• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.08a
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• pp.265-265
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• 2008

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.11 no.1
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• pp.54-59
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• 2002

This paper describes a new process technique for batch process of SOI(Si-on-Insulator) structures with buried cavities for MEMS(Micro Electro Mechanical System) applications by SDB(Si-wafer Direct Bonding) technology and electrochemical etch-stop. A low-cost electrochemical etch-stop method is used to control accurately the thickness of SOI. The cavities were made on the upper handling wafer by Si anisotropic etching. Two wafers are bonded with an intermediate insulating oxide layer. After high-temperature annealing($1000^{\circ}C$, 60 min), the SDB SOI structure with buried cavities was thinned by electrochemical etch-stop. The surface of the fabricated SDB SOI structure have more roughness that of lapping and polishing by mechanical method. This SDB SOI structure with buried cavities will provide a powerful and versatile substrate for novel microsensors arid microactuators.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.17 no.5
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• pp.408-418
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• 2008

The rectangular resonant cavity was designed and characterized as a microwave plasma source for focused ion beam. The optimum cavity was calculated analytically and analyzed in detail by using HFSS(High Frequency Structure Simulator). Since the resonant cavity can be affected by the permittivity of quartz chamber and plasma, the cavity is designed to be changeable in one direction. By observing the microwave input power at which the breakdown begins, the optimum cavity length for breakdown is measured and compared with the calculated one, showing in good agreement with the optimum length reduced by 10cm according to the permittivity change in the presence of quartz chamber. The shape of breakdown power curve as a function of pressure appears to be similar to Paschen-curve. After breakdown, plasma densities increase with microwave power and the reduced effective permittivity in the cavity with plasma results in larger optimum length. However, it is not possible to optimize the cavity condition for high density plasmas with increased input power, because too high input power causes expansion of density cutoff region where microwave cannot penetrate. For more accurate microwave cavity design to generate high density plasma, plasma column inside and outside the density cutoff region needs to be treated as a conductor or dielectric.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.40 no.6
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• pp.383-389
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• 2016

Based on a surface design with rectangular cavities and channels, we investigated the effects of gravity and capillary pressure on pool-boiling Critical Heat Flux (CHF). The microcavity structures could prevent liquid flow by the capillary pressure effect. In addition, the microchannel structures contributed to induce one-dimensional liquid flow on the boiling surface. The relationship between the CHF and capillary flow was clearly established. The driving potentials for the liquid supply into a boiling surface can be generated by the gravitational head and capillary pressure. Through an analysis of pool boiling and visualization data, we reveal that the liquid supplement to maintain the nucleate boiling condition on a boiling surface is closely related to the gravitational pressure head and capillary pressure effect.

• Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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• 2004.11a
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• pp.60-60
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• 2004

• The Science & Technology
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• no.5 s.408
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• pp.8-9
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• 2003

자생식물에서 간경화 치료물질 개발/ 식물 분류학지 남북 공동 편찬/ 학교 집단 식중독 원인은 바이러스/ 위장질환 진단용 마이크로 소자 개발/ 국내 멸종 추정 '초령목' 제주서 발견/ 인터넷 사이트, 커뮤니티 뜬다/ 과학고, 영재반 이수자에 입학 혜택/ 성인병 '생활습관병'으로 바꾼다

• The Science & Technology
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• no.7 s.410
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• pp.52-57
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• 2003

기술로 세계 시장을 선점하기 위한 정부의 전략기술개발 사업인 '21세기 프런티어 연구개발사업'이 추진 3년만에 조금씩 성과를 나타내고 있다. 프런티어 사업은 현재 총 19개 과제로 10년간 연구가 진행되는 장기과제로 구성되어 있다. 연구개발은 과학기술부와 민간이 공동으로 수행하며 여러 연구 주체가 참여한다. 과제별로 사업단이 구성돼 총괄, 지휘, 통합하는 역할을 한다. 그 첫 번째로 1단계 연구를 끝낸 '지능형 마이크로시스템 개발사업' (사업단장 박종오, 한국과학기술연구원)의 성과와 전망을 알아본다.

• Journal of the Korea Convergence Society
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• v.6 no.1
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• pp.29-34
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• 2015

As smart grid techniques developed, public attention is concentrating on energy efficiency. So it is necessary to study on new renewable energy in order to manage the energy within micro grid consisting smart grid. Among them, small hydro energy has the advantage of being installable anywhere depending the amount of water used by the users within micro grid. This study examines if the measured value is appropriate for small hydro power generation by measuring generation quantity and operation rate of generator based on the sewage flow used by apartments and multi-unit dwellings where those users live. Some appropriate apartments and multi-unit dwellings generate electricity with small hydro generator using sewage as potential energy. This study intends to suggest more effective management by introducing energy management system and electricity storage device of micro grid.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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• 1999.10c
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• pp.36-38
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• 1999

하드웨어의 제품 사양에는 제품의 특징, FBD(Functional Block Diagram), 핀의 기능 및 배열, 프로그래밍 모드 및 각 블록의 기능 등이 함께 제시된다. 이 때 다른 사양과는 달리 설계 초기 단계부터 설정되는 가장 개념적인 FBD는 마이크로프로세서의 경우 메모리 인터페이스, 레지스터 파일, 데이터패스, 예외처리기, 각종 제어기, 타이머 등으로 구성된다. FBD의 각 블록들은 여러 명의 설계자들에게 분할되고 이 중 마이크로프로세서 설계의 대부분의 시간을 소비하게 되는 각종 제어기의 설계는 여러 블록이 공동으로 제어 신호를 공유하게 된다. 이 신호에 의해 전체 시스템의 정확성(correctness)이 결정되므로 제어기예서 각 블록에 공급하는 제어 신호는 적절할 타이밍에 정확한 값을 가져야만 한다. 따라서 본 논문은 마이크로프로세서에서의 각 블록에 공급하는 제어 신호는 적절한 타이밍에 정확한 값을 가져야만 한다. 따라서 본 논문은 마이크로프로세서의 FBD를 모델링할 수 있는 시각도구를 제안함으로써 제어 신호에 따른 전체 블록의 유기적인 데이터 흐름을 한 눈에 파악할 수 있도록 한다. 이는 설계초기부터 각 블록들을 설계하는 설계자들간의 공통의 다이어그램인 FBD를 중심으로 설계를 해나감으로써 대화 오류를 감소시키고 제어신호 디버깅을 용이하게 하여 설계시간을 단축시키는 것을 목표로 한다.

• Journal of Power System Engineering
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• v.14 no.5
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• pp.41-47
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• 2010

티타늄과 티타늄 합금은 재료적 특이성 때문에 심장 혈관 임플란트에서 일반적으로 사용되어 왔다. 일찍이 적용된 예로는 인공심장판막, 심박조율기의 보호케이스, 혈액 순환 장치 등이 있다. 하지만 물질유도혈전증(Material-induced thrombosis)은 혈전폐색에 의해 기인한 기능 손실로 심장혈관 임플란트 장치의 주된 합병증으로 존재하고 있으며, 심장혈관 임플란트의 혈전유전자는 심장혈관장치의 발달에 주된 난관 중 하나로 남아있다. 그리고 텍스처 혈액 접합 물질(Textured blood-contacting material)은 1960년대 초반 이후부터 혈액순환 보조 장치의 임상실험에 사용되고 있다. 접합 물질에 내장된 텍스처 섬유조직 표면은 형성, 성장, 안정적 부착, 생물학적 내벽(neointimal layer) 등 유도 혈액(entrapping blood) 성분에 의해 형성된다. 공동(cavity) 형상의 용해 가능한 미립자를 사용하는 SCPL법(Solvent casting/particulate leaching method)은 티타늄 기질 이전에 형성된 폴리우레탄 위에 텍스처(texture)를 생성하기 위해 사용되었다. 또한 콜라겐의 부동화(不動化)에 의한 공동(cavity)은 혈액 접합면에 잔존하기 위한 내피세포를 고정할 수 있는 효과가 있다. cpTi로 층화된 PU 기소공성(microporous)은 구조적 특성과 혈전증 감소를 위한 생물학적 내벽 사용의 잠재성을 평가하기 위한 세포 공동체 실험을 통해서 평가되었다.