• 제목/요약/키워드: 막 비등

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증착조건 변화에 따른 화학증착 알루미나 휘스커의 성장 및 특성변화

  • 김준규;김효준;최두진
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.66-66
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    • 2010
  • 알루미나는 높은 온도에서 열적으로 안정되고 경도가 높으며 내화학, 내마모 특성이 우수하며 또한 강도대비 비중이 낮아 무게를 줄일 수 있다는 장점을 가지고 있다. 이러한 특성으로 인하여 우주항공, 국방, 원자력등 극한의 온도를 견뎌야 하는 고도의 신뢰성이 요구되는 고온구 조물로서 응용이 되고 있다. 특히 알루미나를 휘스커 형태로 만들어 세라믹 복합체에 결합 할 경우 복합체의 기지 내에서 강화재의 역할을 함으로써 취성 파괴를 억제하고 열 전도율 저하등의 이점을 가져올 수 있다. 그리하여 본 연구에서는 알루미나 휘스커를 성장을 위하여 Al-triisoproxide계를 이용하여 화학기상증착법으로 가장 안정된 열적 특성을 가지고 온도의 변화에 따라 상 변화가 일어 나지 않는 알파 알루미나 상을 가지는 알루미나 휘스커를 성장시키기 위한 연구를 하였다. 또한 증착 온도, 압력, 입력기체비등 증착 조건을 변화시켜가면서 알파 알루미나 휘스커의 성장 거동을 살펴 보았다. 증착 조건 변화에 따라 알파 알루미나는 막이 증착되는 부분과 휘스커가 성장되는 부분이 있으며 휘스커의 밀집도와 길이방향, 직경방향 성장등 여러 가지 성장 특성을 달리하였다. 이러한 결과를 바탕으로 증착조건에 따른 알파 알루미나 휘스커 성장영역을 도식화하였다.

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충돌수분류의 천이 및 막비등열전달에 관한 연구 (An Experimental Study on Transition and Film Boiling Heat Transfer of Impinging Water Jet)

  • 엄기찬;서정윤
    • 대한설비공학회지:설비저널
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    • 제14권2호
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    • pp.87-97
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    • 1985
  • Experimental measurements of the heat flux to a upward impinging water jet on high heated test surface were obtained in the transition and film boiling regimes. Test variables were nozzle outlet velocity, subcooled water temperature and height of supplementary water. Boiling curve of this investigation is similar to a pool boiling curve, but it has one or two cap-shaped peaks in the transition regime. In the film boiling regime, the heat transfer rates are increased along with the increment of nozzle outlet velocity and subcooled temperature. There is optimum height of supplementary water for the augmentation of heat transfer Generalized correlations of boiling heat transfer are presented for maximum heat flux, minimum heat flux and $q_c$ at each supplementary height.

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$C_2F_{6}$ 가스가 Via Etching 특성에 미치는 영향 (Effects of $C_2F_{6}$ Gas on Via Etching Characteristics)

  • 류지형;박재돈;윤기완
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제39권1호
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    • pp.31-38
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    • 2002
  • 0.35㎛-비아(via) 식각공정을 개선하기 위하여 C₂F/sub 6/가스의 식각특성을 분석하였다. 실험한 재료는 TEOS/SOG/TEOS 막을 올린 8인치 웨이퍼이며, 실험의 기법은 직교행열(Orthogonal array matrix) 실험 방식을 활용하였다. 산화막 식각에 이용된 장비는 transformer coupled plasma(TCP) source 방식이며 고밀도 플라즈마(HDP)장비이다. 실험의 결과는, 실험변수의 범위 내에서 C₂F/sub 6/는 0.8㎛/min-1.l㎛/min 범위의 식각속도를 보이며 균일도(Uniformity)는 ±6.9%미만으로 측정되었다. CD 변화(skew)는 식각 전과 후를 비교하여 10% 미만이었고 그 결과 비등방성(anisotropic) 식각의 특성이 우수하였다. C₂F/sub 6/를.20sccm 공급할 때 문제점이 발견되지 않았지만 14sccm을 공급하면 SOG 막의 내벽이 침식당하는 문제점이 있었다. 결과적으로 C₂F/sub 6/는 HDP TCP에서 빠른 식각비와 넓은 공정창(process window)을 가진 식각특성을 나타내었다.

열간압연 이후 주행하는 고온 강재의 냉각해석에서 소재의 물성변화 효과 연구 (Study for Effect of Changes in Thermal Properties on Cooling Process in Running Hot Steel Strip After Hot Rolling)

  • 박일석;박정은
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제37권5호
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    • pp.459-465
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    • 2013
  • 열연 판재 제조과정에서는 제품의 강도와 인성을 제어하기 위해 압연 직후 $800^{\circ}C$ 이상의 고온 소재를 수냉각 방식으로 급속 냉각시킨다. 이 과정에는 소재 표면과 냉각수 사이의 비등 열전달 현상과 소재 표면에 쌓이는 체류수의 자유표면 유동, 소재의 고속 주행 등 매우 복잡한 물리현상들을 포함하고 있다. 본 연구에서는 이 모든 물리 현상들을 수치적으로 모델링한 해석 모델을 적용하여 기본 열전달 해석을 수행한다. 실제로 소재는 냉각에 의해 내부에서 오스테나이트로부터 페라이트로 상변태가 일어나고 이로 인해 소재의 국부적인 열물성치의 변화가 발생하지만 본 연구에서는 상변태를 직접 푸는 방법 대신 이미 알려진 소재의 온도에 따른 물성변화 곡선을 이용하여 냉각해석을 수행하고 이를 기존의 일정 물성치 조건에서 해석한 결과와 비교하여 소재의 물성변화가 소재 냉각에 미치는 영향과 상변태 해석의 필요성에 대해 검토하였다.

구리밀봉 증기발생기의 열적크기 계산을 위한 프로그램 개발 (Development of a Computer Program for Thermal Sizing of a Copper Bonded Steam Generator)

  • 김의광;김연식;어재혁;김성오;백병준
    • 에너지공학
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    • 제12권2호
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    • pp.84-92
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    • 2003
  • 구리밀봉 증기발생기의 열적크기 계산을 위한 1차원 열수력코드를 개발하였다. 고온 및 저온측 전열관사이의 구리의 열전도는 1차원으로 가정하고, 전열관 피치의 함수로 열저항을 구하였다 물/증기측 유동영역은 아냉, 포화핵비등, 포화막비등, 과열영역의 4 구간으로 구분하였다. 매개변수 연구를 위한 전열관 갯수는 250에서 3500이며, P/D비율은 각각1.4, 1.6, 1.8로 하였다. 계산결과, 전열관 갯수가 2500일 때 전열관 길이는 약 12 m, 직경은 약 3 m이다. P/D를 증가시키면 구리에 의한 열저항 성분이 증가하지만 전열관 길이는 큰 차이가 없음을 알 수 있었다.

뇌기저동맥 체간부에 발생한 뇌동맥류 결찰술 - 증례보고 - (Clipping of Basilar Trunk Aneurysm - Case Report -)

  • 양태기;김철진;안병조
    • Journal of Korean Neurosurgical Society
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    • 제30권sup1호
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    • pp.128-132
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    • 2001
  • 뇌기저동맥 체간부에 존재하는 동맥류는 매우 희귀하며 그 수술적 치료는 복잡한 해부학적 구조와 근접해있는 중요한 신경혈관 구조때문에 수술적 접근이 매우 어려운 부위이다. 산화 단층촬영과 자기공명영상의 발달은 두개저 병변을 정확히 진단할 수 있게 하였고 두개저 부위의 수술적 접근에 많은 발전을 가져오게 하였다. 뇌기저동맥 체간부에 존재하는 동맥류의 수술 방법중의 하나로 저자들은 소뇌와 측두엽의 견인이 적어 소뇌 부종을 극소화 할 수 있고 와우, 미로, 안면신경등의 구조물을 보존하여 청력손실, 안면신경마비등의 합병증이 없고 횡정맥동, S상정맥동의 보존뿐만 아니라 Labbe's 정맥을 보존할 수 있으며 수술시야가 비교적 좋은 장점들이 있는 후미로 전S상정맥동 경천막을 통한 추체로접근법을 이용하여 뇌기저동맥 체간부에 발생한 동맥류의 직접 결찰수술을 시행하여 좋은 결과를 얻었기에 문헌고찰과 함께 보고하는 바이다.

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직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구 (Study on the Bonding Interface in Directly Bonded Si-Si and Si-$SiO_2$ Si Wafer Pairs)

  • 주병권;방준호;이윤희;차균현;오명환
    • 한국재료학회지
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    • 제4권2호
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    • pp.127-135
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    • 1994
  • 직접 접합된 Si 기판들의 접합계면에 관하여 연구하였다. 경사 연마 및 결함묘사, 계면의 비등방성 식각, TEM 및 HR-TEM 등의 방법들을 이용하여 접합계면에 발생하는 계면결함과 과도영역, 여러형태의 void 들, 계면 산화막의 형성 및 안정화 과정등을 조사하였다. 또한 접합된 $Si-Sio_{2}$계면과 일반적인 $Si-Sio_{2}$계면의 형상등을 비교 검토하였다.

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수평 원형전열관의 핀효과에 의한 응축 및 비등 열전달촉진에 관한 연구 (2)-튜브외부 응축- (A Study on the Improement of Condensation and Boiling Heat Transfer on Horizontal Tube by Fin Effect(ll)-Shellside Condensation-)

  • 한규일;조동현
    • 대한기계학회논문집
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    • 제18권5호
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    • pp.1275-1287
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    • 1994
  • Heat transfer performance improvement by fin and grooves is studied for condensation of R-11 on integral-fin tubes. Eight tubes with trapezoidal shaped integral-fins having fin densities from 748 to 1654 fpm and 10, 30 grooves are tested. A plain tube having the same diameter as the finned tubes is also tested for comparison. R-11 condenses at saturation state of $32^{\circ}C$ on the outside tube surface cooled by inside water flow. All of test data ate taken at steady state. Beatty and Katz's, Rudy's and Webb's theoretical models are used to predict the R-11 condensation coefficient of tubes having 748, 1024 and 1299 fpm. The predicted value by Betty and Katz's model is within 10% of experimental values in this study at fpm<1024 and Rudy's model predicted the experimental data at fpm>1024 within 15%. The tube having fin density of 1299 fpm and 30 grooves has the best overall heat transfer performance. This tube shows the overall heat transfer coefficient of 11500 $W/m^{2}K$,/TEX> at coolant velocity of 3.0m/s.

垂直平板에서의 强制對流 膜沸騰 流動의 熱傳達解析 (Analysis of forced convective laminar film boiling heat transfer on vertical surface)

  • 이규식;최영돈
    • 대한기계학회논문집
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    • 제11권3호
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    • pp.425-436
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    • 1987
  • 본 연구에서는 강제대류가 있는 층류막비등유동을 벽면온도와 주수속도를 변 화시키며 수치해석하여 열전달계수와 유동특성을 구하였고, 열력학적 상태량들을 일정 하다고 가정하는 경우가 열전달계수에 어떠한 영향을 미치는가를 검토한 결과, 열전달 계수는 주수속도에는 큰 영향을 받지 않으나, 벽면온도와 열력학적 상태량의 변화에는 상당히 큰 영향을 받는 것으로 나타나고 있다.

사구체 기저막 비박화 소견을 보인 미세변화 신증후군에 관한 고찰 (A Study on the Association of Thin Glomerular Basement Membrane Abnormality with Minimal Change Nephrotic Syndrome)

  • 김창우;조민현;고철우;구자훈;곽정식
    • Childhood Kidney Diseases
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    • 제6권1호
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    • pp.48-55
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    • 2002
  • 목 적 : 비박화 사구체신증은 대개 혈뇨의 가족력이 있고 우성유전하며 소아 및 성인의 무증상성 혈뇨의 가장 흔한 원인중의 하나로 알려져 있다. 사구체 기저막의 비박화는 정상 성인에서도 보고되고 있고 또한 Alport 증후군의 초기, IgA 신병증 및 메산지움 증식성 사구체 신염등과 같은 다른 사구체 신장질한 시에도 나타난다고 한다. 그러나 사구체 기저막의 비박화와 미세변화 신증후군이 동반된 보호는 극히 희소하여 이에 본 연구는 사구체 기저막의 비박화와 미세변화 신증후군과의 여관관계를 살펴보고자 시행되었다. 대상 및 방법 : 대상환아는 1997년부터 2001년까지 5년간 경북대학교병원 소아과에 입원하여 신조직 검사상 미세변화 신증후군으로 확진된 49예로 하였으며 환아들은 모두 스테로이드 의존성 이든가 빈번한 재발형 이었다. 이중 8예에서 사구체 기저막의 현저한 비박화(사구체 모세혈관의 $50\%$이상)가 관찰되었으며 이를 제1군으로 하고 나머지 41예를 제2군으로 하여 이들 환아의 발병연령, 신조직 검사까지의 기간, 신질환의 가족력 및 혈뇨의 동반여부, 그리고 24시간 요단백 배설량, 혈청 알부민, 콜레스테롤등의 각종 검사실 성적을 비교 관찰하였다. 결 과 : 대상환아의 발병연령 및 성별분포는 제1군 $7.l{\pm}3.5세$, 제2군 $4.8{\pm}2.9세$로 제1군에서 다소 연령이 높았으나 통계적으로 유의하지 않았으며(P=0.056) 남녀비는 3:1로 양군에서 차이가 없었다. 혈뇨의 가족력은 제2군에서 2예에 있어서 관찰되었고 혈뇨의 빈도는 제1군에서 8예중 2예($25\%$)였고 제2군에서는 41예중 7예($17\%$)로 제1군에서 다소 높은 비율을 보였으나 통계적으로 유의하지는 않았다. 그외 BUN, creatinine, 24시간 뇨단백 배설량, 혈청단백, 혈청 알부민 및 T4/T8 비등의 각종 검사실 소건은 양군에서 유의한 차이는 없었다. 신조직검사 소견도 양군에서 의미있는 차이를 발견할수 없었고 제1군에서 사구체 기저막의 두께는 평균 $188{\pm}30nm$였다. 결 론 : 8예의 MCNS 환아들에게서 TGBM의 소견이 보였으며 같은 기간중 신생검 소견상 MCNS로 진단된 49예의 $16.3\%$에 해당되는 높은 빈도로서 이는 TCBM과 MCNS가 우연히 공존한다기 보다 서로 연관성이 있음을 시사한다고 하겠다. 또한 TGBM이 동반된 MCNS 8예 모두에서 전형적인 TGBMN의 임상상을 보여주지 않았음으로 TCBM이 MCNS를 유발한다기 보다는 MCNS에 나타나는 TGBM은 MCNS 그 자체로 초래되는 이차적인 소견일 것으로 생각된다.

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