• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.11a
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• pp.54-56
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• 2002

본 논문에서는 뇌압을 측정하기 위해 LC 공진을 이용한 압력센서를 제작하고 그 성능을 시험하였다. 원격 측정용 압력센서는 움직이는 전극역할을 하는 p+ 박막이 있는 실리콘 기판과 고정된 평면 코일이 있는 유리 기판으로 구성되어 있다. 압력에 따라 두 전극 간의 간격이 달라지고 이에 따른 캐피시턴스가 변화하여 공진주파수가 변화하게 된다. 원격 측정용 외부 안테나를 이용하여 측정회로의 공진 주파수에서 위상의 변화를 측정하여 압력을 측정한다. 상부기판은 실리콘 기판을 도핑하여 p+ 막을 형성하고 금속막을 증착하여 전극을 형성한 후 실리콘을 식각하여 완성하고. 하부기판은 유리 기판 위에 금속막을 증착한 후. 전기도금으로 평면 코일을 형성하고 다시 금속막을 증착하여 전극을 형성하여 제작한다. 압력을 변화시킬 때 전극간의 간격의 변화에 따른 공진주파수에서의 위상의 변화를 외부 안테나에 연결된 측정회로를 통해 측정한다. 측정결과 공진주파수인 160 Mhz에서 -0.08 $deg/mmH_2O$의 감도를 얻을 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.107-107
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• 2000

최근 반도체 소자의 고집적화 및 대용량화의 경향에 다라 MOSFET 소자 제작에 이동되는 게이트 산화막의 두께가 수 nm 정도까지 점점 얇아지는 추세이고 Giga-DRAM급 차세대 UNSI소자를 제작하기 위해 5nm이하의 게이트 절연막이 요구된다. 이런 절연막의 두께감소는 게이트 정전용량을 증가시켜 트랜지스터의 속도를 빠르게 하며, 동시에 저전압동작을 가능하게 하기 때문에 게이트 산화막의 두께는 MOS공정세대가 진행되어감에 따라 계속 감소할 것이다. 따라서 절연막 두께는 소자의 동작 특성을 결정하는 중요한 요소이므로 이에 대한 정확한 평가 방법의 확보는 공정 control 측면에서 필수적이다. 그러나, 절연막의 두께가 작아지면서 게이트 산화막과 crystalline siliconrksm이 계면효과가 박막의 두께에 심각한 영향을 주기 때문에 정확한 두께 계측이 어렵고 계측방법에 따라서 두께 계측의 차이가 난다. 따라서 차세대 반도체 소자의 개발 및 양산 체계를 확립하기 위해서는 산화막의 두께가 10nm보다 작은 1nm-5nm 수준의 박막 시료에 대한 두께 계측 방법이 확립이 되어야 한다. 따라서, 본 연구에서는 습식 산화 공정으로 제작된 3nm-7nm 의 게이트 절연막을 현재까지 알려진 다양한 두께 평가방법을 비교 연구하였다. 절연막을 MEIS (Medim Energy Ion Scattering), 0.015nm의 고감도를 가지는 SE (Spectroscopic Ellipsometry), XPS, 고분해능 전자현미경 (TEM)을 이용하여 측정 비교하였다. 또한 polysilicon gate를 가지는 MOS capacitor를 제작하여 소자의 Capacitance-Voltage 및 Current-Voltage를 측정하여 절연막 두께를 계산하여 가장 좋은 두께 계측 방법을 찾고자 한다.다. 마이크로스트립 링 공진기는 링의 원주길이가 전자기파 파장길이의 정수배가 되면 공진이 일어나는 구조이다. Fused quartz를 기판으로 하여 증착압력을 변수로 하여 TiO2 박막을 증착하였다. 그리고 그 위에 은 (silver)을 사용하여 링 패턴을 형성하였다. 이와 같이 공진기를 제작하여 network analyzer (HP 8510C)로 마이크로파 대역에서의 공진특서을 측정하였다. 공진특성으로부터 전체 품질계수와 유효유전율, 그리고 TiO2 박막의 품질계수를 얻어내었다. 측정결과 rutile에서 anatase로 박막의 상이 변할수록 유전율은 감소하고 유전손실은 증가하는 결과를 나타내었다.의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다. 20$0^{\circ}C$이상으로 증가시켜도 광투과율은 큰 변화를 나타내지 않았다.부터 전분-지질복합제의 형성 촉진이 시사되었다.이것으로 인하여 호화억제에 의한 노화 방지효과가 기대되었지만 실제로 빵의 노화는 현저히 진행되었다

• 한국생물공학회:학술대회논문집
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• 2000.04a
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• pp.546-549
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• 2000

Liposomes and proteoliposomes, artificial membranes, can interact with many solutes, such as drugs, peptides and proteins. Immobilization of (proteo)liposomes as supramolecular aggregates on gold surfaces have potential applications in nanotechnology and biosensors. We demonstrate a quartz crystal analyzer (QCA) method to monitor the construction of multi layers of unilamellar liposomes based on avidin-biotin binding on gold surface using quartz crystal microbalance(QCM). Thus, QCA provides an on line and efficient method to detect the protein membranes construction and have applications to biosensing system.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.02a
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• pp.178-179
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• 2003

단일기본모드 수직공진표면광레이저(VCSELs)는 광네트워크, 광연결, 광저장 및 레이저 프린팅 등 다양한 분야에 응용이 가능한 소자로서 많은 관심과 연구가 증대되고 있다. 일반적으로 VCSELs은 공간홀버닝(spatial hole burning)과 열 렌즈효과(thermal lensing)로 인하여 단일기본모드로 동작하기가 쉽지 않다. 지금까지 여러 가지 연구가 진행되고 있는데 대표적인 예로서 VCSEL의 공진기를 길게 하거나 출력경 표면을 정교하게 식각하는 방법, 그리고 이온 주입구경과 산화막을 함께 사용한 것들이 있다. (중략)

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.26 no.1
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• pp.1-7
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• 2007

This paper presents a study on acoustic characteristics and sound generation mechanism of Cryptotympana atratas' songs which cause noise problems in summer days. The waveforms & FFT of Cryptotympana atratas' songs in nature were analyzed, and the actions of tymbals were visualized by the high speed camera. In order to know resonance frequency of the abdominal cavity of male Cryptotympana atrata, the sine sweep test was done. It was observed from the experimental results that Cryptotympana atrata's two tymbals act asymmetrically with respect to time & shape, and make a variety of frequencies every time it vibrates. It was also shown that Cryptotympana atratas' have a structure that cause resonances sounds only in a $7{\sim}7.5 kHz$ bandwidth.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.5 no.4
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• pp.71-79
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• 1996

The mechanism of electrochemical polymerization of polypyrrole was analyzed using Q.C.A. via measuring the resonant frequency and resonant resistance of AT-cut quartz crystal, whose electrodes were fabricated with indium tin oxide by sputtering method. The quantity of polymerized polypyrrole was able to be calculated from the resonant frequency and the viscoelasticity of polypyrrole film from resonant resistance. We found that the elastic film is formed at the first stage of the polymerization, but transformed to viscoelastic film later and that this transition repeated at some point. From these results, it was confirmed that the rheological characteristics of electrochemically polymerized polypyrrole thin film can be analyzed using Q.C.A.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.18 no.1
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• pp.71-76
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• 2007

We have demonstrated the resonant resistance pattern changes of the polymer film in the quartz crystal analysis by the function of the molecular polarity phase transition phenomena. PVA and PMMA/PVAc blend films were used as hydrophilic and/or hydrophbic film, respectively. In the comparison between the hydrophilic shows the pattern changes near by the phase transition temperature. For more detailed explanation, the static capacity in the oscillation parameter was measured and the morphology of Au quartz crystal electrode was studied by AFM. It is suggested that the different resonant resistance pattern change is reliable in the condition of different polarity, and the conclusion is important to analysis of the real mechanism a normal quartz crystal experiments.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.24 no.5
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• pp.487-493
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• 2004

This study was conducted to develope a capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) which enable to high efficient non-contact transmit and receive the ultrasonic wave in air. Theoretical analysis and finite element analysis of the behavior of membrane (such as resonance frequency, membrane deflection, collapse deflection and collapse voltage) of the cMUT were performed. The design parameters of the cMUT such as the dimension and thickness of membrane, thickness of sacrificial layer, thickness and size of electrode were estimated. The resonance frequency of the membrane increased as the thickness of the membrane increased but decreased as the diameter of the membrane increased. The deflection of the membrane increased as d-c bias voltage increased. The collapse voltage of the membrane was analyzed.

• Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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• autumn
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• pp.279-282
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• 2004

산조 가야금의 경우 몸체의 뒷판에 세 개의 구멍(공명혈)이 있다. 이 구멍은, 몸체를 일정한 부피를 가진 용기로 보았을 때, 그 용기의 입구의 단면적, 다시 말해, 헬름홀츠 공진기 (Helmholtz Resonator) 입구의 단면적과 같다. 본 논문에서는 이 공명혈의 역할을 알아보기 위해, 1) 우선 기성의 산조 가야금 몸체의 세 공명혈을 모두 막은 상태, 일부만 막은 상태, 열려있는 상태에서의 몸체의 충격응답 전달함수를 측정, 분석하여 개략적으로 알아보았고, 이어서 2) 뒷판에 구멍이 전혀 없는 실험용의 산조 가야금 몸체의 제작을 의뢰하여, 뒷판 중앙에 구멍을 점차적으로 넓게 뚫어가면서, 각 단계별로 몸체의 충격응답을 측정하여, 구멍의 크기와 몸체의 충격응답 전달특성 변화 간의 상관관계를 분석 해보았다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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• v.18 no.12
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• pp.3202-3218
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• 1994

Mode shapes and natural frequencies of vibrating laminated composite plates are taken using real-time and time-average holographic interferometry. Debonds and delamination in the laminated plates are measured nondestructively. During holographic testing of composite plates, it has been found that the conditions for the local resonance in debonds are strongly dependent on the frequency of excitation. A membrane resonance model was proposed to describe this behavior. Relations between characteristic length according to the size, shape of debonds and membrane resonance frequency are presented. Several experiments were performed to verify the membrane resonance model. The agreements between the predicted excitation frequency and the observed resonance frequency are good. The experimental results show that higher stresses and strains due to local resonance lead to the debond detection.