• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2003년도 춘계학술대회
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• pp.1909-1914
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• 2003

Bubble growth on microheater has been experimentally investigated in this study. The experiment was performed using platinum micro heaters having dimensions of $100{\times}10{\times}0.2{\mu}m^3$ with constant heat flux. A high speed video camera was used to observe bubble growth at 250 frames per second. Microheater temperature was measured at the rate of 300Hz with a data acquisition system. When heater temperature was $139^{\circ}C$ a bubble was nucleated in the liquid FC-72. The temperature profiles and the high speed camera images were combined to explain heat transfer and bubble growth on microheater.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2004년도 춘계학술대회
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• pp.1464-1469
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• 2004

In this study, micro square heaters having dimensions of $65{\times}65{\mu}m^2$and $100{\times}100{\mu}m^2$ were fabricated and bubble nucleation experiments on the heaters were performed. Bubble nucleation temperature was also measured using a bridge circuit and the photographs of bubble nucleation and subsequent growth were taken by a camera with a flash unit. Measured bubble nucleation temperatures were found to be closer to the superheat limit of working fluid (FC-72). Also quasi-1D analyses for the square heaters were performed. The quasi-1D analysis yielded proper temperature distribution of the square heater at steady state, however failed to predict the temperature rise up to the steady state. Similar time dependent temperature can be obtained with proper value of thermal diffusivity. For the $100{\times}100{\mu}m^2$ square heater, nucleation of several bubbles was observed while only one bubble was observed to be nucleated on $65{\times}65{\mu}m^2$ heater.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제40권12호
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• pp.17-23
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• 2003

서로 다른 동작온도를 가지는 12개의 감지막으로 구성된 고집적형 센서어레이(다이아프램의 크기가 3×5㎟가 설계되고 열동작의 관점에서 최적화되었다. 이 센서어레이는 에칭된 실리콘기판과 접합된 얇은 유리기판 위의 중앙에 하나의 히터가 위치하고 양쪽에 동작온도가 다른 감지박막이 위치하도록 설계됨으로써 개별 마이크로센서 보다 동시에 훨씬 많은 정보를 얻을 수 있는 장점을 가지고 있다. 제안된 마이크로센서 어레이는 다이아프램의 중앙에 하나의 히터만을 가지는 구조를 하고 있기 때문에 고집적 어레이구조를 실현하면서도, 히터를 중심으로 감지박막의 동작온도에 따라 다양한 감지특정을 얻을 수 있다. 또 히터 양쪽의 감지박막의 종류를 다르게 함으로써 다이아프램위의 전 감지막이 모두 다른 감지특성을 가지게 되어 고집적 센서어레이를 구현하기 용이한 구조로 밝혀졌다.

• 한국진공학회지
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• 제20권2호
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• pp.106-113
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• 2011

본 논문은 마이크로히터표면의 실시간 온도분표측정을 위한 마하젠더 간섭계 기반의 off-axis 디지털홀로그래피기술에 대한 것이다. 제안된 방법은 재료표면의 온도분포에 직접적인 함수인 2차원 위상 분포를 측정하고, 이를 통해 실시간으로 재료표면의 온도 map을 측정할 수 있다. 본 논문에서는 섭씨 20도에서 60도 사이의 온도구간에서 마이크로히터 표면의 위상변화와 실제표면온도가 선형적인 관계가 있음을 실험적으로 보였다. 제안된 방법은 재료표면의 온도분포를 실시간으로 측정하고자 하는 다양한 응용분야에 적용될 수 있을 것으로 기대된다.

• 한국전산유체공학회지
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• 제19권4호
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• pp.1-7
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• 2014

A numerical study of transient conjugate heat transfer on micro heater in a micro-channel substrate under a sinusoidal heat load was conducted. It was found that the time constant is not affected by the maximum heating magnitude of the sinusoidal heat load. However, the time constant increases with low duration of the sinusoidal heating period and low Reynolds number. Moreover, there is a threshold where a heater temperature do not reach to time constant at low thermal diffusivity, low flow rate, and low pulse duration of the sinusoidal heating. The time constant should be considered for transient convective heat transfer under transient sinusoidal heat load in a micro heat sink.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2003년도 추계학술대회
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• pp.1010-1015
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• 2003

Bubble growth on microheater has been experimentally investigated in this study. The experiment was performed using platinum microheaters having dimensions of 300 ${\mu}m$ or 50 ${\mu}m$ in length, 20 ${\mu}m$ or 5 ${\mu}m$ in width, and $0.2{\pm}0.01$ ${\mu}m$ in thickness. A high speed video camera was used to observe bubble growth at 2,000 frames per second. Microheater temperature was measured at the rate of 300 Hz. with a data acquisition system. Bubble nucleation frequency increased with working fluid temperature. Although the slope of temperature drop was similar in all cases, the magnitude of temperature drop was different. The temperature profiles and the high speed camera images were combined to explain temperature drop.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.627-628
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• 2013

• 한국추진공학회:학술대회논문집
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• 한국추진공학회 2007년도 제29회 추계학술대회논문집
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• pp.225-228
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• 2007

마이크로 고체 추진제 추력기는 현재의 MEMS 기술로 가장 실현 가능성이 높은 마이크로 추력기이다. 마이크로 고체 추진제 추력기의 기본 요소로는 마이크로 노즐, 마이크로 점화기, 연소 챔버 그리고 고체 추진제이다. 마이크로 노즐과 연소 챔버는 감광유리의 이방성 식각을 통해 제작이 되었다. 마이크로 점화기는 마이크로 유리 박막 백금 히터를 사용하였다. 요소들의 제작 공정을 확립 후, 요소들을 통합하여 추력기를 개발하였다. 추력기의 연소 실험을 수행하여 성공적으로 연소가 일어남을 확인하였다.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2008년도 추계학술대회A
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• pp.1957-1962
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• 2008

As a field of MEMS, micro-heater fabricated by Au is being introduced and developed in recent years. Previous studies about thermal properties of various forms of micro-heater were not sufficient. In this work, numerical and experimental analysis of the heat generation and the temperature distribution of micro-heater packages for 8 different geometric cases were studied. We fabricated a micro-heater package with silicon wafer, on which Cr/Au layer was laminated before 8 geometric forms of micro-heater were patterned. In each cases, temperature distribution was measured with IR thermal camera. According to the experimental results, which show a good agreement with the results analyzed by CFD, it was found that at 0.5W, the temperature of micro-heater chip which contained $20000{\mu}m$-long, serpentine shaped micro-heater was elevated to a relatively high temperature of $78^{\circ}C$ Consequently, we proposed a geometry of micro-heater which has effective thermal characteristics.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제14권3호
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• pp.57-64
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• 2007

Si 칩에 박막히터를 형성하고 이에 전류를 인가하여 LCD (liquid crystal display) 패널의 유리기판은 가열하지 않으면서 Si 칩만을 선택적으로 가열함으로써 Si 칩을 LCD 패널의 유리기판에 실장 하는 새로운 COG 공정기술을 연구하였다. $5\;mm{\times}5\;mm$ 크기의 Si 칩에 마그네트론 스퍼터링법으로 폭 $150\;{\mu}m$,두께 $0.8\;{\mu}m$, 전체 길이 12.15 mm의 정방형 Cu 박막히터를 형성하였으며, 이에 0.9A의 전류를 60초 동안 인가하여 Si칩의 Sn-3.5Ag 솔더범프를 리플로우 시킴으로써 Si 칩을 유리기판에 COG 본딩하는 것이 가능하였다.