• 제목/요약/키워드: 다이징

검색결과 53건 처리시간 0.025초

Effects of Sealing Time of Anodic Aluminum Oxide (AAO) for Upper Electrode of Etcher

  • 송제범;신재수;신용현;강상우;김진태;윤주영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
    • /
    • pp.115-115
    • /
    • 2012
  • 반도체/디스플레이 산업분야의 발전으로 진공 공정 기술력 또한 증진되고 있다. 반도체소자의 초미세화, 진공부품의 대면적화가 진행 되면서 진공 공정 중에 발생하는 오염입자를 제어하는 것이 이슈가 되고 있다. 오염입자는 플라즈마의 물리적인 부식과 활성이 높은 화학반응에 의해 진공부품에서 부식이 진행되어 발생하며, 이는 반도체 및 디스플레이 부품의 신뢰성측면과 수율저하 등 life time의 근본적인 문제점으로 대두되고 있다. 본 연구에서는 반도체/디스플레이 장비용 코팅부품으로 많이 사용되고 있는 Al2O3 코팅막을 이용하였으며, sealing time에 따른 Anodic Aluminum Oxide (AAO) electrode의 물성특성평가 및 진공평가기술을 이용하여 life time을 예측하는 연구를 수행하였다.

  • PDF

Phosphate 수용액에서 Al6061 합금의 플라즈마 전해산화 피막 형성에 미치는 NaOH의 영향

  • 송의석;박기용;최진섭
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
    • /
    • pp.70.2-70.2
    • /
    • 2018
  • 플라즈마 전해 산화(Plasma Electrolytic Oxidation)는 일반 애노다이징 보다 더 높은 전류 혹은 전압을 금속(Al, Ti, Mg) 표면에 인가하여 산화피막을 전기화학적으로 형성시키는 금속표면처리 방법 중의 하나이다. 본 연구에서는 phosphate 수용액에서 정전류를 인가하여 NaOH의 농도에 따라 PEO(Plasma Electrolytic Oxidation) 피막 형성을 전압-시간 그래프 및 형성된 표면피막의 구조를 관찰하여 연구하였다. 실험에는 8 g/L의 sodium phosphate이 사용되었으며, 5 g/L ~ 9 g/L의 NaOH를 사용하였다. NaOH의 농도 상관없이 일부 영역에서만 반복적으로 아크가 발생하는 로컬 버닝 현상 없이 미세한 아크가 시표 표면 전체에 발생하였고, NaOH의 농도가 증가할수록 형성된 PEO 피막의 두께는 감소하고, 평균 표면 거칠기는 증가하는 경향을 보인다. 형성된 피막의 구조를 HR-SEM, EDX 등을 이용하여 관찰하였다.

  • PDF

Phosphate 수용액에서 Al6061 합금의 플라즈마 전해산화 피막 형성에 미치는 NaOH의 영향

  • 송의석;박기용;최진섭
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
    • /
    • pp.29.2-29.2
    • /
    • 2018
  • 플라즈마 전해 산화(Plasma Electrolytic Oxidation)는 일반 애노다이징 보다 더 높은 전류 혹은 전압을 금속(Al, Ti, Mg) 표면에 인가하여 산화피막을 전기화학적으로 형성시키는 금속표면처리 방법 중의 하나이다. 본 연구에서는 phosphate 수용액에서 정전류를 인가하여 NaOH의 농도에 따라 PEO(Plasma Electrolytic Oxidation) 피막 형성을 전압-시간 그래프 및 형성된 표면피막의 구조를 관찰하여 연구하였다. 실험에는 8 g/L의 sodium phosphate이 사용되었으며, 5 g/L ~ 9 g/L의 NaOH를 사용하였다. NaOH의 농도 상관없이 일부 영역에서만 반복적으로 아크가 발생하는 로컬 버닝 현상 없이 미세한 아크가 시표 표면 전체에 발생하였고, NaOH의 농도가 증가할수록 형성된 PEO 피막의 두께는 감소하고, 평균 표면 거칠기는 증가하는 경향을 보인다. 형성된 피막의 구조를 HR-SEM, EDX 등을 이용하여 관찰하였다.

  • PDF

어노다이징 템플레이트법을 이용한 에너지소재의 제조 (Preparation of Energy Material Using the AAO Template Method)

  • Choi, Jin Kwon;Park, Soo gil;Kim, Yu-ri;KIM, Han-Ju;Kim, Hong-il
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집
    • /
    • pp.162-163
    • /
    • 2014
  • Aluminum anodizing is a technique that can be formed pores well aligned various diameters. We were prepared CNFs using the polymer as carbon source using the AAO as a template. CNFs can be heat treated at $1400^{\circ}C$ and became soft carbon. It showed electrochemical behavior by Crystallization. In this experiment, I was observing the behavior as a anode material for LIC of CNFs having different diameters.

  • PDF

EV 브레이크 경량화를 위한 하드아노다이징 부의 성능 평가 (Quality Evaluation of Hard Anodizing Zone for Lightness of the EV Brake Disks)

  • 박창선;성백섭;차용훈;김재열;이재희;박용순;강대진
    • 한국생산제조학회지
    • /
    • 제21권1호
    • /
    • pp.90-94
    • /
    • 2012
  • This study evaluates the strength of surface treatment parts using the hard anodizing method to the aluminum alloy brake disks. In order to achieve weight reduction of vehicles, Eco-friendly cars parts of the high-quality and competitive price is to equip. Especially while pursuing parts of weight reduction, it has to maintain the strength of the surface of the brake by nature. To enhance surface strength of aluminum alloy, we use hard anodizing technology in the surface treatment. This study is resulted of 3 times greater the hardness value of the hard anodized specimen than the aluminum alloy specimen for the lightweight parts of EV brake disk

알루미늄 합금 소재의 옥살산 아노다이징 피막 물성 연구 (A Study on the Properties of Anodic Oxide Films Formed on Al Alloys in Oxalic Acid)

  • 정나겸;박지현
    • 한국표면공학회지
    • /
    • 제53권5호
    • /
    • pp.249-256
    • /
    • 2020
  • As the size of manufacturing equipment for LCD and OLED displays increases, replacement of existing heavy stainless steel components with light metals, such as aluminum alloys, is being more important in semiconducting and display manufacturing industries. To use aluminum alloys for components in semiconducting and display industries, it is important to develop a new anodization method for improved performance of anodic oxide films than conventional anodization method based on sulfuric acid. In this work, optimum applied current density and the best sealing methods for anodic oxide films in 3% oxalic acid were explored. Experimental results showed 2.5 A/dm2 is the best applied current density for improved hardness and dielectric breakdown voltage. Sealing of the anodic oxide films further improved their hardness, dielectric breakdown voltage and resistance to HCl, by which application of anodic oxide films become applicable for components in semiconducting and display industries.

혼 배열 안테나를 이용한 밀리미터파 수동 이미징 센서 연구 (Study Of Millimeter-Wave Passive Imaging Sensor Using the Horn Array Antenna)

  • 임현준;채연식;김미라;이진구
    • 대한전자공학회논문지TC
    • /
    • 제47권2호
    • /
    • pp.74-79
    • /
    • 2010
  • 본 연구에서는 다수의 혼 안테나 배열을 가지는 밀리미터파 수동 이미징 센서를 설계 하였다. 6개의 혼 안테나를 일체형 구조 형태로한 배열 안테나를 제안하였고, 이를 공간상에 효율적으로 배치함으로써, WR-10 구조의 LNA와의 결합이 용이하도록 하였다. 안테나는 94GHz의 중심주파수에서 17.5dBi의 최대 이득을 가지고, W 주파수 대역에서 -25dB 이하의 반사계수 값을 가지도록 설계 하였고, 고해상도의 안테나 배열을 위해 안테나 개구면을 $6mm{\times}9mm$의 작은 크기로 설계하였다. LNA는 양호한 성능의 수신감도를 얻기 위해 55dB 이상의 총 이득과, 5dB 이내의 잡음지수를 가지도록 설계 하였다. 밀리미터 신호를 직류 신호로 변환하기 위해 상용 제로 바이어스 쇼키 다이오드를 사용한 검파기를 제작하였고, 검파기의 성능을 측정한 결과 500mV/mW 이상의 양호한 수신감도를 얻었다.

머천다이징 교과과정에서 인터넷을 기반으로한 학습테크롤로지에 대한 대학생들의 시각에 관한 연구 (A Study of Student Perspectives on Web-Based Learning Technology in Merchandising Courses)

  • 이규혜
    • 한국의류학회지
    • /
    • 제30권12호
    • /
    • pp.1788-1799
    • /
    • 2006
  • 본 연구에서는 머천다이징 프로그램에서 인터넷을 기반으로한 학습시스템(e학습시스템)인 WebCT를 의류학과내의 머천다이징 교과과정에서 운영하였을때 학생들이 경험한 여러가지 시각에 대하여 알아보았다. 연구는 온라인 병행강의 혹은 온라인 강의가 시도된 바 없는 한 미국대학에서 WebCT를 처음 도입한 후 2년의 기간 동안 학생들이 시스템에 대하여 느끼는 편의성과 유용성 그리고 선호도와 만족도가 어떻게 바뀌어나가는지 통시적으로 알아보았으며 이러한 경향이 수강학생들의 학점에 미치는 영향을 알아 보았다 2년 동안 매학기 평균 1.5개 정도의 WebCT운영강의에 노출된 학생들이 매 학기말마다 WebCT의 편의성, 유용성 그리고 선호도와 만족도를 묻는 설문에 응하였으며 각 학생들의 최종성적이 함께 데이터화 되어 분석되었다. 분석결과 인터넷이나 컴퓨터사용여부는 더이상 e학습시스템의 걸림돌이 되지 않는 것으로 나타났으며 학생들은 시스템을 무시하거나 과도하게 사용하지 않고 전반적으로 매우 효율적으로 사용하고 있었다. 학생들은 4년간의 대학생활 중 일찍 WebCT에 노출될수록, 한꺼번에 여러과목의 WebCT과목을 들을수록, WebCT수업을 경험할수록 그리고 여학생일수록 WebCT가 유용하다고 지각하고 있었으며 선호도와 만족도가 높은 것으로 나탔다. 한편 WebCT에 대한 선호도와 만족도는 한학기 동안 수강 후 학생들의 성적에 유의한 영향을 주는 것으로 분석되었다.

광도파로(光導波路)를 위한 재질의 성능과 경제적 평가를 위한 실험적 연구 (Experimental Study on Performances and Economic Evaluations of the Qualify of the Material for Light Path)

  • 박이동;이강주;박해성
    • 한국태양에너지학회 논문집
    • /
    • 제27권3호
    • /
    • pp.175-179
    • /
    • 2007
  • This experimental demonstration has successfully shown that it is possible to use direct sunlight for the illumination of deeper building zones using the material for light path system(light duct). Three kinds of reflectors which were 95% Silver vaporizing fixed, 85% Anodized and 85% Hot melted applied to evaluate and compare their performances each others. Also, these three kind of reflectors were compared in view point of economics. The most high performance was obtained in 95% Silver vaporizing fixed reflector hater than another reflectors of 85% Anodized reflector and 85% Hot melted reflector even though more high production cost in 95% Silver vaporizing fixed reflector. The rest two reflectors of 85% Anodized and 85% Hot melted $10{sim}15%$ less performance than 95% Silver vaporizing fixed reflector but their production cost were low than the production cost of 95% Silver vaporizing fixed reflector which identified very weak and light yellow color in the light.

선박용 리미트 스위치 박스의 설계에 관한 연구 (A Study on the Design of the Limit Switch Box for a Ship)

  • 이승희;고석조;이민철;김해수;김창동
    • 대한기계학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한기계학회 2004년도 추계학술대회
    • /
    • pp.899-903
    • /
    • 2004
  • A limit switch box is used for a indicator of a valve actuator. This device indicates an opening and closing of a valve or throttle in a valve actuator. In ship, equipments are required safe and robust because of a rough environment and a specific condition during a voyage. However, the limit switch box is used in an indoor environment generally. Thus, a new limit switch box must be developed which can be used at an outdoor environment. This study designed the limit switch box. The housing of the limit switch box was made by an aluminium die cast method with surface painting after anodizing or chromate coating. In order to evaluate the endurance of the housing, the endurance tests against salt water have been conducted. Experiment results showed that the proposed device provides a reliable performance against salt water.

  • PDF