• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2001.02a
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• pp.44-45
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• 2001

실리카 마이크로 스피어는 손실이 대단히 적은 초고품위 공진기로 알려져 있다. 최근의 실험들에 의하면 실리카 마이크로 스피어는 공진기 Q 값이 $10^{9-10}$ 정도인데, 이는 현재까지 만들어진 마이크로 공진기들 중에서 가장 높은 값이다. 최근 마이크로 스피어는 저손실의 공진기로서 문턱조건이 없는 레이저 연구에 활용되고 있으며, 레이저와 좁은 공명 모드 선폭을 이용하여 레이저 주파수 안정화 및 광섬유 결합기 등에 활용되고 있다. 또한 Cavity-QED 연구와 Cavity-QED 효과를 이용한 소수의 양자점 레어저 연구에도 활용도고 있다. (중략)략)

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.23 no.4 s.181
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• pp.14-21
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• 2006

• Proceedings of the Korean Institute of Navigation and Port Research Conference
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• 2022.11a
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• pp.181-183
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• 2022

항해통신장비는 수년간 유선형 핸드마이크를 사용하여 왔다. 시대 변화에 맞추어 근거리 통신기술을 접목한 무선형 핸드마이크개발로 사용자의 편의성을 증대하였다. 저전력근거리 통신기술 접목으로 무선화 가능성 확인 및 유선형 핸드마이크 겸용으로 가청능력 향상 및 통신감도에 대한 차이점 식별을 최소화 하였다.

• 전기의세계
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• v.31 no.12
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• pp.817-822
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• 1982

마이크로 컴퓨터 입출력 방법을 논의한다. 세가지 입출력 방법으로 Programmed I/O와 Interrupt와 DMA에 대해서 설명하고, 각 마이크로 프로세서의 입출력의 특징을 비교한다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2003.11a
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• pp.75-75
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• 2003

본 연구에서는 대기 중 극 미량으로 존재하는 환경 유해 가스 성분을 검출할 수 있는 미세 소자로의 응용을 위해 마이크로 칸티레버를 제작하고 가스 센서로의 활용 가능성을 검토하였다. 마이크로 칸티레버는 크게 구동층 캐패시터로서 대표적인 압전 재료인 Pb(Zr,Ti)O$_3$ (PZT)를 사용하고 SiNx 박막을 지지층으로 하는 형태로 제작되었다. 제작된 마이크로 칸티레버는 치수 및 형상에 따라 17~29 KHz 의 기본 공진 주파수 값을 나타내었다. Electron beam evaporator를 이용한 copper (Cu) 박막의 단계적인 증착을 통해 칸티 레버 표면에 질량을 증가시키고 그에 따른 마이크로 칸티레버의 공진주파수 변화를 관찰한 결과 질량 증가에 대해 34 Hz/ng의 선형적인 주파수 감소를 나타내었으며, 이로부터 694.4 $\textrm{cm}^2$/g 의 gravimetric sensitivity factor를 얼을 수 있었다. 마이크로칸티레버의 가스 감지능력 시험을 위해 가스 흡착층으로 일차 알콜류의 vapor를 흡착 하는 것으로 보고된 poly methyl metacrytate (PMMA)를 마이크로 칸티레버 표면에 코팅하였다. 마이크로칸티 레버의 기본 공진 주파수 및 PMMA 흡착층 형성과 가스의 흡착에 따른 주파수 변화는 마이크로 칸티 레버로부터 의 전기적 신호를 이용하는 복소 임피던스 분석에 의해 측정되었다. PMMA가 코팅된 마이크로 칸티레버는 ethanol 및 methanol vapor 의 농도가 증가함에 따라 선형적인 공진주파수 감소를 나타내었으며, methanol vapor 의 경우 0.06 Hz/ppm 의 가스 검출 감도를 얻을 수 있었다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.31 no.9
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• pp.32-37
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• 2003

The trend of miniaturization has been applied to the research on micro rockets resulting in prototype rockets fabricated by MEMS processes. In this paper, the development of three-dimensional micro rockets using micro milling as well as the results of combustion and flight tests are discussed. The body of rocket was made of 6061 aluminum cylinder. The three-dimensional micro nozzles were fabricated on brass by micro endmill with 127${\mu}m$ diameter. Two different micro nozzles were fabricated, one with 1.0mm of throat diameter and the other with 0.5mm. The total mass of rocket was 7.32g and that of propellant was 0.65g. The thrust-to-weight ratio was between 1.58 and 1.74, and the flight test with 45 degree launch angle form the ground resulted in 46m-53m of horizontal flight distance

• Journal of the Korea Convergence Society
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• v.11 no.7
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• pp.369-376
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• 2020

This study was conducted to verify the effectiveness of learning using micro-running. To this end, the learning materials of the class were produced in three forms: micro-learning, existing e-learning, and handouts, to compare the learning satisfaction and learning effect for college students at Y and K universities located in K-do. First, when using learning materials in the form of micro-learning, learning satisfaction was the highest. Second, the learning effect was effective for both e-learning and micro-learning. And micro-learning was more effective when both types of learning materials were used. The results of this study look forward to activating micro-learning in university by researching micro-learning of the new learning type that emerged as a social phenomenon, highlighting the importance of micro-learning and presenting basic data for subsequent study.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.8 no.1
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• pp.85-91
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• 1998

인이 높은 농도로 도핑되어진 LPCVD 다결정 실리콘 박막의 열팽창 계수를 마이크로 게이지법을 이용하여 측정하였다. 기존의 박막의 열팽창 계수 측정 법에서는 박막이 기판에 증착되어진 상태에서 측정이 이루어지므로, 기판의 탄성계수와 열팽창계수를 미리 알고 있어야 한다. 이에 비해 마이크로 게이지법에서는 박막의 열\ulcorner창 계수를 도출하기 위하여 기판의 탄성계수 값과 열팽창 계수 값을 필요로 하지 않는다는 장점이 있다. 마이크로 게이지법에서는 전류를 가할 경우 줄 발열에 의해 발생한 마이크로 게이지에의 변위를 측정하고, 그 때 계산된 마이크로 게이지의 평균 온도의 관계에서 열팽창 계수를 계산한다. 다결정 실리콘 박막의 열팽창 계수는 2.9 x $10^{-6}$$^{\circ}C$로 측정되었으며, 이 값들의 표준편차는 0.24x$10^{-6}$$^{\circ}C$였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2004.07b
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• pp.1203-1206
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• 2004

마이크로 컬럼은 차세대 리소그라피 기술의 하나로 마이크로 컬럼의 기능이 기존의 전자빔 컬럼을 능가하여 주목을 받는다. 초소형 전자빔 컬럼은 기존의 전자빔 컬럼과 비교하여 수차, 렌즈의 크기 및 원형에 성능이 보다 민감하게 반응하므로 정확한 정렬과 가공 기술은 초소형 전자빔 마이크로 컬럼의 성능에 매우 중요하다. 그러나, 기준치 piezoelectric transducer (PZT)나 scanning tunneling microscopy (STM)을 이용한 정렬 기술은 매우 복잡하고 어려운 단점이 있다. 본 연구에시는 레이저 회절 패턴방식과 레이저 정밀 가공으로 실리콘 렌즈와 파이렉스 spacer를 정확하게 교대로 조립하였으며, 이 방법으로 완성된 마이크로 컬럼의 STEM동작을 조사하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.265-265
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• 2004

최근 IT산업으로 대표되는 광통신 및 광신호 전달에 이용되는 광 반사경 및 렌즈어레이, 광가이드 판넬(BLU, FLU)등 광부품의 수요가 급증하고 있고, 이의 생산을 위한 다양한 제조공정이 연구 개발되고 있다 근년까지 이러한 마이크로 광부품의 제조방법은 포토리소그래피, 에칭기술을 베이스로 한 MEMS 기술, PDMS를 이용한 복재기술에 크게 의존하고 있다. 기계적 가공법으로는 오래전부터 초정밀 경면 선삭이나 연삭에 의한 마이크로 렌즈와 미세 패턴의 금형가공이 이루어져 왔다.(중략)