Fabrication of Micromixer pattern with Micro Structure Using Grayscale of DMD based Maskless Lithography Process (DMD기반 Maskless Lithography 공정에서의 Grayscale을 이용한 미세 구조물을 갖는 마이크로 믹서 패턴 제작)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2013.05a
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- pp.243-244
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- 2013