한 상향식 취약성 평가 방법을 따라 분석되었으며 전력요구도, 위험지역유무 등 단지의 물리적 입지조건과 입지 지자체의 기반시설 현황, 지자체와 산업단지의 경제적 특성 등이 평가 기준으로 연구되었다. 기후노출, 민감도, 적응 능력의 항목별 가중치와 항목내 변수들의 가중치 분석에 AHP가 적용되었다. 본 연구는 홍수, 가뭄, 혹서, 혹한, 해수면상승에 대해 취약 입지 시군구를 밝혔고 홍수와 가뭄, 혹서와 혹한별로 대비되는 취약성 결과가 나옴을 고찰하였다. 또한, 각 극한기후별로 적응능력 함양이 시급한 시군구를 밝혀 지자체 차원의 노력이 필요한 시군구를 규명하였다. 서울시 금천구는 산업단지 입지에 가장 취약한 지역으로 나타났으며 홍수, 혹한에서 높은 취약성을 보임이 분석되었다. 한편, 극한기후의 발생에도 불구하고 전반적으로 낮은 취약성을 보인 산업단지 입지 지자체는 광주광역시, 전라북도 익산, 제주시 등으로 분석되었다. 따라서 본 연구는 산업단지의 업종에 따라 적합하지 않은 입지 지역을 규명하였으며 향후 산업단지 입지의 잠재 기후변화 영향을 고려한 의사결정을 지원할 수 있다.

Physical modeling of Gayageum using SDL model (SDL 모델을 이용한 가야금의 물리적 모델링)

  • Cho Sang-jin;Chae Jin-wook;Chong Ui-pil
    • Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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    • spring
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    • pp.291-294
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    • 2004
  • 본 논문에서는 Smith에 의해 제안된 이중 지연 라인을 갖는 양방향 디지털 도파관 모델을 SDL(sing1e delay line)모델로 변환하여 가야금의 단위 음이 만들어지는 과정을 나타내었다. 각 단계의 시스템은 선형적이며 단일 지연 라인과 LPF로 구성된다. 가야금의 임펄스 응답을 기본 입력신호로 하였으며. 실제 가야금의 조율 시스템인 안족은 선분 적합성을 이용한 근사화 과정을 거쳐 구현하였으며 이를 이용한 모의실험을 하였다. 실제 가야금을 조율하듯 안족에 의한 조율과 실제 음과 유사한 단위 음 생성을 할 수 있었다.

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A research of signal analysis using Magntic Inductance Tomography system according to a chance in an object's position and density (Magnetic inductance tomography system을 이용한 대상물체 위치와 밀도 변화 시의 신호해석에 관한 연구)

  • Lee, Sung-Ho;Seo, Kang;Park, Gwan-Soo
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2009.07a
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    • pp.842_843
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    • 2009
  • 본 논문에서는 Magnetic Inductance Tomography System(이하 MIDT System)을 이용하여 대상물체의 위치와 밀도 변화 시의 신호해석에 관한 연구를 하였다. MIDT System은 외부에서 자기장을 인가하고, 인가된 자기장에 의해 변화하는 자기장을 홀센서로 검출한다. MIDT System은 시스템이 간단하고 대상물체에 물리적인 손상을 가하지 않고 측정이 가능하다. 본연구에서는 MIDT System을 직접 구성하여 이론적인 해석신호와 실제 실험을 통한 해석신호의 일치여부를 비교 분석하고 MIDT System을 이용하여 대상물체 위치 변화시의 신호 해석할 수 있는 적합성 여부를 판단하였다.

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Relationship Between Physical Properties and Compression Index for Marine Clay (해성점토의 물리적 특성과 압축지수의 상관성)

  • 김동후;김기웅;백영식
    • Journal of the Korean Geotechnical Society
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    • v.19 no.6
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    • pp.371-378
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    • 2003
  • The compression index of clay distributed in the west and south coast of the Korean Peninsula had been studied. Compression index was obtained from the conventional consolidation test, and was conducted accordingly to obtain the field virgin compression curve by means of Schmertmann's graphical correction. To examine a correlation closely between physical properties of soils($e_o$, LL, w) and compression index(Cc), linen. and non-linear regression analysis were employed based on the data collected from tests. The conclusions are as follows. The compression index obtained by means of Schmereann's graphical correction is about 1.16 times for the value of original oedometer test curve for U/D samples. Non-liner regression curve was preferable to establish a correlation equation rather than linear regression curve. All derived equations so far achieved have been summarized and given. However, linear equation is better for practical use so that part by part simplified linear equations were also suggested alternatively together with their own non-linear regression curve.

Assessment of Riverine Health Condition and Estimation of Optimal Ecological Flowrate Considering Fish Habitat in downstream of Yongdam Dam (용담댐 하류의 하천건강성 평가 및 어류 서식처를 고려한 최적 생태유량 산정)

  • Hur, Jun-Wook;Kim, Jeong-Kon
    • Journal of Korea Water Resources Association
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    • v.42 no.6
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    • pp.481-491
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    • 2009
  • In this study, a comprehensive field monitoring was conducted to understand habitat conditions of fish species in the upper Geum river. Based on the monitoring data, riverine health conditions such as composition ratio of fish species, richness and dominance indexes, bio-diversity (dominance index, diversity, evenness and richness), and index of biological integrity were assessed, and optimal ecological flowrates were estimated using the habitat suitability indexes established for three fish species Coreoleuciscus splendidus, Zacco platypus and Pseudopungtungia nigra selected as icon species using the physical habitat simulation system (PHABSIM). The total number of species sampled was 20 species, and two sensitive species of C. splendidus (22.4%) and Z. platypus (22.0%) dominated the fish community. The estimated IBI values ranged from 34 to 42 with average being 38 out of 50, rendering the site ecologically fair to good health conditions. An optimal ecological flowrate of 9.0 cms was recommended for the representative fish species at the site.

반복측정이 난해한 환경을 고려한 라인간 계측동일성 검정

  • Kim, Hyeong-Seon;Jo, Hyeong-Seok;Lee, Ho-Yeong;Dong, Seung-Hun;Lee, Sang-Gil
    • Proceedings of the Korean Society for Quality Management Conference
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    • 2007.04a
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    • pp.229-234
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    • 2007
  • 반도체 산업에서 동일제품을 여러 라인에서 생산하는 것은 일반적이다. 모든 라인에서 생산된 제품의 품질수준의 동일 여부는 반도체 공정 계측데이터의 동일성 여부로 결정된다. 이러한 의사결정에 앞서 계측데이터를 생산하는 라인간 계측시스템의 동일성 검정은 필수적이다. 일반적인 두 집단의 동일성검정 방법은 동일시료를 두 집단에서 반복 측정하여 측정값의 차이를 비교하는 방법이다. 그러나, 반도체 계측특성은 동일시료를 반복 측정할 때, 물리적 영향 등에 의해 시료가 변화하여 반복측정이 난해한 특징을 가지고 있어 일반적인 반복측정 방식의 동일성 검정방법은 적합하지 않다. 본 연구에서는 반복측정이 난해한 반도체 계측 특성 하에서 가설검정을 이용한 라인간 계측 동일성 검정방법을 제시하고 실제 반도체 공정에 적용한 사례를 소개하고자 한다.

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경.중수로 연계 핵연료 주기 (DUPIC)관련 핵물질 보장조치 (Safeguards)

  • 나원우;이용덕;차홍렬;김호동;홍종숙;박현수
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • v.27 no.3
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    • pp.447-452
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    • 1995
  • 경·중수로 연계 핵연료 주기 (Direct Use of Spent PWR Fuel in CANDU : DUPIC ) 기술개발의 핵물질 보장조치(Safeguards)는 경수로 사용후 핵연료를 중수로에 재 활용하기 위한 DUPIC 공정에 대한 최적 보장조치 시스템을 구축하여, 국제 원자력 기구(IAEA) 및 국제 원자력 사회에서 핵 투명성확보 및 신뢰도를 향상시키는 것을 기술개발의 목적으로 하고 있다. DUPIC 공정은 고립된 차폐시설내의 고준위 방사선장 하에서 가동되므로 타 시설에 비해 핵 물질 전용 가능성은 희박하지만, 전 공정이 원격제어 되야 하고, 조업조건이 정복해야 하므로 기존의 보장조치 기술보다 더욱 발전된 계량관리시스템, 측정시스템 및 감시시스템 등을 개발하여야 한다. 이를 위해 본 연구에서는 각 항목에 대한 요소 분석 및 각 항목별 향후 연구방향에 대해 분석하였다. DUPIC 공정 전반에 대한 핵물질 계량관리를 위해 물질수지구역 (Material Balance Area : MBA) 및 주요측정 지점 (Key Measurement Point : KMP )을 설정하여 각 측정지점별 측정방법 및 재고검증(Inventory Verification) 방법을 분석하였다. 최적 측정시스템을 개발하기 위해 적용 가능한 비파괴분석 방법들을 분석한 결과, 핵분열성 물질 함량을 정량적으로 측정할 수 있는 수동적 중성자 측정법이 가장 적합하다는 결론을 얻었다. 또한, 감시시스템을 개발하기 위해 전용전략의 주요 요소 및 전용경로 등을 분석하였으며, 핵물질 및 시설에 대한 물리적 방호체제를 DUPIC시설에 적용하기 위하여 물리적 방호에 필요한 방호체제 요소를 분석하여 DUPIC 시설을 위한 가상적인 방호체제를 구축하였다.

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Application of Physical Habitat Simulation System (PHABSIM) in the Reach of Small Dam Removal for Zacco platypus (피라미에 대한 보 철거 구간에서의 물리서식처 모의(PHABSIM) 적용)

  • Im, Dong-Kyun;Jung, Sang-Hwa;Ahn, Hong-Kyu;Kim, Kyu-Ho
    • Journal of Korea Water Resources Association
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    • v.40 no.11
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    • pp.909-920
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    • 2007
  • River restoration and environmental improvement projects have been peformed by social needs, therefore methodology for evaluating such projects must be provided. The PHysical HABitat SIMulation system (PHABSIM) is proposed as a tool for the assessment of hydraulic habitat suitability for aquatic species related to flow regime in river. This study evaluates the change of physical habitat for Zacco platypus according to small dam removal and the model suitability by applying PHABSIM to the reach where small dam was removed. It is shown that the physical habitat is generally increased and improved where the small dam was removed. However, physical habitat in the spawning stage that has a weak swimming speed is decreased by increased flow velocity in the upstream area of small dam, so proper countermeasure for that condition should be needed. Consequently, PHABSIM can be effectively used to provide methodology for assessment and necessity of various river projects including a removal of out-aged hydraulic structures.

Classification of Seed Exogenous Dormancy in Korean Native Plants (자생식물 종자의 외생휴면 분류)

  • Ju Sung Cho;Kyungtae Park;Sang Yeob Lee
    • Proceedings of the Plant Resources Society of Korea Conference
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    • 2020.08a
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    • pp.10-10
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    • 2020
  • 전 지구적으로 생물다양성의 지속적인 감소 추세에 따른 생물자원의 중요성이 증가하는 시점에서, 식물 유전자원의 종 다양성 보존과 지속가능한 이용을 위한 체계적이고 현실적인 방안 마련이 절실한 실정이다. 국내에서도 2017년에 유전자원 접근 및 이익 공유에 대한 나고야 의정서가 발효됨에 따라 식물유래 BT산업 소재의 국내 자급이 불가피해진 상황이며, 더불어 국토의 생태복원에 적합한 식물 소재 개발의 중요성이 대두되면서 자생식물의 종자 수급기반 대책은 국가적 차원에서 중대한 과제라 할 수 있다. 우리나라는 면적 대비 높은 식물 종 다양성을 보이며, 이는 종자의 휴면유형 또한 다양하고 복잡할 수 있다는 것을 의미한다. 따라서 식물유전자원으로써의 보존 및 국가 경제적 이익을 위한 종자 활용, 산업화를 위해서는 종자의 생리적 특성에 기반 한 데이터베이스의 축적과 효과적인 활용을 위한 종자 휴면유형 분류 및 적정 휴면타파 조건을 확립할 필요가 있다. 현재까지 다양한 식물종에서 종자 휴면의 하위 카테고리가 계속적으로 세부 분류되고 있으나, 아직까지 밝혀지지 않은 세부 휴면유형에 의해 많은 유용 식물자원의 활용이 제한적이다. 종자의 휴면유형은 크게 외생휴면(Exogenous dormancy)과 내생휴면(Endogenous dormancy)으로 분류되며, 국내에서는 내생휴면에 대한 연구가 주를 이루고 있다. 한편 외생휴면은 물리적 휴면(Physical dormancy), 기계적 휴면(Mechanical dormancy) 및 화학적 휴면(Chemical dormancy)으로 세부 분류되며, 기계적 휴면과 화학적 휴면은 내생휴면인 생리적 휴면(Physiological dormancy)에 포함되어야 한다는 의견도 있다. 물리적 휴면 종자에서는 water-gap 복합체의 존재 등에서 원인을 찾을 수 있으나, 발아억제 호르몬에 기인하는 화학적 휴면 및 종(과)피 또는 배유에 의한 기계적 휴면은 배의 성장잠재력과 발달에 의해 타파될 수 있다. 이와 같이 실제로 많은 식물 종에서 다양하게 존재하는 외생휴면 유형에 대해 내생휴면과는 명확히 다른 방식으로 접근되어야 하므로, 다년간의 체계적 연구를 통해 미흡한 종자생리 연구 분야를 보완하고 자생식물의 종자 활용도를 높일 수 있을 것으로 기대한다.

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