• 제목/요약/키워드: 다결정 규소

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탄화규소 단결정 성장시 원료분말 상(Phase)의 영향 (Effect of powder phase during SiC single crystal growth)

  • 김관모;서수형;송준석;오명환;왕이엔젠
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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    • pp.214-217
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    • 2004
  • 숭화법을 이용한 탄화규소(Silicon carbide) 단결정 성장시 사용되는 원료의 상(phase)이 단결정 성장에 미치는 영향을 알아보기 위해 알파형 탄화규소 분말(${\alpha}-SiC$ powder)과 베타형 탄화규소 분말(${\beta}-SiC$ powder)을 각각 사용하였다. 알파형 탄화규소 분말을 사용한 경우에 단결정(single-crystal)을 성장할 수 있었으나, 베타형 탄화규소 분말을 사용하였을 때에는 다결정(poly-crystal)이 성장되었다. 다결정 형성요인에 관한 EPMA 분석결과, 베타형 탄화규소 분말의 탄소에 대한 실리콘의 원소조성비$(N_{Si}/N_C\;=\;1.57)$가 알파형 탄화규소 분말의 경우보다$(N_{Si}/N_C\;=\;0.81)$ 높음을 확인하였다. 따라서 흑연도가니(crucible) 내부의 실리콘 원자가 알파형 탄화규소 분말을 사용하는 경우보다 높은 과포화상태가 되어 종자정 표면에 미세한 실리콘 액적(droplet)이 중착되고 이것으로부터 일정하지 않은 방향성(random orientation)을 갖는 탄화규소 다결정(다양한 방향성을 갖는 다형 포함)이 성장한 것으로 실리콘과 탄소 원소에 대한 EPMA 지도(map) 결과를 통해 확인할 수 있었다.

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무정형 또는 다결정성 규소를 위한 하이드로폴리실란의 합성과 물성 분석 (Synthesis and property analysis of hydropolysilanes for amorphous and polycrystalline silicon)

  • 안선아;이성환;송영상;이규환
    • 분석과학
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    • 제24권2호
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    • pp.105-112
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    • 2011
  • 태양전지용 박막 규소나 차세대 반도체용 박막트랜지스터의 원료로 사용 가능한 하이드로폴리실란의 합성과 물성 분석에 관한 연구이다. 이러한 하이드로폴리실란을 유기 치환기가 없는 사염화규소를 사용하여 합성한 것이 가장 큰 특징이며, 일반적으로 알칼리금속을 사용한 환원법으로 유기용매에 가용성인 하이드로폴리실란을 합성하는 최적 조건을 확립하고자 하였으며 하이드로폴리실란 용액은 그 물성을 여러 가지 분석 방법을 사용하여 조사하였으며 또한 열분해 실험을 통해 무정형 또는 다결정성 규소로 전환시킬 수 있음을 확인하였다.

수소화된 비정질 규소박막의 결정화에 관한 연구 (A study on crystallization of a-Si:H films)

  • 김도영;임동건;김홍우;심경석;이수홍;이준신
    • 한국결정성장학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.269-277
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    • 1998
  • 수소화된 비정질규소 박막의 결정화 방법은 물질의 질과 후속으로 제작되는 성능을 결정한다. 본 논문은 다양한 기판위에 성장된 비정질규소 박막의 결정화 특성조사와 고용체 형성 금속 박막의 유.무에 따른 결정화 효과를 분석하였다. 다양한 기판조사로부터 Mo 기판이 비정질규소 박막을 성장하기위해 선택되었다. 고용체 형성 금속을 사용하지않은 경우 $1100^{\circ}C$ 열처리후에 결정립의 크기가 $0.8{\mu}m$에 달하는 다결정을 얻었다. 결정화 온도를 줄이기 위해 고용체 형성 금속인 Au, Al, Ag등을 사용하였다. 금속 Au를 사용하여 $700^{\circ}C$ 열처리 후에 결정입경 크기가 $10{\mu}m$ 이상이며 (111) 면 우선배향 특성을 갖는 다결정규소 박막이 달성되었다. 광전소자 응용을 위하여 규소박막과 고용체를 형성하는 금속종류, 금속두께 등의 결정화 영향을 조사하였다.

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방향성 응고법으로 성장된 대형(240kg) 다결정 규소 잉곳의 성장 및 특성평가 (Growth and characterization of 240kg multicrystalline silicon ingots grown by directional solidification)

  • 김정민;김영관
    • 한국결정성장학회지
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    • 제13권4호
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    • pp.182-186
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    • 2003
  • 태양전지의 제조가격의 저가화를 위한 노력이 다각적으로 진행되고 있다. 이중에 하나가 규소 잉곳의 대형화이다. 가로 세로 69cm무게 240kg의 초대형 규소 잉곳을 자동화된 결정성장로를 이용하여 제조하였다. 이 방법은 규소 용체의 열을 하부 흑연 기판을 아래로 이동하면서 축출함으로써 방향성 응고를 유도하고 있다. 이 방법으로 제조된 규소 잉곳을 평가하여 본 결과 전기적, 구조적으로 매우 균일하고 태양전지의 제조에 적합한 것으로 판명되었다.

결정입계 선택적 식각 기법을 적용한 다결정 규소 태양전지의 효율 향상에 관한 연구 (A study on efficiency improvement of poly-Si solar cell using a selective etching along the grain boundaries)

  • 임동건;이수은;박성현;이준신
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 1999년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.597-600
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    • 1999
  • A solar cell conversion efficiency was degraded by grain boundary effect in polycrystalline silicon To reduce grain boundary effect, we performed a preferential grain boundary etching, POC$_3$ n-type emitter doping, and then ITO film growth on poly- Si. Among the various preferential etchants, Schimmel etch solution exhibited the best result having grain boundary etch depth higher than 10 ${\mu}{\textrm}{m}$. RF magnetron sputter grown ITO films showed a low resistivity of 10$^{-4}$ $\Omega$ -cm and high transmittance of 85 %. With well fabricated poly-Si solar cells, we were able to achieve as high as 15 % conversion efficiency at the input power of 20 mW/$\textrm{cm}^2$.

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결정입계 처리에 따른 다결정 실리콘 태양전지의 효율 향상 (Efficiency Improvement of Polycrystalline Silicon Solar Cells using a Grain boundary treatment)

  • 김상수;김재문;임동건;김광호;원충연;이준신
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제10권10호
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    • pp.1034-1040
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    • 1997
  • A solar cell conversion effiency was degraded by grain boundary effect in polycrystalline silicon. Grain boundaries acted as potential barriers as well as recombination centers for the photo-generated carriers. To reduce these effects of the grain boundaries we investigated various influencing factors such as emitter thickness thermal treatment preferential chemical etching of grain boundaries grid design contact metal and top metallization along boundaries. Pretreatment in $N_2$atmosphere and gettering by POCl$_3$and Al were performed to obtain multicrystalline silicon of the reduced defect density. Structural electrical and optical properties of slar cells were characterized before and after each fabrication process. Improved conversion efficiencies of solar cell were obtained by a combination of pretreatment above 90$0^{\circ}C$ emitter layer of 0.43${\mu}{\textrm}{m}$ Al diffusion in to grain boundaries on rear side fine grid finger top Yb metal and buried contact metallization along grain boundaries.

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다결정규소(多結晶硅素) 태양전지(太陽電池)의 입계면(粒界面) 재결합(再結合) 속도(速度)에 관(關)한 이론적(理論的) 분석(分析) (Theoretical analysis of grainboundary recombination velocity in polycrystalline Si solar cell)

  • 최병호;박이준;최영희
    • 태양에너지
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    • 제5권2호
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    • pp.54-59
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    • 1985
  • Due to the grainboundary recombination and the poor diffusion length, the polycrystalline cell efficiency is lower than the singlecrystalline cell. In order to define the effect of grains and grain-boundaries, 2 - dimensional differential diffusion equations of minority carrier are modelled. To solve them, two theoretical formulas are derived, which can be evaluated the grainboundary recombination velocity and the grain diffusion length. Also computer-aided numerical analysis is given.

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태양전지용 규소 결정 성장 기술 개발의 현황 (The current status in the silicon crystal growth technology for solar cells)

  • 이아영;이동규;김영관
    • 한국결정성장학회지
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    • 제24권2호
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    • pp.47-53
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    • 2014
  • 태양전지용 규소에는 단결정, 다결정, mono-like의 세 가지 재료가 사용 중에 있다. 첫 번째로, 단결정은 수율향상의 과제에 집중되고 있으며, 이것은 고액 계면의 형상이 주요 요인으로 알려지고 있다. 이에 대한 연구가 전산모사 등으로 집중되고 있다. 또한 결정과 도가니의 회전 속도가 고액 계면의 형상에 영향을 미치는 것이 확인 되었다. 다결정의 경우에는 결정립계의 역할이 매우 중요하므로 이에 대한 연구가 진행되는데, 이들을 특히 전기적으로 비활성적인 쌍정 입계로 전환하는 연구가 진행되고 있다. 성장 조건을 변경시켜 쌍정 입계로 바꾸어서 재료의 전기적 성질을 향상시키는 결과를 확인하였다. 또한 성장 공정에서 발생될 수 있는 오염을 줄이기 위한 노력은 상부의 Ar 가스의 흐름을 상향 조절하여 불순물의 용입을 줄임이 확인되었다. 다음으로 mono-like인 경우에는 측면으로부터 성장 되어 들어오는 다결정이 단결정의 분율을 저하 시키는 주요 요인이 되고 있다. 이에 대한 해결책으로 하부의 냉각 속도를 높이고 상부와 측면에 단열재를 보강하는 방안이 제시되고 있고, 하부에 놓는 seed의 orientation을 조절하여 측면으로부터 성장 되어 들어오는 다결정을 억제하는 방안이 효과가 있음이 확인 되고 있다.

Fe-6.5wt% Si 합금의 역학 특성에 미치는 어닐링 효과 (Effect of Annealing on the Mechanical properties of Fe-6.5wt% Si Alloy)

  • 윤영기;윤희석;홍성길
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제24권12호
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    • pp.2909-2916
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    • 2000
  • 6.5wt% Si steel is widely known as an excellent magnetic material because its magnetostriction is nearly zero. The AX magnetic properties as magnetostriction of 6.5% Si steel were evaluated and compared with those of conventional 3% Si steel sheet. In this paper, the fracture behavior of the poly crystals and single crystals of Fe-6.5wt%Si alloy has been observed. Single crystals were prepared by Floating Zone(FZ) method, which melts the alloy by the use of high temperature electron beam in pure argon gas condition. And the single crystals were annealed at 500$^{\circ}C$ and 700$^{\circ}C$ respectively and tensile tested at room temperature. According to the result, B2 phase has more good elongation than DO$_3$ phase. It was also found that the fracture surfaces of the single crystals have hairline facets in same direction, and the facets change the direction according to the single crystal phase.

홉킨슨 압력봉법을 이용한 Fe-6.5wt.%Si 합금의 고변형률속도 거동 (High-Strain-Rate Deformation of Fe-6.5wt.%Si Alloys using a Split Hopkinson Pressure Bar Technique)

  • 윤영기;윤희석
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제25권7호
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    • pp.1073-1081
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    • 2001
  • Many researches have published numerous papers about the high-strain-rate obtained from Split Hopkinson Pressure Bar(SHPB) tests. And 6.5wt%Si steel is widely known as an excellent magnetic material because its magnetostriction is nearly zero. Single crystals are prepared by the Floating Zone(FZ) method, which melts the alloy by the use of a high temperature electron beam in a pure argon gas condition. In this paper, the fracture behavior of the poly crystals and single crystals (DO$_3$phase) of Fe-6.5wt%Si alloy by SHPB test is observed. The comparison of high-strain-rate results with static results was done. Obtained main results are as follows: (1) Fe-6.5wt%Si alloy has higher strength at high-strain-rate tensile. SHPB results of polycrystal are twice as high as static results. (2) From the fractography, the cleavage steps are remarkably reduced in the SHPB test compared with the static test.