• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.213-213
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• 2016

현재 반도체 산업에서는 디바이스의 고 집적화, 고 수율을 목적으로 패턴의 미세화 및 웨이퍼의 대면적화와 같은 이슈가 크게 부각되고 있다. 다중 패터닝(multiple patterning) 기술을 통하여 고 집적 패턴을 구현이 가능해졌으며, 이와 같은 상황에서 각 패턴의 임계치수(critical dimension) 변화는 패턴의 위치 및 품질에 큰 영향을 끼치기 때문에 포토마스크의 임계치수 균일도(critical dimension uniformity, CDU)가 제작 공정에서 주요 파라미터로 인식되고 있다. 반도체 광 리소그래피 공정에서 크롬(Cr) 박막은 사용되는 포토 마스크의 재료로 널리 사용되고 있으며, 이러한 포토마스크는 fused silica, chrome, PR의 박막 층으로 이루어져 있다. 포토마스크의 패턴은 플라즈마 식각 장비를 이용하여 형성하게 되므로, 식각 공정의 플라즈마 균일도를 계측하고 관리 하는 것은 공정 결과물 관리에 필수적이며 전체 반도체 공정 수율에도 큰 영향을 미친다. 흔히, 포토마스크 임계치수는 플라즈마 공정에서의 라디칼 농도 및 식각 선택비에 의해 크게 영향을 받는 것으로 알려져 왔다. 본 연구에서는 Cr 포토마스크 에칭 공정에서의 Cl2/O2 공정 플라즈마에 대해 O2 가스 주입량에 따른 식각 선택비(etch selectivity) 변화를 계측하여 선택비 제어를 통한 Cr 포토마스크 임계치수 균일도 향상을 실험적으로 입증하였다. 연구에서 사용한 플라즈마 계측 방법인 발광분광법(OES)과 optical actinometry의 적합성을 확인하기 위해서 Cl2 가스 주입량에 따른 actinometer 기체(Ar)에 대한 atomic Cl 농도비를 계측하였고, actinometry 이론에 근거하여 linear regression error 1.9%을 보였다. 다음으로, O2 가스 주입비에 따른 Cr 및 PR의 식각률(etch rate)을 계측함으로써 식각 선택비(etch selectivity)의 변화율이 적은 O2 가스 농도 범위(8-14%)를 확인하였고, 이 구간에서 임계치수 균일도가 가장 좋을 것으로 예상할 수 있었다. (그림 1) 또한, spatially resolvable optical emission spectrometer(SROES)를 사용하여 플라즈마 챔버 내부의 O atom 및 Cl radical의 공간 농도 분포를 확인하였다. 포토마스크의 임계치수 균일도(CDU)는 챔버 내부의 식각 선택비의 변화율에 강하게 영향을 받을 것으로 예상하였고, 이를 입증하기 위해 각각 다른 O2 농도 환경에서 포토마스크 임계치수 값을 확인하였다. (표1) O2 11%에서 측정된 임계치수 균일도는 1.3nm, 그 외의 O2 가스 주입량에 대해서는 임계치수 균일도 ~1.7nm의 범위를 보이며, 이는 25% 임계치수 균일도 향상을 의미함을 보인다.

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2004.05a
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• pp.312-315
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• 2004

염색가공 공정에서 배출되는 염색폐수는 염색 가공공정이나 사용하는 염료등에 따라 폐수량과 성상의 변화가 심하기 때문에 처리에 많은 어려움이 있다. 일반적인 염색폐수 처리방법으로는 물리화학절인 응집침전법과 생물학적인 활성슬러지법을 단독 또는 조합하여 주로 사용하여 왔다. 그러나 최근에는 기존시설의 처리 향상을 위한 다각적인 기술개발이 시도되고 있으며 그 일환으로 본 연구에서는 활성탄을 담지한 폴리우레탄 담체를 개발하여 염색폐수를 처리하고자 하였다. 본 연구에서는 담체를 이용한 염색폐수의 생물학적 처리 시 여러 인자들, 즉 COD/N 비, DO 농도, 담체의 충진율 등의 영향을 조사하기 위하여 회분식 실험을 수행하였다. 또한 회분식 실험에서 얻은 최적조건을 이용하여 파일럿 실험도 함께 수행하였다. COD/N 비가 COD 제거에 미치는 영향을 살펴보기 위해 COD/N 비를 조절하지 않은 경우와 COD/N 비를 2-3으로 조절한 경우에 대해서 비교하였다. 실험결과 염색폐수의 초기 COD 농도가 1,000 ppm일 때, 처리 후 COD 농도는 COD/N 비를 조절하지 않았을 경우 860 ppm (제거효율 ＝ 18%), COD/N 비가 2일 경우 550ppm (제거효율 ＝ 52%), COD/N 비가 3의 경우 390 ppm (제거효율 ＝ 57%)으로 각각 나타났다. DO 농도가 COB 제거에 미치는 영향을 알아보고자 DO 농도를 1, 6, 7 mg/L로 변화시켰다. 그 결과 DO의 농도가 1 mg/L일 경우 COD 제거효율은 20% 정도였으나, DO 농도가 6 mg/L이상에서는 모두 80%에 가까운 제거효율을 나타내었다. 담체 충진율의 경우, 10% 충진시 40%, 20% 충진시 50%, 30% 충진시 70%의 제거효울을 각각 나타내었다. 회분식 실험에서 얻은 최적조건으로 파일럿 반응기를 100일 이상 운전한 결과 염색폐수의 COD 농도변화는 1,000ppm에서 380ppm로 평균 60%이상 제거되는 높은 효율을 보였다. 또 담체 첨가의 영향을 살펴보기위해, 담체를 충진하지 않은 조건에서 파일럿 반응기를 운전한 결과 평균 COD 제거율은 50%로 비교적 낮은 효율을 보였다.

• Korean Journal of Plant Tissue Culture
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• v.22 no.5
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• pp.277-281
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• 1995

The present study was performed to investigate the effect of calcium ion on the mesophyll protoplast culture of Arabidopsis thaliana. The mesophyll protoplase were isolated and cultured on an IMH medium supplemented with CaCl$_2$of various concentrations. When the protoplasts were cultured on the medium containing 0 to 12.5 mM CaCl$_2$, extreme vacuolization occurred without cell division. When the protoplasts were cultured with higher levels of CaCl$_2$ up to 50 mM, vacuolization decreased dose-dependent): and the number of plasma-rich cells increased. Cell division was induced when the protoplast were cultured on the medium with CaCl$_2$ higher than 25 mM. The highest plating efficiency (5-6%) was obtained with 50 mM CaCl$_2$. However the plating efficiency was markedly inhibited by 100mM CaCl$_2$ or above. These resole suggest that the relatively high concentration (50 mM) of calcium ion may be required for the culture of protoplasts.

• Journal of the Korea Organic Resources Recycling Association
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• v.15 no.2
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• pp.118-127
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• 2007

This study investigated the effect of varying TS concentration levels using supernatant of food waste. The experiment was performed at varying TS concentration levels ranging from 5% to 10% by a $35^{\circ}C$-mesophilic digestion reactor, dual digestion system with acid and methane fermenters combined. As a result, removal efficiency and stabilization were observed at TS concentration of 7~8%, But the removal efficiency notably decreased at 8% or higher TS level. At a stabilized phase of the reactor, more than $0.3m^3/kg{\cdot}vs$ gas was produced, with phenomena such as salt accumulation and increase of pH level being unnoticed. These results indicate that the increase of anaerobic digestion of food waste supernatant TS content has an effect on reaction and that it is necessary to control and operate concentration within 8%, given that the effect is stronger at 8% or higher.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2014.11a
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• pp.118-119
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• 2014

원전 운전 중 2차계통 구성재료가 부식되어 철 산화물이 증기발생기 내부로 유입된다. 유입된 철산화물은 고온고압의 환경에서 침적되어 슬러지가 된다. 침적된 슬러지는 증기발생기 전열관 재료에 응력부식균열(SCC)을 일으키는 주원인으로 원전에서는 철 산화물의 유입을 최소화하기 위해 기동전 2차계통을 순환 세정하고 있다. 해외 원전에서는 고분자 아크릴산(Polyacrylic Acid)을 순환세정시 주입함으로써 2차계통 철 산화물 제거 효율을 높인 사례가 있었다. 이에 우리 원전에서도 기동전 순환세정시 고분자 아크릴산을 주입 적용하였다. 고분자 아크릴산 주입 전 필수적으로 이뤄져야할 연구는 고분자 아크릴산이 재료에 미치는 영향평가이다. 본 연구에서는 고분자 아크릴산 농도(1, 10, 100 ppm)에 따라 2차계통 구성재료인 SA106 Gr.B와 Alloy 690의 건전성에 미치는 영향를 수행하였다. 평가방법으로는 전기화학 분극실험, 시편을 침지시켜 실험 전, 후 무게 감량을 이용한 부식률 측정, 표면 상태분석등을 이용하여 종합적으로 평가하였다. 전기화학 분극실험과 부식률 측정결과, 고분자 아크릴산 농도가 높을수록 부식은 증가하였고 고분자 아크릴산 농도 100 ppm일 때 최대 부식률이 0.037 mils로 계산되었다. 이는 부식허용 기준치(5.8 mils)보다는 100배이상 낮았으며 표면분석 결과 고분자 아크릴산으로 인한 pitting 부식은 발생하지 않았다. 이와 같은 결과로 기동시 환경에서 고분자 아크릴산 농도 100 ppm까지는 재료 건전성에 미치는 영향은 거의 없는 것으로 판단된다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2004.11a
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• pp.117-118
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• 2004

에어로졸의 측정은 다양한 변수에 영향을 받는다. 입자가 공기 중에 떠 있으므로 입자 주위의 유체온도와 압력에 영향을 받을 뿐 아니라 측정 대상인 입자의 크기, 농도, 하전 상태에 따라서 제약을 받는다. 특히, 에어로졸의 발생이나 측정은 복잡한 메커니즘으로 이루어지기 때문에 장비의 성능을 평가하거나 교정하는 과정은 쉽지 않고, 적당한 지침이나 문헌 또한 부족한 실정이다. 고농도, 고하전인 극한 조건에서 나노 에어로졸 입자를 측정하는 경우에는 측정 장비가 신뢰성 있는 결과를 제공할 수 있도록, 측정 대상인 나노 입자의 하전량, 형상, 크기 분포를 미리 예측하여 SMPS의 운전조건을 적절하게 결정할 수 있도록 미리 확인해야 한다

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2007.05a
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• pp.203-206
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• 2007

부유녹조와 갯버들 및 부레옥잠이 수질에 미치는 영향을 탐구하기 위해 5월 초에서 6월 말까지 실험실 수조의 수질변화를 고찰하면서 얻은 결과는 다음과 같았다. 부영양화가 진행되는 물에 수변식물인 갯버들과 수생부엽식물인 부레옥잠은 상호 혹은 단독으로 작용하여 DO, pH, SS, 탁도, 입자수 농도, Chl a 농도를 어느 시점에서 큰 폭으로 감소시켰고 갯버들과 부레옥잠의 상호작용시 그 효과가 가장 크게 나타났다. 부유녹조 단독으로는 DO와 pH 등을 서서히 감소시켰다. 이 결과로부터 갯버들 및 부레옥잠은 부유녹조와 경쟁관계가 되어 수질개선에 상당한 영향을 미칠 수 있는 것으로 추정된다.

• Proceedings of the Korean Society for Bio-Environment Control Conference
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• 1999.11a
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• pp.187-191
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• 1999

식물의 호흡에 영향하는 환경요인은 총 광합성율에 영향하는 모든 요인을 들 수 있으며 뿌리의 호흡에는 근권환경요인 및 질소 흡수량과 같은 영양요인도 들 수 있다. 환경요인의 변화에 따른 식물의 생장 및 수량을 예측하는 식물생장모형의 개발은 식물의 생장이 광합성과 호흡에 의해 좌우되므로 환경요화의 변이에 따른 생육모형개발이 우선적이라 할 수 있다. (중략)

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2009.05a
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• pp.2073-2077
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• 2009

지구 온난화의 영향으로 생각되는 이상기온이 세계각지에서 발생하고 있고, 우리나라도 최근 몇 년 동안 각지에서 집중호우에 의한 재해가 발생하고 있다. 이러한 자연재해는 모든 분야에서 심각한 영향을 미치고 있으며, 이중 산과 택지개발 및 도로공사 등에서 발생하는 토사는 하천, 저수지, 댐 및 하구를 빠르게 메우고 탁수환경을 지속시켜 수질악화와 오염원이 되며 저서생태계에 많은 영향을 미치고 있는 실정이다. 또한 토사는 농업용저수지와 수리구조물의 수명을 단축시키고, 하상을 높여 흐름을 방해하거나 변화시켜 하천의 범람을 유도하기도 한다. 이와 같이 토사는 토사농도변화에 따라 인명피해와 재산피해를 초래하고 있어 그 특징을 다각도로 분석 파악할 필요성이 있다. 본 연구에서는 토사의 농도와 분광반사특성의 상호관계를 알아보기 위해 원격탐사(RS)기법을 이용하였다. 탁수환경을 분광복사계(Li-1800)를 이용하여 미리 제작한 2개의 수조(흑색, 백색) 안 토사(실트질, 모래질)의 농도를 변화시켜 반사값을 측정하였다. 측정된 반사값을 이용하여 토사농도에 따른 분광반사 특성을 파악하였고, 토사 정보를 추정하는데 유용한 파장영역에 대해 검토, 고찰하였다.

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2008.11a
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• pp.60-62
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• 2008

중 소규모 조선소의 조업이 주변 지역의 유해대기오염물질 농도에 미치는 영향을 평가하고자 주변 지역에 미치는 환경영향을 클 것으로 예측되는 조사지점을 선정하여 휘발성유기화합물 및 알데히드류의 분석을 수행하였다. 총휘발성유기화합물(TVOCs) 농도는 조선소와 거리가 가까울수록 높은 것으로 나타났으며 주요 VOC 성분은 조선소 도장작업장에서 분석되는 성분과 일치하는 것으로 나타나 조선소에서 이루어지는 도장작업으로 인해 주변지역이 영향을 받음을 알 수 있었다. 알데히드류의 경우, 발생원으로부터 직접 배출되기보다는 배출된 VOC의 화학반응에 의해 생성되므로 조선소에 가까이 위치한 지점들보다 조선소로부터 일정한 거리가 떨어져 있는 지점의 농도가 높게 나타나는 것으로 나타났다.