Brittle materials, especially single-crystal silicon wafer, are widely used for sensors, IC industry, and MEMS applications. e general machining process of crack easy materials is by chemical agents, but it is hazardous and time consuming. Also, it is difficult to get high aspect ratio micro structure. As an alternative tool, an AJM(Abrasive jet machining) is promising method in terms of high aspect ratio and production cost. In this study, to get more precise detail compared to general AJM, photo polymer mask, SU-8, used in photolithography was applied in AJM. Process parameters such as abrasive diameter, air pressure, nozzle diameter, flow rate of abrasive in AJM and a variety of conditions in spin coating were decided. Finally, micro channel and mixer was fabricated to see the efficiency of the AJM with photo polymer mask.
This study was conducted for obtaining the optimized data to build the mixer or micro fluid device as measuring the three dimensions flow field in micro mixer. To acquire the rapid diffusion on the region of low Reynolds (Re < 100), the staggered herringbone mixer using chaotic advection was selected in this case. At first, by conducting the numerical analytical virtual experiment using CFD-ACE+, three dimensions flow field in the micro mixer was estimated As this flow field was proven using defocusing particle tracing method, the behavior of micro flow with three dimensional aspects could be analyzed. Numerical analysis and flow pattern in the micro mixer by experimental verification made to be able to analyze the chaotic advection. These can be important sources for building more optimized form. Verifying the information of three dimensional flow structure, these information can be used as the data for developing and improving the $\mu$ -TAS.
본 발명은 화장실의 세면대에서 사용된 세척수 및 하수를 중수도 수질기준에 적합하도록 처리하여 화장실 용수로 재활용하는 화장실의 중수도 시스템에 관한 것이다. 화장실의 중수도 시스템의 구성을 살펴보면, 세면대에서 사용된 세척수 및 하수가 유입되는 반응조와, 상기 반응조로 유입된 세척수 및 하수를 살균 및 소독하는 마이크로버블 오존 발생장치와, 살균 및 소독된 처리수를 정장하는 처리수조와, 상기 처리수조에 저장된 처리수를 화장실 용수로 공급하는 용수공급펌프를 포함한다. 이 중에서 상기 마이크로버블 오존 발생장치는, 외부에서 유입된 공기를 정화하는 에어필터와, 상기 에어필터에서 정화된 공기를 공급하는 에어펌프와, 상기 에어펌프를 통해 유입된 공기에 자외선을 조사하여 오존을 발생시키는 오존발생기와, 상기 오존발생기에서 발생된 오존을 세척수 및 하수에 혼합시키는 기액혼합펌프와 상기 오존과 상기 세척수 및 상기 하수의 혼합 효과를 극대화하기 위한 라인믹서로 구성된다. 이와 같이 구성된 본 발명에 의한 화장실의 중수도 시스템은 상수(上水)의 소비량을 줄이고 하수(下水)의 발생량을 감소시켜 경비절감의 효과를 얻을 수 있고, 지하수의 고갈 및 생활용수의 증가에 따른 물 부족 현상에 대해 능동적으로 대처할 수 있다. 특히, 재활용된 화장실 용수에는 오존이 함유되어 화장실 내의 악취제거, 살균 및 소독효과가 있으며, 외부로 배출되는 세척수 및 하수에 포함된 유지성분을 제거하여 환경오염을 방지할 수 있다.
액체탱크의 레벨을 정밀측정하는 데 FMCW(Frequency Modulated Continuous Wave)를 이용하고자 한다. 우리는 1GHz 대역폭으로 Sweep하는 Frequency Source Module을 개발하여 테스트 중이다. 개발한 송수신 모듈은 주파수의 송수신을 위한 주요부품들로 구성되는데, VCO(Voltage Controlled Oscillator), 서큘레이터(Circulator), 필터(Filter), 전력분배기(Power Divider), PLL(Phase Locked Loop)제어부, 믹서, 증폭기 등이 그것이다. 이들 부품들이 위치한 RF Board와, 패치로 구성한 안테나를 이용하여 마이크로웨이브 신호를 송수신할 수 있으며, 송수신한 신호 간의 차주파수(beat frequency)성분을 측정하면 거리정보를 획득할 수 있다. 차주파수의 아날로그신호는 DSP를 이용하여 FFT를 수행하여 주파수 성분을 찾아 거리계산을 하도록 개발하였다. 거리 측정의 성능에 영향을 미치는 가장 큰 요소는 안정된 주파수를 만들어 낼 수 있느냐 하는 것이다. 본 논문에서는 제작한 VCO 모듈을 비롯한 개발 중인 각 모듈들을 소개하였다. 향후 VCO의 선형성 개선과, 난반사에 대한 Echo Cancel 알고리듬을 적용하여 제품의 상용화를 목표로 한다.
본 논문에서 우수한 측파대와 반송파 억압을 갖는 광대역 단측파대 믹서(SSM)의 설계 방법을 제시한다. 균일한 출력 평탄도를 위해 4개 대역 분할 구조를 제안한다. 마이크로 오피스를 이용한 이 구조의 회로 시뮬레이션을 통해 만족스러운 결과를 도출하였고, 이 결과에 근거하여 SSM을 구현하였으며 시험을 수행하였다. 측정된 결과는 시뮬레이션 결과와 잘 일치함을 보여준다. 우리는 또한 두 SSM(M사 SM0218LC1CDC SSM과 제작 SSM)을 비교하였다. 제작된 SSM은 비교 SSM에 비해 약 3.3배 크지만, 측파대 억압과 반송파 억압은 각각 3 dBc, 8 dBc 우수한다.
용액형 주입재의 경우 침투성은 우수하나, 현탁액형 주입재에 비하여 강도와 내구성이 현저하게 떨어지기 때문에 지반강도증대 및 차수효과를 얻기가 어렵다. 그러므로 현탁액형 그라우팅의 침투성 향상과 경제성을 고려하여 현장에서 초미립화된 주입재를 제조하는 분쇄기술의 실용화가 절실히 요구되고 있다. 따라서 본 연구에서는 현장에서 적용될 수 있는 습식분쇄기를 이용하여 피분쇄물의 물시멘트비와 분쇄장비의 분쇄시간과 분쇄속도를 조정하여 최적분쇄능력을 파악하고 피분쇄물의 점도, 침투성 및 일축압축강도 등과 같은 제조인자별 물리적 특성을 평가하였다. 또한, 보통포틀랜드시멘트를 현장에서 초미립화 할 수 있는 마이크로 습식분쇄기와, 뭉쳐진 입자를 강제로 분리할 수 있는 고속전단믹서를 현장에 적용하여 전기비저항탐사와 변수위투수시험으로 주입효과의 변화를 검토하였다. 그 결과 침투효과가 대단히 우수하였고 고속전단믹서를 사용한 경우 주입재의 입자분리가 뛰어남을 알 수 있었다.
MEMS 기술의 향상과 함께 $\mu$-TAS(Micro Total Analysis System)가 개발 되어 의료 및 생물학 분야가 급속하게 성장했다. $\mu$-TAS의 한 분야로 Chip 위에서 소량의 sample과 반응물을 가지고 혼합공정과 분석공정이 이루어지는 LOC(Lab on a chip)에 관한 연구는 활발하게 연구되어진다. LOC는 마이크로 펌프 와 마이크로 믹서와 같은 microfluidic 장치들로 구성된다. Microfluidic 시스템의 유동이 층류 유동이므로 유체상태의 반응물들을 효율적으로 혼합하고 공급하는 것이 어렵다. 본 논문은 이송 및 혼합이 동시에 이루어지는 MHD micropump의 설계와 제작에 관해 제시하였다. 최종 개선사양은 상용 CFD 프로그램의 해석결과를 통하여 결정하였다.
티넬다이오드를 마이크로 웨이브 발진기로 동작시키면서 출력이 복사되어 이동물체에서 반사할때 변화신호를 티넬다이오드에 주입하여 부성저항영역에서 혼합시키는 경우 이동물체를 포함하는 전체계의 임퍼턴스와 발진조건, 주파수 변환 이론을 고찰했다. 터넬다이오드름 2.035GHz, 0.1mw로 발진시키고 이동물체반사신호와 등가인 신호발생기는 125MHz 낮게 발광시켰다. 입연신호크기에 따른 변환손실은 대신호주입 경우 약 67db였다.
본 연구에서는 입자성 오염물질을 다량 함유하고 있는 초기강우 유출수를 처리하기 위한 수처리 시설로 고속복합응집장치를 개발하였다. 고속응집복합장치의 요소기술은 마이크로 버블, 급속교반장치(인라인믹서), 전기촉매를 이용한 부상촉진장치, 볼텍스 흐름 등으로 구성되며, 기술 원리는 응집제에 의해 오염물질을 응결, 응집, 부상시켜 스컴을 제거하는 일반 응집 원리와 유사하다. 본 기술의 특징은 교반, 혼화조, 응집제를 1개의 조에 컴팩트하게 구성하여 체류시간을 10분 이내로 단축하였고, 볼텍스(voltex) 흐름을 이용한 선회류와 루버홀 형태의 스크린을 적용하여 응집효과를 극대화하였으며, 플럭에 의한 막힘이 없이 스크리닝이 이루어질 수 있도록 하였다. 또한, 부상촉진장치(전기유도)를 이용해 응집 플럭의 부상효과를 상승시켰고, 감속기와 일체화된 내통스크린이 선회류와 반대 방향으로 회전하면서 볼텍스 흐름의 가속효과에 의한 스크린 폐색 방지 및 응집부상 효율을 향상시킬 수 있도록 설계하였다. 부상슬러지는 별도의 플럭 제거 설비 없이 스크린 내통 회전에 이용되는 감속기에 부착된 스컴 제거기에 의해 동시 제거가 가능하며, 응집부상 처리수는 장치 가장 바깥 외곽에 충진된 필터층에서 최종 여과되어 방류되도록 구성함으로서 모든 처리공정이 단일 장치 내에서 이루어지도록 구성하였다. 본 고속복합응집장치는 전체 규격 ¢ $1000{\times}2,000mmH$의 시제품이 제작되어 현재 시흥소재 매화저수지에서 성능평가를 실시하고 있다.
The paper reports on a new type of combinatorial chaotic and serpentine micromixer. Such a new and novel micromixer is simple to fabricate and easy to use. The micromixer is characterized and visualized with the help of the Micro-LIF technique. The new micromixer will e further applied to lab-on-chip device. The mixing capabilities of this mixer is about 30-33%.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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