• 제목/요약/키워드: 마이크로센서

Search Result 822, Processing Time 0.029 seconds

Microstrip Line Sensor of Partial Discharge for Rotating Machine (회전기내 부분방전 검출을 위한 마이크로스트립 라인 센서)

  • Heo, Chang-Keun;Kim, Yong-Joo;Kang, No-Weon;Kang, Dong-Sik;Chae, Soo-Jeong;Jung, Hyun-Kyo
    • Proceedings of the KIEE Conference
    • /
    • 2003.07c
    • /
    • pp.1855-1857
    • /
    • 2003
  • 부분방전시험은 고전압 고정자 권선의 절연상태를 검사, 평가 할 수 있는 중요한 수단이다. 전동기와 발전기에서 일어나는 절연 악화의 징후로써 부분방전이 발생되며, 이러한 부분방전 신호를 검출하기 위한 센서로 SSC(Stator Slot Couple)를 사용한다. 하지만 현재 사용되고 있는 대부분의 SSC의 경우 설계에 있어 특성 임피던스가 실제구조에서 정확히 고려되지 않는 경향이 있다. 실제로 고정자 슬롯에 부착된 마이크로스트립 센서의 특성 임피던스는 정확히 50옴으로 정합 되지 않으며 이것은 센서의 성능에 중요한 영향을 미치게 된다. 그러므로 본 논문에서는 부분방전 센서의 성능을 개선시키기 위해 결합 전송선로(Coupled transmission line)를 이용한 임피던스 정합회로를 제안하고자 한다. 제안된 센서의 성능을 입증하기 위하여 고정자 슬롯에 설치된 기존의 SSC와 임피던스 정합회로를 부착한 센서를 시뮬레이션 한 후 비교 분석하였다. 결과적으로 제안된 정합 회로는 광대역 임피던스 정합 특성을 가지며 임피던스 부정합 때문에 일어나는 기존 SSC의 성능 악화를 개선할 수 있었다.

  • PDF

Pyroelectric Infrared Microsensors Made for Human Body Detection (인체 감지용 강유전체 박막 초전형 적외선 센서의 제작)

  • Choi, Jun-Rim
    • Journal of Sensor Science and Technology
    • /
    • v.7 no.2
    • /
    • pp.103-110
    • /
    • 1998
  • Pyroelectric infrared detectors based on La-modified $PbTiO_{3}$ (PLT) thin films have been fabricated by RF magnetron sputtering and rnicrornachining technology. The detectors form $Pb_{l-x}La_{x}Ti_{1-x/4}O_{3}$ (x=0.05) thin film ferroelectric capacitors epitaxially grown by RF magnetron sputtering on Pt/MgO (100) substrate. The sputtered PLT thin film exhibits highly c-axis oriented crystal structure that no poling treatment for sensing applications is required. This is an essential factor to increase the yield for realization of an infrared image sensor. Micromachining technology is used to lower the thermal mass of the detector by giving maximum sensor efficiency. Polymide is coated on top of the sensing elements to support the fragile structure and the backside of the MgO substrate is selectively etched to reduce the heat loss. The sensing element exhibited a very high detectivity D* of $8.5{\times}10^{8}cm{\cdot}\sqrt{Hz}/W$ at room temperature and it is about 100 times higher than the case of micromachining technology is not used. A sensing system that detects the position as well as the existence of a human body is realized using the array sensor.

  • PDF

Formation of Indium Bumps on Micro-pillar Structures through BCB Planarization (BCB 평탄화를 활용한 마이크로 기둥 구조물 위의 인듐 범프 형성 공정)

  • Park, Min-Su
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
    • /
    • v.28 no.4
    • /
    • pp.57-61
    • /
    • 2021
  • A formation process of indium bump arrays on micro-pillar structures is proposed. The space to form indium bump on the narrow structures can be secured applying the benzocyclobutene (BCB) planarization and its etch-back process. We exhibit a detailed overview of the process steps involved in the fabrication of 320×256 hybrid camera sensor for short-wavelength infrared (SWIR) detection. The shear strength of the BCB, which has undergone the different processes, is extracted by quartz crystal microbalance measurement. The shear strength of the BCB is three orders of magnitude higher than that of the indium bump itself. The measured dark current distribution of the fabricated SWIR camera sensor indicates the suggested process of indium bumps can be useful for embodying highly sensitive infared camera sensors.

MEMS Packaging Technology and Micro Sensors (MEMS Packaging 기술 및 마이크로센서)

  • 최상언
    • Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
    • /
    • 2000.09a
    • /
    • pp.55-85
    • /
    • 2000
  • MEMS(Micro Electro Mechanical System) technology. MEMS Inertial Sensors promise a new wide market for many areas -Challenge. significant cost reduction by wafer level packaging and testing. decreasing of power consumption by miniaturization. enhancing of performance and reliability. on-chip integration for multiplicity. MEMS is newly emerging technology.

  • PDF

센싱기술의 최근동향

  • 대한전기협회
    • JOURNAL OF ELECTRICAL WORLD
    • /
    • s.282
    • /
    • pp.61-66
    • /
    • 2000
  • 센싱(Sensing)기술은 우주기기로부터 가정 전기제품에 이르기까지 넓은 분야에 적용되고 있다. 특히 최근의 센싱기술은 마이크로 일렉트로닉스의 발전으로 마이크로화, 인텔리전트화, 디지털화, 네트워크화라는 키워드로 표현될 만큼 진보하고 있다. 앞으로도 신기술은 폭넓은 분야에서 소비자 니즈에 대응하기 위하여 새로운 센서디바이스(Sensor Device)를 개발하고 또한 새로운 센싱시스템(Seneing System)을 구축하여 신기능을 실현시켜 가는 것이 필요할 것이다. 센싱기술의 발전경위를 종합해 보면 다음과 같은 것을 새각할 수 있다. (1) 아날로그에서 디지털 방식으로 (2) 전기, 기계에서 일렉트로닉스, 메커트로닉스로 (3) 스탠드얼론에서 시스템화, 네트워크화로 (4) 자동화, 최적화에서 인텔리전트화로 (5) 1차원 센싱에서 2차원, 나아가 3차원 센싱에로 이롸같은 기술의 배경으로는 다음과 같은 것을 들 수 있다. (1) 마이크로 일렉트로닉스의 발전에 의한 고성능$\cdot$저가격 마이크로 프로세서의 출현 (2) 센싱시트템을 실현하는 통신$\cdot$네트워크기술의 고도화 (3) 신소재, 미세가공 기술에 의한 센서의 고성능화 (4) 소프트웨어, 정보처리기술의 진보 특히 마이크로 프로세서의 진보는 테크놀로지 드라이버로서의 역할을 다하여 시스템의 소형화, 고속고정도화, 저가격화 등을 실현해 가고 있다.

  • PDF

Development of Three-dimensional Chamber-type Glucose Sensor Using Micromachining Technology (마이크로머시닝 기술을 이용한 3차원 마이크로 챔버형 글루코스 센서의 개발)

  • Kim Sung Ho;Kim Chang Kyo
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
    • /
    • v.6 no.1
    • /
    • pp.24-28
    • /
    • 2005
  • A micromachined biochip with a three dimensional silicon chamber was developed for the construction of biosensors. Anisotropic etching was used fur the formation of the chamber on the p-type silicon wafer(100) and then was glued to the Pyrex glass bottom-substrate with pre-deposited platinum electrode. The electrochemical characterization of its Pt electrode and Ag/AgCl reference electrode was investigated.

  • PDF

A Study of Thermal Performance for Lever Type CO Micro Gas Sensor (레버형 CO 마이크로 가스센서의 열적성능에 관한 연구)

  • Joo, Young-Cheol;Im, Jun-Hyoung
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
    • /
    • v.6 no.4
    • /
    • pp.325-330
    • /
    • 2005
  • A lever type CO micro gas sensor was fabricated by MEMS technology. In order to heat up the gas sensing material, $SnO_2$, to a target temperature, a micro heater was built on the gas sensor. The heater and electrodes were hanged on the air as a bridge type to minimize the heat loss to the silicon base. The sensing material laid on the heater and electrodes and did not contact with the silicons base. The temperature distribution of micro gas sensor was analyzed by a CFD program, FLUENT. The results showed that the temperature of silicon wafer base was almost similar to that of the room temperature, which indicates that the heat generated at the micro heater heated up effectively the sensing material. The required electric current of micro heater to heat up the sensing material to the target temperature could be predicted.

  • PDF

The Design of a Sensor for Measuring Partial Discharge Signals in Rotating Machines (부분방전 검출을 위한 저, 고주파용 센서 해석 및 설계)

  • Heo Chang-Geun;Kim Yong-Joo;Kang Dong-Sik;Jung Hyun-Kyo
    • 한국정보통신설비학회:학술대회논문집
    • /
    • 2004.08a
    • /
    • pp.6-10
    • /
    • 2004
  • 회전기기의 운전 상태에서 on-line 부분 방전시험은 고정자 권선의 절연상태를 검사, 평가 할 수 있는 중요한 수단으로서 이러한 부분방전시험을 통하여 회전기기 시스템의 사고예방을 위한 진단을 할 수 있다. 기존의 비접촉식 센서인 SSC는 부분방전 측정을 위하여 권선의 웨지 아래에 설치하는 방식으로 개발되어 [1], 설치가 불편하고 Global VPI 방식으로 제작된 소형 회전기에는 설치할 수 없는 단점이 있다. 본 논문에서는 소형 회전기에 사용가능한 저, 고주파용 부분방전 센서를 제안하였다. 웨지 위에 설치 가능한 SSC 형태의 마이크로스트립 센서 및 전송선로 이론을 이용한 2선 평행 전송선로 센서는 값이 싸고 소형 회전기에 설치할 수 있을 정도의 크기를 지니며, 기본적으로 센서의 구조가 고주파 웨이브가이드로서 고주파용 센서로 적합하다. 또한 저주파 신호를 검출하기 위한 센서로 로고우스키 코일 형태의 U 타입 센서는 와전류를 검출하는 센서로서 슬롯 외부에 설치 되어야 한다. 이러한 U 타입 센서와 마이크로스트립 센서 또는 2선 평행 전송선로를 동시에 설치할 경우 저, 고주파를 효과적으로 검출할 수 있다.

  • PDF

Design and Implementation of an Efficient Communication System for Collecting Sensor Data in Large Scale Sensors Networks (대규모 센서 네트워크에서 센서 데이터 수집을 위한 효율적인 통신 시스템 설계 및 구현)

  • Jang, Si-woong;Kim, Ji-Seong
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
    • /
    • v.24 no.1
    • /
    • pp.113-119
    • /
    • 2020
  • Large sensor networks require the collection and analysis of data from a large number of sensors. The number of sensors that can be controlled per micro controller is limited. In this paper, we propose how to aggregate sensor data from a large number of sensors using a large number of microcontrollers and multiple bridge nodes, and design and implement an efficient communication system for sensor data collection. Bridge nodes aggregate data from multiple microcontrollers using SPI communication, and transfer the aggregated data to PC servers using wireless TCP/IP communication. In this paper, the communication system was constructed using the Open H/W Aduo Mini and ESP8266 and performance of the system was analyzed. The performance analysis results showed that more than 30 sensing data can be collected per second from more than 700 sensors.

Creating Electrochemical Sensors Utilizing Ion Transfer Reactions Across Micro-liquid/liquid Interfaces (마이크로-액체/액체 계면에서의 이온 이동 반응을 이용한 전기화학 센서 개발)

  • Kim, Hye Rim;Baek, Seung Hee;Jin, Hye
    • Applied Chemistry for Engineering
    • /
    • v.24 no.5
    • /
    • pp.443-455
    • /
    • 2013
  • Electrochemical studies on charge transfer reactions across the interface between two immiscible electrolyte solutions (ITIES) have greatly attracted researcher's attentions due to their wide applicability in research fields such as ion sensing and biosensing, modeling of biomembranes, pharmacokinetics, phase-transfer catalysis, fuel generation and solar energy conversion. In particular, there have been extensive efforts made on developing sensing platforms for ionic species and biomolecules via gelifying one of the liquid phases to improve mechanical stability in addition to creating microscale interfaces to reduce ohmic loss. In this review, we will mainly discuss on the basic principles, applications and future aspects of various sensing platforms utilizing ion transfer reactions across the ITIES. The ITIES is classified into four types : (i) a conventional liquid/liquid interface, (ii) a micropipette supported liquid/liquid interface, (iii) a single microhole or an array of microholes supported liquid/ liquid interface on a thin polymer film, and (iv) a microhole array liquid/liquid interface on a silicon membrane. Research efforts on developing ion selective sensors for water pollutants as well as biomolecule sensors will be highlighted based on the use of direct and assisted ion transfer reactions across these different ITIES configurations.