Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.243-244
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Fabrication of Micromixer pattern with Micro Structure Using Grayscale of DMD based Maskless Lithography Process

DMD기반 Maskless Lithography 공정에서의 Grayscale을 이용한 미세 구조물을 갖는 마이크로 믹서 패턴 제작

조용규 (인하대학교 기계공학과) ;
조명우 (인하대학교 기계공학부) ;
하석재 (인하대학교 기계공학과) ;
채악 (인하대학교 기계공학과) ;
여인규 (인하대학교 기계공학과)

Published : 2013.05.29

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Abstract

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